Optisches 3D-Profilometer LEXT OLS5500
Unbegrenzte Oberflächen, verlässliche Ergebnisse
Ein hybrider 3D-Optik-Profilometer, das Laserscanningmikroskopie (LSM), Weißlichtinterferometrie (WLI) und Fokusvariationsmikroskopie (FVM) in einer Plattform vereint – und dabei präzise Oberflächendetails, eine nachvollziehbare Genauigkeit und eine intuitive Anwendererfahrung liefert, um Arbeitsabläufe vom Entdecken bis zur Entscheidung zu vereinfachen.
- Product Status: • Dieses Produkt ersetzt das LEXT OLS5100 und frühere Systeme der OLS-Serie.
Optisches 3D-Profilometer LEXT OLS5500
Industrielle Anwendungen
Akademischer Bereich
Halbleiter
Elektronik
Metalle und Werkstoffe
Außergewöhnliche Präzisionsbildgebung
Unbegrenzte Oberflächen, verlässliche Ergebnisse
Der preisgekrönte LEXT™ OLS5500 ermöglicht es Ihnen, Fehler, subtile Merkmale und Oberflächenvariationen mit unvergleichlicher Klarheit zu erkennen. Nutzen Sie LSM, WLI und FVM, um Mängel zu erkennen, Designlösungen zu validieren und mit Zuversicht Entscheidungen zu treffen.
Präzision auf allen Oberflächen
Selbst entwickelte Objektive gewährleisten Klarheit und Formtreue über das gesamte Sichtfeld – auch bei stark geneigten, reflektierenden oder komplexen Proben. Im Gegensatz zu herkömmlichen Objektiven mit Randverzerrung liefern LEXT-Objektive präzise Messungen von der Bildmitte bis zum Rand.
Objektive für Weißlichtinterferometrie
Das System ist ideal für glatte und geneigte Oberflächen und misst in Nanometerschritten mit zuverlässiger Leistung auf konstantem Höhenniveau bei jeder Objektivvergrößerung.
Vergleichsbilder einer Fresnellinsenprobe, aufgenommen mit einem herkömmlichen Objektiv des Typs WLI 20X (links, NA 0,4) und dem 20X-WLI-Objektiv von Evident (rechts, NA 0,6).
„Mit dem LEXT™ OLS5500 können wir hochauflösende optische 3D-Bilder erfassen und aussagekräftige Oberflächendetails von empfindlichen Strukturen gewinnen und gleichzeitig den Aufwand bei der Probenhandhabung und das Risiko von Beschädigungen minimieren.“
Dr. Elliot Cheng
Zentrum für Mikroskopie und Mikroanalyse, Universität Queensland
Klarheit bei anspruchsvollen Proben
4K-Bildgebung, ein Oberflächenerkennungsfilter, Laser-DIC, eine duale Lochblendenoptik und ein hochempfindlicher Sensor arbeiten zusammen, um außergewöhnliche Klarheit, Kontrast und Farbtreue zu liefern – selbst bei den anspruchsvollsten Proben.
Vergleichsbilder eines Polymerfilms. Links: Laserbild ohne DIC. Rechts: Laserbild mit DIC.
Ohne Laser-DIC
Mit Laser-DIC
Vergleich zusammengesetzter Bilder eines Wafers. Links: ohne intelligente Schattierungskorrektur. Rechts: mit intelligenter Schattierungskorrektur.
Ohne intelligente Schattierung
Mit intelligenter Schattierung
Nahtlose großflächige Bildgebung
Sie können saubere, zuverlässige großflächige Bilder mit minimalen Stitchingartefakten gewinnen, selbst auf kontrastarmen oder unebenen Oberflächen. Intelligentes Stitching und präzise Tischsteuerung gewährleisten genaue, konsistente und präsentationsfertige Ergebnisse im großen Bildfeld.
Verlässliche Messungen
Präzise und verlässliche Messungen
Weniger Nachprüfungen, Nacharbeiten und abgelehnte Ergebnisse dank verifizierten LSM-, WLI- und FVM-Messungen. Das OLS5500 ist das weltweit erste optische 3D-Profilometer, das garantierte Genauigkeit und Wiederholbarkeit* sowohl für LSM- als auch WLI-Messungen gewährleistet.
* Grundlage sind interne Untersuchungen von Evident vom Oktober 2025. Die garantierte Genauigkeit und Wiederholbarkeit ist nur gegeben, wenn das Gerät nach den Angaben des Herstellers kalibriert wurde und sich in einwandfreiem Zustand befindet. Die Kalibrierung muss von einem Evident Techniker oder einem von Evident autorisierten Spezialisten durchgeführt werden.
Illustration zur Veranschaulichung des Unterschieds zwischen Genauigkeit und Wiederholbarkeit.
Garantierte Genauigkeit für zusammengesetzte Bilder
Für großflächige Messungen garantiert das OLS5500 zuverlässige zusammengesetzte Bilddaten durch das Zusammenspiel eines motorisierten Tisches mit einem integrierten Längenmessmodul und hochentwickelten Musterabgleichstechnologien. Dieser Ansatz liefert sowohl im LSM- als auch im WLI-Modus bei einer festgelegten Konfiguration des Tisches nachvollziehbare zusammengesetzte Daten mit hoher Konfidenz.
Service und Support für mehr Möglichkeiten
Wenn es um den Schutz Ihrer Investition und die Integrität Ihrer Forschung geht, stehen Ihre Bedürfnisse an erster Stelle. Wir stehen hinter unseren Produkten und bemühen uns um einen schnellen Service und technische Unterstützung, damit Sie ihre Ziele erreichen können.
Mit unserer Kalibrierung vor Ort, unserem globalen Servicenetzwerk und unserem Remotesupport gewährleisten Sie die Einhaltung von Vorschriften und die Verfügbarkeit Ihres Systems – unterstützt durch mehr als 100 Jahre Erfahrung in der Mikroskopie.
Intelligenter Arbeitsablauf
Intelligente Automatisierung für mühelose Präzision
Die intelligenten Automatisierungs- und Workflowtools des OLS5500 wurden entwickelt, um die Oberflächenanalyse für Anwender aller Erfahrungsstufen einfacher und schneller zu machen. Mit der Neigungskorrekturhilfe wird die Neigungskorrektur zum Kinderspiel. Mit einem Klick zeigt die Software den exakten Korrekturbetrag an, der zum Nivellieren der Probenoberfläche erforderlich ist.
WLI verbessert den Durchsatz um bis zu 42×
Die WLI-Funktion des OLS5500 steigert den Durchsatz um das bis zu 42-Fache im Vergleich zur herkömmlichen LSM. Sie können Oberflächenstrukturen im Nanometerbereich messen, die sonst nur bei der LSM mit hohen Vergrößerungen sichtbar sind – ohne durch die Objektivvergrößerung eingeschränkt zu sein.
Probe: Stufenhöhe: 60 nm; Messbereich: 1280 µm. LSM: Datenerfassungszeit: 630 s, zusammengesetztes 6×6-Bild, aufgenommen mit einem Objektiv des Typs LSM 50X (NA 0,95). WLI: Datenerfassungszeit: 15 s, Einzelbildaufnahme mit einem Objektiv des Typs WLI 10X (NA 0,3).
VLSI-Standardprobe bei 83 nm Höhe (MPLFLN10LEXT).
PEAK-Algorithmus für schnelle, präzise 3D-Rekonstruktion
Der PEAK-Algorithmus liefert hochpräzise 3D-Oberflächendaten über den gesamten Vergrößerungsbereich hinweg und beschleunigt gleichzeitig die Datenerfassung erheblich. Für Stufenhöhen- und Formmessungen überspringt der Algorithmus intelligent gesteuert nicht erforderliche Z-Bereichsscans, um schneller präzise Ergebnisse zu erfassen.
Intelligente Datenerkennung
Der Smart Judge Algorithmus erfasst automatisch nur die verlässlichen Daten und ermöglicht so genaue Messungen, ohne Daten zu winzigen Höhenunregelmäßigkeiten zu verlieren.
Links: Smart Judge aus: Rechts: Smart Judge an.
Smart Judge aus
Smart Judge an
Anwendungen
Multimedia
Produktseiten
Videos
OLS5100 – Smart Experiment Manager: Toleranzbewertung
OLS5100 – Smart Experiment Manager: Arbeitsabläufe im Handumdrehen anpassen
OLS5100 – Workflow-Automatisierung mit der Makrofunktion
OLS5100 – Umfassende Unterstützung für Experimente
OLS5100 – Smart Scan II
OLS5100 – Kontinuierlicher Autofokus
OLS5100 – Makro-Mapping in Echtzeit
