Objektive für die Weißlichtinterferometrie
Maßstäbe setzen in der Weißlichtinterferometrie
Unsere Mirau Objektive für die Weißlichtinterferometrie (WLI) gewährleisten eine zuverlässige, hochauflösende Datenerfassung für präzise 3D-Oberflächenmessungen. Die Objektive unterstützen sowohl Inline- als auch Offline-Messtechniken in einer Vielzahl von Anwendungen in der optischen Profilometrie und erfüllen damit die Anforderungen von Originalherstellern (OEMs) und Forschenden.
Hauptvorteile unserer Objektive für die Weißlichtinterferometrie
- Breites Sichtfeld (FOV) zur Erfassung von mehr Daten
- Hohe numerische Apertur (NA) für höhere Auflösung
- Konsistente Eigenschaften durch Prüfung im Werk
Einerlei, ob Sie in der Präzisionsmechanik oder in der Fertigung arbeiten, mit diesen Vorteilen können Sie die Effizienz maximieren und schneller Ergebnisse erreichen.
Vergleichsbilder einer Fresnel-Linse, Probe wurde mit einem konventionellen 20X WLI-Objektiv (NA 0,4) und einem 20X Evident WLI-Objektiv (NA 0,6) aufgenommen.
Vergleichsbilder einer Fresnel-Linse, Probe wurde mit einem konventionellen 50X WLI-Objektiv (NA 0,55) und einem 50X Evident WLI-Objektiv (NA 0,8) aufgenommen.
Präzise Messungen an Oberflächen komplexer Proben
Präzise Messungen tiefer Profile auf glatten Oberflächen stellen für konventionelle WLI- und Konfokal-Objektive eine Herausforderung dar.
Mit numerischen Aperturen (NA) bis 0,8 erfassen unsere WLI Mirau-Optiken mehr Licht und feinere Details. Die höhere NA ermöglicht präzise geometrische 3D-Messungen von Oberflächenabweichungen und winzigen Merkmalen mit optischen Profilometern.
Steigern Sie den Durchsatz in der hochpräzisen 3D-Messtechnik
Erweitern Sie den hochpräzisen Messbereich mit hoher Auflösung.
Unsere 20X- bzw. 50X-Modelle mit hoher NA bieten ein bis zu sechs- bzw. viermal größeres Sichtfeld im Vergleich zu konventionellen 50X bzw. 100X WLI-Objektiven – mit denselben Messfunktionen für Oberflächenprofile und derselben lateralen Auflösung. Durch dieses größere Sichtfeld verringert sich die Notwendigkeit, Bilder zusammenzufügen, und sowohl die vertikale Scanning-Interferometrie (VSI) als auch Messungen der Stufenhöhe werden beschleunigt.
Links: 2×2 zusammengesetztes Bild, aufgenommen mit einem konventionellen 50X-Objektiv (NA 0,55). Rechts: Einzelbild, aufgenommen mit dem 20X WLI-Objektiv von Evident (NA 0,6).
Die WLI-Objektive von Evident (links) verfügen über Fixierschrauben (Mitte) und einen Einstellringmechanismus (rechts).
Bereiten Sie sich auf neue Anforderungen in der Weißlichtinterferometrie vor
Die Messgenauigkeit kann durch temperaturbedingte Fokusverschiebungen beeinträchtigt werden. Unser integrierter Einstellungsring für den thermischen Ausgleich erhält den Interferenzstreifenkontrast auch bei Temperaturschwankungen aufrecht und gewährleistet so präzise, zuverlässige und empfindliche Oberflächenmessungen.
Dazu bringen Sie den Ring ganz einfach in die Position mit dem höchstmöglichen Streifenkontrast, um konsistente Messergebnisse zu erzielen.
Mühelose Aufrechterhaltung der Präzision
Arbeiten Sie ohne Unterbrechungen und ohne Frustration – selbst wenn Vibrationen auftreten.
Der Einstellungsring eines jeden Objektivs ist zur Positionssicherung mit vier Fixierschrauben ausgestattet*, damit Sie sich auf die Durchführung von präzisen Messungen konzentrieren können und nicht laufend Feinabstimmungen vornehmen müssen.
Jede Schraube ist um 90 Grad versetzt und kann zur Sicherung des Rings verwendet werden. Die außenliegende Schraube lässt sich schnell mithilfe eines Schraubenziehers festziehen. Benachbarte Objektive müssen dafür nicht entfernt werden.
* Fixierschrauben sind derzeit für die 10X, 20X und 50X Objektive verfügbar.
Konsistente optische Eigenschaften, auf die Sie sich verlassen können
Unsere WLI-Objektive sind semi-apochromatisch und für einen starken Streifenkontrast und minimale Wellenfront-Aberration mit einem hochwertigen Referenzspiegel ausgestattet. Jede Einheit wird im Werk getestet, mitgeliefert werden zwei detaillierte Datenblätter, welche die Qualität des Referenzspiegels und die Wellenfronteigenschaften dokumentieren.
Links: Keine Streifen vor der Anpassung an thermische Veränderungen. Streifenkontrast entsteht beim Einstellen des Rings Mitte: Höchster Streifenkontrast nach Einstellung des Rings.
Technische Angaben
| Bezeichnung des Objektivs | WLI10XMRTC | WLI20XMRTC | WLI50XMRTC | WLI100XMRTC |
| Korrektur | Unendlich korrigiert | Unendlich korrigiert | Unendlich korrigiert | Unendlich korrigiert |
|
Vergrößerung (mit einer Tubuslinse von 180 mm Brennweite) |
10X | 20X | 50X | 100X |
| Numerische Apertur (NA) | 0,3 | 0,6 | 0,8 | 0,8 |
| Arbeitsabstand (A.A.) [mm] | 8,2 | 1,0 | 1,0 | 0,7 |
| Brennweite [mm] | 18 | 9,0 | 3,6 | 1,8 |
| Objektiv Sehfeldzahl (OFN) | 22 | 22 | 22 | 22 |
| Immersionsmedium | Luft/trocken | Luft/trocken | Luft/trocken | Luft/trocken |
| Federbelastet | - | - | - | - |
| Einstellungsring für den thermischen Ausgleich für Interferometrie-Muster | Ja | Ja | Ja | Ja |
| Einstellungsring-Fixierschraube | Ja | Ja | Ja | Nein |
| Korrektur der chromatischen Aberration | Semi-Apochromat (FL) | Semi-Apochromat (FL) | Semi-Apochromat (FL) | Semi-Apochromat (FL) |
| Parfokalabstand [mm] | 45 | 45 | 45 | 45 |
| Position der hinteren Brennebene (BFP) [mm] | -3,2 | -8,8 | -4,8 | -3,0 |
| Äußere Abmessungen (B × H) | Φ 29,7 mm × 36,8 mm | Φ 29,8 mm × 44,0 mm | Φ 31,5 mm × 44,0 mm | Φ 29,0 mm × 44,3 mm |
| Größe des Schraubengewindes | W 20,32 mm × 0,706 mm (RMS) | W 20,32 mm × 0,706 mm (RMS) | W 20,32 mm × 0,706 mm (RMS) | W 20,32 mm × 0,706 mm (RMS) |
| Garantierte Messtemperatur | 23 °C ± 1 °C | 23 °C ± 1 °C | 23 °C ± 1 °C | 23 °C ± 1 °C |
|
Lagertemperatur und -feuchtigkeit (nicht kondensierend) |
0 °C bis 40 °C/20 %–80 % | 0 °C bis 40 °C/20 %–80 % | 0 °C bis 40 °C/20 %–80 % | 0 °C bis 40 °C/20 %–80 % |
| Einsatztemperatur | 15 °C bis 30 °C | 15 °C bis 30 °C | 15 °C bis 30 °C | 15 °C bis 30 °C |
| Bestimmungsgemäßer Gebrauch | Nutzung nur in Innenräumen | Nutzung nur in Innenräumen | Nutzung nur in Innenräumen | Nutzung nur in Innenräumen |