LEXT OLS5500 3D Optical Profilometer
Das hybride 3D Optical Profilometer LEXT™ OLS5500 vereint Laser-Scanning-Mikroskopie (LSM), Weißlichtinterferometrie (WLI) und Fokusvariationsmikroskopie (FVM) in einer einzigen, ausgezeichneten Plattform. Entwickelt für Forschungs-, Qualitätssicherungs- und Qualitätskontrollteams bietet es präzise Oberflächendetails, nachvollziehbare Messgenauigkeit und eine intuitive Benutzererfahrung für optimierte Arbeitsabläufe. Präzise Optik, überprüfbare Kalibrierung und intelligente Automatisierung liefern verlässliche Daten, mit denen Labore nahtlos von der ersten Erkenntnis zur finalen Entscheidung gelangen.
Das OLS5500 bietet eine außergewöhnliche 3-in-1-Präzisionsbildgebung mit LSM, WLI und FVM in einem benutzerfreundlichen System und liefert einen bis zu 40-mal schnelleren Durchsatz als herkömmliche LSM-Systeme mit WLI. Es ist außerdem das weltweit erste optische 3D-Profilometer, das sowohl für LSM- als auch für WLI-Messungen garantierte Genauigkeit und Wiederholbarkeit* gewährleistet.
- Product Status: • Dieses Produkt ersetzt das LEXT OLS5100 und frühere Systeme der OLS-Serie.
LEXT OLS5500 3D Optical Profilometer
Unbegrenzte Oberflächen, verlässliche Ergebnisse
Das LEXT™ OLS5500 3D Optical Profilometer vereint Laser-Scanning-Mikroskopie (LSM), Weißlichtinterferometrie (WLI) und Fokusvariationsmikroskopie (FVM) in einer einzigen, ausgezeichneten Plattform – für klare und präzise Messergebnisse auf jeder Oberfläche.
Die umfassende Imaging-Lösung für präzise Oberflächenmessungen
- LSM: herausragende laterale Auflösung für raue Oberflächen, Mikrostrukturen und stark geneigte Flächen.
- WLI: vertikale Präzision im Nanometerbereich für glatte oder geneigte Oberflächen sowie dünne Schichten.
- FVM: Abdeckung vom Makro- bis zum Mikrobereich für große oder unebene Flächen, die einen breiteren Kontext erfordern.
Jede Methode ergänzt die anderen und liefert den jeweils richtigen Abbildungsmodus für jede Oberfläche. Erstellen Sie umfassende, maßstabsgetreue Oberflächendaten von Nanometern bis Millimetern und von flachen bis steilen Neigungen – alles in einem einzigen System.
HF-Paket abgebildet unter Verwendung von drei Oberflächenmesstechniken.
Außergewöhnliche Präzisionsbildgebung
Links: Bei herkömmlichen Objektiven nimmt die Verzerrung am Bildrand zu und beeinträchtigt die Messgenauigkeit. Rechts: Mit LEXT-Objektiven wird der Randbereich verzerrungsfrei wiedergegeben, sodass präzise Messungen möglich sind.
Präzision auf jeder Oberfläche
Ganz gleich, ob Sie mit stark geneigten Proben, spiegelnden Oberflächen oder komplexen Strukturen arbeiten: Die eigens entwickelten Objektive gewährleisten im gesamten Sichtfeld klare Abbildungen und Formtreue.
Laser-Mikroskopie-Objektive
Speziell für LEXT entwickelte Objektive messen auch Randbereiche präzise und überwinden die Messprobleme herkömmlicher Objektive.
LEXT Objektive von links nach rechts: große Arbeitsabstände (20x, 50x, 100x), hohe Leistung (20x, 50x, 100x) und geringe Vergrößerung (10x).
Objektive für Weißlichtinterferometrie
WLI-Objektive mit hoher NA (bis zu 0,8 NA) erzeugen scharfe Interferenzstreifen und außergewöhnliche Phasenstabilität, selbst auf steilen oder strukturierten Oberflächen.
Vergleichsbilder einer Fresnel-Linsenprobe, aufgenommen mit einem herkömmlichen 20X-WLI-Objektiv (links, NA 0,4) und dem 20X-WLI-Objektiv von Evident (rechts, NA 0,6).
Vergleichsbilder einer Fresnel-Linsenprobe, aufgenommen mit einem herkömmlichen 50X-WLI-Objektiv (links, NA 0,55) und dem 50X-WLI-Objektiv von Evident (rechts, NA 0,8).
Vergleichsbilder einer Kalibrierungsprobe, aufgenommen mit einem herkömmlichen 50X-WLI-Objektiv (links, NA 0,55) und dem 50X-WLI-Objektiv von Evident (rechts, NA 0,8).
Klarheit, die das Unsichtbare sichtbar macht
Verbessern Sie die Validierungsgeschwindigkeit, indem Sie kritische Merkmale sichtbar machen, die für herkömmliche Systeme unsichtbar sind. Von feinen Strukturen und subtiler Topografie bis hin zu transparenten Oberflächen und kontrastarmen Merkmalen bietet das OLS5500 mehrere kontrastverstärkende Optionen, um verborgene oder schwer erkennbare Merkmale aufzudecken.
- 4K-Bildgebung mit einem hochsensitiven Sensor sorgt für feine Kontraste und hohe Farbtreue.
- Laser-DIC und Farb-DIC machen Oberflächenreliefs und Materialgrenzen mit außergewöhnlicher Klarheit sichtbar.
- Der Oberflächenerkennungsfilter isoliert die eigentliche Oberfläche und eliminiert Interferenzen von darunterliegenden Schichten.
Vergleichsbilder einer Polymerfolie. Links: Laserbild ohne DIC. Rechts: Laserbild mit DIC.
Vergleichsbilder einer Festplatten-Landungszone. Links: Farbbild ohne DIC. Rechts: Farbbild mit DIC.
Vergleichsbilder eines zusammengesetzten Wafers. Links: ohne intelligente Schattierungskorrektur. Rechts: mit intelligenter Schattierungskorrektur.
Nahtlose Großflächenbildgebung.
Untersuchen Sie selbst größere Bereiche ohne Detailverlust oder Beeinträchtigung der Bildqualität. Die intelligente Schattierungskorrektur reduziert Artefakte und gleicht die Beleuchtung über zusammengefügte Bilder aus, sodass selbst bei kontrastarmen oder unebenen Oberflächen nahtlose Ergebnisse erzielt werden können. Diese durchgehende Klarheit unterstützt konsistente Analysen.
Verlässliche Messungen
Präzise, verlässliche Messungen
Weniger Nachprüfungen, Nacharbeiten und Ausschuss – dank zuverlässiger Messungen in LSM, WLI und FVM, die Sie überprüfen und nachweisen können.
Garantierte Genauigkeit und Wiederholbarkeit
Erzielen Sie konsistente, hochpräzise Messungen über verschiedene Anwendungen hinweg: Das OLS5500 ist das weltweit erste optische 3D-Profilometer, das sowohl für LSM- als auch für WLI-Messungen garantierte Genauigkeit und Wiederholbarkeit* bietet.
Die Vor-Ort-Kalibrierung durch Evident Techniker sorgt für präzise, wiederholbare Messungen mit zeitgestempelten Aufzeichnungen, die die Einhaltung internationaler metrologischer Standards unterstützen.
Jeder von Ihnen gemessene Wert wird durch unseren rückverfolgbaren Kalibrierungsprozess validiert – so erhalten Sie Ergebnisse, die Sie in Audits, Berichten und Produktionsprüfungen verteidigen können.
*Basierend auf einer internen Untersuchung von Evident, Stand Oktober 2025. Die garantierte Genauigkeit und Wiederholbarkeit gelten nur, wenn das Gerät gemäß den Spezifikationen des Herstellers kalibriert wurde und sich in einwandfreiem Zustand befindet. Die Kalibrierung muss von einem Evident Techniker oder einem von Evident autorisierten Spezialisten durchgeführt werden.
Illustration, die den Unterschied zwischen Genauigkeit und Wiederholbarkeit zeigt.
Beispiel für den AIST-Standard
Längenmessmodul
Garantiertes Messrauschen
Verlassen Sie sich auf Ihre Höhenmessungen – selbst im Nanometerbereich. Das OLS5500 garantiert Messrauschpegel* gemäß ISO 25178-700:2022:
- 1 nm mit MPLAPON 100X LEXT-Objektiven
- 0,08 nm mit WLI-Objektiven
Dies gewährleistet eine hochauflösende Erfassung selbst feinster topografischer Veränderungen – von dünnen Schichten bis hin zu mikrostrukturierten Oberflächen.
*Sie erhalten ein Zertifikat zur Messrauschgarantie. Dies ist ein repräsentativer Wert, wenn er nach den von Evident festgelegten Bedingungen gemessen wird, und unterscheidet sich vom garantierten Wert.
Garantierte Genauigkeit für zusammengesetzte Bilder
Das OLS5500 verfügt über ein Längenmessmodul in dem motorisierten Tisch, das die Genauigkeit der zusammengesetzten Bilddaten garantiert*. Während herkömmliche Systeme ausschließlich auf Mustererkennung setzen, kombiniert das OLS5500 diese mit einer Positionsrückmeldung und liefert so hochzuverlässige zusammengesetzte Daten sowohl für LSM als auch WLI.
*Die garantierte Genauigkeit für zusammengesetzte Bilder gilt nur für die 100-mm-motorisierte Bühne. (OLS5500-SAF ist sowohl für LSM als auch für WLI verfügbar, OLS5500-EAF ist nur für LSM verfügbar).
Service und Support, der befähigt
Wenn es um den Schutz Ihrer Investition und die Integrität Ihrer Forschung geht, stehen Ihre Bedürfnisse an erster Stelle. Wir stehen hinter unseren Produkten und bemühen uns um einen schnellen Service und technische Unterstützung, damit Sie ihre Ziele erreichen können.
Stellen Sie Compliance und Systemverfügbarkeit sicher mit unserer Vor-Ort-Kalibrierung, unserem globalen Servicenetzwerk und unserem Remote-Support – gestützt auf mehr als 100 Jahre Erfahrung in der Mikroskopie.
Effizientere Arbeitsabläufe
Effizientere Arbeitsabläufe, maximaler Durchsatz
Die intelligenten Automatisierungs- und Workflow-Tools des OLS5500 wurden entwickelt, um die Oberflächenanalyse für alle Anwender einfacher und schneller zu gestalten. Erzielen Sie auf Anhieb konsistente, fehlerfreie Ergebnisse in LSM, WLI und FVM, um die Inspektionseffizienz und den Durchsatz zu maximieren.
Nahtlose Beobachtungen
Das OLS5500 erstellt automatisch eine Makrokarte, während sich die Bühne bewegt, sodass jeder Bereich verfolgt und dokumentiert wird – für eine mühelose Navigation. Mit dem kontinuierlichen Autofokus bleibt die Schärfe während der gesamten Bewegung bestehen – kein manuelles Nachfokussieren, keine Unterbrechungen.
Intelligente Automatisierung für mühelose Präzision
Das OLS5500 automatisiert zentrale Messprozesse, sodass Sie sich nur auf die Analyse konzentrieren müssen und nicht auf die manuellen Einstellungen.
Erfassen Sie Daten schnell und einfach mit Smart Scan II für LSM. Platzieren Sie die Probe auf der Bühne und drücken Sie die Starttaste – das System erledigt den Rest.
Der PEAK-Algorithmus liefert hochpräzise Daten von niedrigen bis hohen Vergrößerungen und reduziert die Datenerfassungszeit. Bei der Messung der Stufenformen auf einer Probe kann die Datenerfassungszeit verkürzt werden, indem der unnötige Scanbereich in Z-Richtung übersprungen wird.
VLSI-Standardprobe mit 83 nm Höhe (MPLFLN10LEXT).
Resistmuster auf einer Siliziumoberfläche. Mit freundlicher Genehmigung des Nanotechnology Hub der Universität Kyoto.
Links: Smart Judge aus: Rechts: Smart Judge ein.
Konsistenz, auf die Sie sich verlassen können
Automatisieren Sie Inspektionen mit Makros: Erstellen, bearbeiten und führen Sie Abläufe für konsistente Ergebnisse aus. Nutzen Sie den Smart Experiment Manager, um Bestanden-/Nicht-Entscheidungen mit einem Klick zu treffen. Speichern Sie Berichte als Vorlagen, um wiederholte Messungen zu vereinfachen und konsistente Ergebnisse über Analysen und Benutzer hinweg sicherzustellen.
Die PRECiV™ Software-Integration für Routine-Metallographie, KI-gestützte Arbeitsabläufe und erweiterte 2D-Analysen unterstützt spezialisierte Anwendungen sowie Produktionsumgebungen mit hohem Durchsatz.
40x schnellere Messung – ohne Kompromisse
Das OLS5500 bietet sowohl Geschwindigkeit als auch Präzision. Der fortschrittliche Weißlicht-Interferometrie-Modus (WLI) beschleunigt Oberflächenmessungen bis zu 40x im Vergleich zu herkömmlichen LSM – ohne Einbußen bei Genauigkeit oder Rückverfolgbarkeit.
- Ideal für die schnelle Prozessvalidierung, Designüberprüfung und Produktionsstichproben.
- Stellt gleichbleibende Präzision selbst bei großen, komplexen Proben sicher.
Probe: 60 nm Stufenhöhe, Messbereich: 1,280 µm.
LSM: Datenerfassungszeit: 630 s; 6x6 zusammengefügtes Bild, aufgenommen mit einem LSM 50X-Objektiv (NA 0,95).
WLI: Data acquisition time: 15 s; Einzelbildaufnahme mit einem WLI 10X-Objektiv (NA 0,3).
Größeres Sehfeld, effizienterer Workflow
Sparen Sie Zeit bei der Aufnahme großer oder komplexer Proben. Die hochauflösenden Mirau-WLI-Objektive mit hoher NA des OLS5500 vergrößern das messbare Sichtfeld, ohne die vertikale Präzision zu beeinträchtigen.
- 20X-Objektiv: bis zu 6x größere Abdeckung als herkömmliche 50X-WLI-Objektive.
- 50X-Objektiv: bis zu 4x größere Abdeckung als herkömmliche 100X-WLI-Objektive.
Weniger Bilder pro Fläche bedeuten weniger Schritte beim Zusammenfügen von Bildern, was die Effizienz erhöht und gleichzeitig nachvollziehbare, hochpräzise Daten liefert.
Spezifikationen
LEXT OLS5500 – Technische Angaben zur Haupteinheit
| Modell | OLS5000-SAF | OLS5500-EAF | OLS5000-LAF | ||
| Gesamtvergrößerung | 54X–17.280X | ||||
| Sehfeld | 16–5,120 µm | ||||
| Messprinzip | Optisches System |
Konfokale Laser-Scanning-Mikroskopie mit Auflichtbeleuchtung Konfokale Laser-Scanning-Mikroskopie mit Auflichtbeleuchtung und DIC Fokusvariationsmikroskopie, Farbe, Farb-DIC |
|||
| Weißlicht-Interferometrie | - | ||||
| Detektor | Laser: Photomultiplier (2 Kanäle), Farbe: CMOS-Farbkamera | ||||
| LSM | Höhe | Wiederholgenauigkeit σn-1 *1 *2 *5 | 5x: 0,45 μm, 10X: 0,1 μm, 20X: 0,03 μm, 50X: 0,012 μm, 100X: 0,012 μm | ||
| Genauigkeit *1 *3 *5 | 0,15 + L/100 μm (L: Messlänge [μm]) | ||||
| Messrauschen*1 *4 *5 | 1 nm (typisch) | ||||
| Länge | Wiederholgenauigkeit 3σn-1 *1 *2 *5 | 5x: 0,4 μm, 10X: 0,2 μm, 20X: 0,05 μm, 50X: 0,04 μm, 100X: 0,02 μm | |||
| Genauigkeit *1 *3 *5 | Messwert ±1,5 % | ||||
| Maximale Anzahl Messpunkte bei einer Einzelmessung | 4096 x 4096 Pixel | ||||
| Maximale Anzahl Messpunkte | 400 Megapixel | ||||
| XY-Tischkonfiguration | Arbeitsbereich | 100 mm x 100 mm (3,9 x 3,9 Zoll), motorisiert | 300 mm x 300 mm (11,8 x 11,8 Zoll), motorisiert | ||
| Maximale Probenhöhe | 100 mm (3,9 Zoll) | 210 mm (8,3 Zoll) | 37 mm (1,5 Zoll) | ||
| Laser-Lichtquelle | Wellenlänge | 405 nm | |||
| Maximale Leistung | 0,95 mW | ||||
| Laserklasse | Klasse 2 (JIS C 6802:2018, IEC60825-1:2014, EN60825-1:2014/A11:2021,GB/T 7247.1-2024) | ||||
| Farblichtquelle | Weißlicht-LED | ||||
| Elektrische Leistung | 240 W | 278 W | |||
| Gewicht der | Mikroskopgehäuses | Ca. 31 kg (68,3 lb) | Ca. 43 kg (94,8 lb) | Ca. 50 kg (110,2 lb) | |
| Steuereinheit | Ca. 12 kg (26,5 lb) | ||||
Technische Daten – LEXT OLS5500 WLI
Maximum sample height
Spaltenüberspannung = 2
*1 Garantiert bei Verwendung in einer Umgebung mit konstanter Temperatur und Luftfeuchtigkeit (Temperatur: 20 ℃ ± 1 ℃, Feuchtigkeit: 50 %±10 %), festgelegt in ISO554(1976), JIS Z-8703(1983).
*2 Ab 10x Vergrößerung, bei Messung mit entsprechenden LEXT Objektiven.
*3 Bei Messung mit entsprechendem LEXT Objektiv.
*4 Typischer Wert, bei Messung mit MPLAPON100X LEXT Objektiv. Kann vom garantierten Wert abweichen.
*5 Garantiert gemäß dem Evident Zertifizierungssystem.
*6 Dies ist ein repräsentativer Wert, gemessen mit 83-nm-Stufenhöhenstandards, rückführbar auf nationale Standards, unter von Evident festgelegten Bedingungen gemessen; unterscheidet sich vom garantierten Wert. Der garantierte Wert beträgt 0,15+ L/100 μm.
*7 Entspricht dem Messrauschen.
*8 Geprüft unter den von Evident festgelegten Bedingungen.
LEXT OLS5500 Anwendungssoftware
*1 Einschließlich der Funktionen Datenerfassung mit Auto-Stitching und Datenerfassung in mehreren Bereichen.
*2 Einschließlich Profilanalyse, Differenzanalyse, Stufenhöhenanalyse, Oberflächenanalyse, Flächen-/Volumenanalyse, Linienrauheitsanalyse, Flächenrauheitsanalyse und Histogrammanalyse.
LEXT OLS5500 Objektivlinsen
Multimedia
Anwendungsbeispiele
Insights Blogartikel
Videos
OLS5100 – Smart Experiment Manager: Toleranzbewertung
OLS5100 – Smart Experiment Manager: Arbeitsabläufe im Handumdrehen anpassen
OLS5100 – Workflow-Automatisierung mit der Makrofunktion
OLS5100 – Umfassende Unterstützung für Experimente
OLS5100 – Smart Scan II
OLS5100 – Kontinuierlicher Autofokus
OLS5100 – Makro-Mapping in Echtzeit
