Die Entwicklung von Messgeräten, die Prüfungen mit hohem Durchsatz (d. h. die Anzahl der Prüfungen, die in der erforderlichen Zeit durchgeführt werden können) unterstützen, ist in der Industrie für Halbleiter, Flachbildschirme (FPD) und organische Leuchtdioden (OLED) keine leichte Aufgabe.

Als führender Anbieter von OEM-Optiken und -Komponenten liefert Olympus hochwertige Mikroskopeinheiten an Geräteentwickler, die optische Geräte für die Inspektion, Produktion und Forschung konstruieren. Bei der Qualitätskontrolle in der verarbeitenden Industrie können diese Geräte dank ihrer durchdachten Konstruktion die Ausbeute (d. h. den Prozentsatz der nicht fehlerhaften Teile unter allen produzierten Teilen) verbessern.

Mikroskopeinheiten, die in ein Hochdurchsatz-Inspektionsgerät integriert sind, benötigen beispielsweise oft eine intuitive Fernsteuerung, damit erfahrene und unerfahrene Benutzer gleichermaßen Inspektionen einfach und genau durchführen können. Mit einfachen Bedienelementen können der Fokus, die Position der Probenbeobachtung, die Mikroskopieverfahren und die Vergrößerung eingestellt werden, um schnell ein geeignetes Bild für die Inspektion zu erhalten. Wir bieten verschiedene Einheiten an, die eine motorisierte Steuerung ermöglichen, z. B. eine motorisierte Mikroskopeinheit mit Z-Antrieb, eine motorisierte Beleuchtung, einen motorisierten Analysator, eine Steuerbox und einen Handschalter.

Außerdem gibt es nun auch einen motorisierten Objektivrevolver mit Vakuumfunktion (U-D5BDREMC-VA), der für mehr Sauberkeit sorgt und sich gleichzeitig durch Schnelligkeit und Haltbarkeit auszeichnet. Für diejenigen, die damit nicht vertraut sind: Ein Objektivrevolver (oder auch nur „Revolver“) enthält mehrere Objektive mit unterschiedlichen Vergrößerungen. Durch Drehen des Objektivrevolvers kann der Benutzer eine Probe mit einer anderen Vergrößerung betrachten.

_{Motorgesteuerter Objektivrevolver}

Kontaminationskontrolle in der Halbleiter-, FPD- und OLED-Industrie

Sauberkeit spielt in der Halbleiter-, FPD- und OLED-Fertigungsindustrie eine große Rolle, um einwandfrei funktionierende Produkte herzustellen. Daher werden Prüfgeräte in kontrollierten Umgebungen wie einem Reinraum eingesetzt. Es darf kein Staub vom Objektivrevolver auf eine Probe, z. B. einen Halbleiterwafer, fallen. Schon ein winziges Staubkorn kann den Wafer verunreinigen, seine Funktionalität zerstören und die Produktausbeute beeinträchtigen.

Unser motorgesteuerter Objektivrevolver mit Vakuumfunktion (U-D5BDREMC-VA) verwendet eine Niederdruckabsaugung, um die Menge an Feinpartikeln zu reduzieren, die bei der Drehung des Objektivrevolvers herunterfallen, und um Gas- oder Staubpartikel aufzufangen, die durch das zur Schmierung des Systems verwendete Fett entstehen. Aufgrund dieser Vakuumfunktion ist der Objektivrevolver ideal für eine kontrollierte Reinraumumgebung geeignet. Der Objektivrevolver kann als eingebautes Mikroskopmodul für Halbleiter- und FPD-Prüfgeräte verwendet werden.

_{Objektivrevolver mit Vakuumfunktion zur Kontaminationskontrolle}

Verschiedene Objektivrevolver – nicht nur für die Inspektion von Halbleiterwafern

Wir verfügen über ein großes Angebot von Objektivrevolvern für die Inspektion, Produktion und Forschung. Unsere Auswahl umfasst sowohl manuelle als auch motorgesteuerte Optionen.

• Manueller Objektivrevolver: Unsere Produkte sind für verschiedene Mikroskopieverfahren ausgelegt, z. B. Hellfeld, Dunkelfeld und differenzieller Interferenzkontrast (DIC), können zwischen vier und sieben Objektive aufnehmen, erfüllen die ESD-Spezifikationen usw.
• Objektivrevolver mit Codierfunktion: Dieser manuelle Objektivrevolver kann die Position der Objektivbefestigungslöcher des Objektivrevolvers erkennen. Mithilfe der Software können die Vergrößerungsinformationen des Objektivs mit seiner Position auf dem Objektivrevolver abgeglichen werden, um die Vergrößerungsinformationen schneller in das erfasste Bild einzufügen und gleichzeitig das Risiko manueller Dateneingabefehler zu verringern.
• Motorgesteuerter Objektivrevolver: Dieser Objektivrevolver bewegt fünf oder sechs Objektive elektrisch. Außerdem ist ein motorgesteuerter Objektivrevolver mit Vakuumfunktion erhältlich.
• Objektivrevolver mit Zentrierfunktion: Mit diesem Objektivrevolver kann die optische Achse des Objektivs manuell oder elektrisch zentriert werden. Dadurch wird die Lochposition des Objektivrevolvers verändert, um leichte Verschiebungen der einzelnen Objektivlinsen auszugleichen. So können alle eingebauten Objektive ausgerichtet werden. Diese Einstellung ermöglicht die Betrachtung exakt derselben Mittelposition vor und nach dem Wechsel der Objektivlinse.
• Objektivadapter: Dieser Adapter (STM7-MMOBAD) ist für die Verwendung von nur einer Objektivlinse vorgesehen. Dies ist eine kostengünstige Option, wenn für eine bestimmte Anwendung ein Objektiv ausreicht. Es ist zu beachten, dass der Adapter nur mit der RMS-Schraube W26 geliefert wird und keinen optischen Pfad für die Dunkelfeldbeleuchtung hat.

_{Der Objektivadapter (STM7-MMOBAD) sorgt für Flexibilität, da damit an ein System, das für mehrere Objektive ausgelegt ist, ein einzelnes Objektiv angebracht werden kann. Links: Objektivadapter mit einem einzelnen Objektiv. Mitte: Vor dem Anbringen des Objektivrevolvers. Rechts: Objektivrevolver mit mehreren Objektiven.}

Weitere Informationen über unsere OEM-Lösungen erhalten Sie im OEM-Ressourcencenter auf unserer Life Science-Website. Hier stehen auch unsere Gerätedatenblätter und 3D CAD-Daten mit den technischen Angaben zu unseren Objektivrevolvern zum Download zur Verfügung.