Laser-Mikroskop LEXT OLS5100
Das OLS5100 Laser-Mikroskop wurde für die Fehleranalyse und werkstofftechnische Forschung entwickelt und kombiniert hervorragende Messgenauigkeit und optische Leistung mit intelligenten Werkzeugen, die die Verwendung des Mikroskops vereinfachen. Schnelle und effiziente Messung der Form und Oberflächenrauheit im Submikrometerbereich ermöglichen einen vereinfachten Workflow mit zuverlässigen Daten.
LEXT OLS5100 Mikroskop-Lösungen
Laser-Mikroskop für die Materialanalyse
Intelligenter Workflow, schnellere Untersuchungen
Das OLS5100 Laser-Mikroskop wurde für die Fehleranalyse und werkstofftechnische Forschung entwickelt und kombiniert hervorragende Messgenauigkeit und optische Leistung mit intelligenten Werkzeugen, die die Verwendung des Mikroskops vereinfachen. Schnelle und effiziente Messung der Form und Oberflächenrauheit im Submikrometerbereich ermöglichen einen vereinfachten Workflow mit zuverlässigen Daten.
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Garantierte MessgenauigkeitLEXT Mikroskopobjektive liefern hochpräzise Messdaten. In Verbindung mit dem Smart Lens Advisor können Daten genau und zuverlässig erfasst werden.
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Mit herkömmlichen Objektiven können nur schwer genaue Messungen am Bildrand durchgeführt werden. |
Mit speziellen LEXT Objektiven lassen sich Bereiche am Bildrand messen. |
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Einfache Laser-Scanning-Mikroskopie
Die Verwendung des Mikroskops ist für Bediener mit und ohne Erfahrung dank der intuitiven Software einfach.
- Einfache Datenerfassung – Probe auf den Tisch legen und die Startschaltfläche drücken
- Garantierte Messleistung – zugeschnitten auf die Betriebsumgebung*.
Die Informationen, einschließlich der garantierten Genauigkeit, auf dieser Webseite basieren auf den von Evident festgelegten Bedingungen
Vereinfachte Untersuchungen für die Werkstofftechnik und Fehleranalyse
Der Smart Experiment Manager vereinfacht die Untersuchungsabläufe von 3D-Betrachtungen und Fehleranalysen im Submikrometerbereich, indem einst zeitaufwändige Aufgaben automatisiert werden.
- Automatisierung von Analyseabläufen mit Makrofunktionen
- Messdaten sind einfach zu organisieren
- Automatische Übertragung der Daten in die Tabelle des Untersuchungsplans, was mögliche Eingabefehlern verringert
- Die Messergebnisse werden in einer Liste angezeigt, sodass auf einem Blick eine Pass/Fail-Bewertung getroffen werden kann.
Vollständig anpassbar an Ihre Spezifikationen
Nutzen Sie alle erweiterten Funktionen des Laser-Scanning-Mikroskops OLS5100 für die Materialanalyse großer und schwerer Proben.
Zuverlässiger Service und Support
Von der Kalibrierung bis zur Schulung bieten wir ein breites Portfolio an Serviceleistungen, um die optimale Geräteleistung aufrechtzuerhalten. Serviceverträge von Evident sind:
- Unkompliziert: So können Sie sich ganz auf Ihr Hauptgeschäft konzentrieren.
- Effizient: In Ihrem Auftrag planen wir vorbeugende Wartungsarbeiten und Kalibrierungen.
- Kosteneffizient: So können Sie während der gesamten Vertragslaufzeit Kosten einsparen.
Vorteile
Vorteile von Lasermikroskopen
1. 3D-Mikroskopie/-Messung im Submikrometerbereich
Untersuchung von Stufen im Nanometerbereich und Messung von Höhenunterschieden im Submikrometerbereich.
2. ISO25178-konforme Messung der Oberflächenrauheit
Messung der Linien- und Flächenrauheiten
3. Kontaktlos, zerstörungsfrei und schnell
Keine Probenvorbereitung erforderlich – einfach die Probe auf dem Tisch platzieren und messen.
Zuverlässige Daten auf Knopfdruck
Smart Scan II
Bediener mit und ohne Erfahrung können mit der Smart Scan II Funktion schnell und einfach Daten erfassen. Es muss lediglich eine Probe auf den Tisch gelegt und die Start-Schaltfläche ausgewählt werden. Den Rest erledigt das Mikroskop.
- PEAK-Algorithmus: Das OLS5100 Mikroskop arbeitet mit einem PEAK-Algorithmus für die 3D-Datenkonstruktion. Dieser Algorithmus liefert hochgenaue Daten bei geringer und starker Vergrößerung und verkürzt die Datenerfassungszeit.
- Überspringen unnötiger Bereiche: Bei der Messung von Stufenformen an einem Objekt mit fast senkrechten Ebenen, wie z. B. einem Elektronikbauteil oder MEMS, kann die Datenerfassungszeit verkürzt werden, wenn dass Scannen unnötiger Bereiche in Z-Richtung übersprungen wird. Eine 100-μm-Stufe kann ohne Verlust an Genauigkeit in etwa 10 Sekunden gemessen werden (bei Verwendung des MPLAPON50x).
- Genaue Daten zur Form: Das automatische Beurteilungssystem des OLS5100 Mikroskops passt sich den Anforderungen jeder Probe an, während der HDR-Scan durch Variieren der Erkennungsempfindlichkeit zwei Datensätze zu Formen erfasst, um genaue Formdaten zu erstellen.
Garantierte Messleistung – zugeschnitten auf Ihre Betriebsumgebung
Die Leistung eines Messgeräts wird üblicherweise durch zwei Begriffe beschrieben: Die „Genauigkeit“ gibt an, wie nah ein Messwert dem tatsächlichen Wert kommt, die „Wiederholbarkeit“ gibt an, wie stark Messwerte bei wiederholter Messung voneinander abweichen. Wir garantieren Genauigkeit und Wiederholbarkeit der mit dem Mikroskop durchgeführten Messungen auf der Basis des Rückverfolgbarkeitssystems, sodass Sie Ihren Messergebnissen vertrauen können.
Oberflächenmesstechnik über das Sehfeld hinaus
Das OLS5100 Mikroskop ist mit einem integrierten Längenmessmodul im motorgesteuertem Tisch versehen, und wir garantieren die Genauigkeit zusammengefügter („gestitchter“) Bilder. Während frühere Lasermikroskope die Bilder auf der Basis von Mustererkennung zusammensetzten, ergänzt das OLS5100 Mikroskop die Mustererkennung durch die Positionsinformationen vom Längenmessmodul und liefert auf diese Weise äußerst zuverlässige „gestitchte“ Daten mit garantierter Genauigkeit.
* Nur für OLS5100-SAF/EAF
Bedienerfreundliches Mikroskopieren mit hoher Auflösung und starker Vergrößerung
Kontinuierlicher Autofokus
Mit dem kontinuierlichen Autofokus des Mikroskops bleiben die Bilder beim Bewegen des Tisches oder beim Ändern von Objektiven scharf, wodurch die Notwendigkeit manueller Anpassungen minimiert wird. Die permanente Schärfenachführung ermöglicht eine schnelle und einfache Betrachtung.
Dualer DIC für Echtzeit-Mikroskopie im Nanometerbereich
Erkennen Sie winzige Schäden in der Probe mittels Echtzeit-Betrachtung im Nanometerbereich. Mit dem Differentialinterferenzkontrast-Verfahren (DIC) können Oberflächenmerkmale im Nanometerbereich dargestellt werden, die normalerweise außerhalb des Auflösungsvermögens eines Lasermikroskops liegen. Im DIC-Lasermodus kann das OLS5100 Mikroskop Live-Bilder erfassen, die mit denen eines Elektronenmikroskops vergleichbar sind, selbst mit vergleichsweise leistungsarmen 5X oder 10X Objektiven.
Oberflächenprofil
Parkposition einer Festplatte
Umfassende Analyse
Es stehen zahlreiche Analysefunktionen zur Verfügung. Das Folgende ist nur ein Beispiel. Bitte laden Sie die Broschüre herunter oder kontaktieren Sie Ihren Evident Vertreter, um Einzelheiten zu erfahren.
ISO25178-konforme Messung der Oberflächenrauheit
Das OLS5100 Mikroskop scannt die Probenoberfläche mithilfe eines Laserstrahls mit 0,4 μm Durchmesser. Dies erlaubt die einfache Messung der Oberflächenrauheit von Proben, die mit Tastschnittgeräten nicht vermessen werden können. Die Möglichkeit, gleichzeitig ein Farbbild, ein Laserbild und 3D-Formdaten einer Oberfläche zu erfassen, die mit einem Tastschnittgerät nicht vermessen werden kann, erweitert die Anwendungsmöglichkeiten der Analyse.
Messung des Höhenunterschieds zwischen dem höchsten und dem niedrigsten Punkt in einem Oberflächenprofil
Profilmessung/ Messhilfe
Mit der Funktion Profilmessung wird das Oberflächenprofil angezeigt, indem in einem Bild an der zu messenden Position eine beliebige Messlinie gezeichnet wird. Außerdem können Stufen zwischen zwei beliebigen Punkten, Breite, Querschnittsbereich und Radius gemessen werden. Anders als bei kontaktbasierten Messgeräten ist die Einstellung der zu messenden Punkte einfach. Die Messlinien und -punkte können auf dem Bild überprüft werden, sodass selbst sehr kleine Stellen genau gemessen werden können. Mit der Messhilfe kann der zu messende Punkt anhand des höchsten, des tiefsten, des mittleren Punktes und/oder von Mittelwertpunkten korrekt angegeben werden. Wenn eine Stelle in den erfassten Daten festgelegt wird, können Merkmalspunkte automatisch entsprechend den vorgegebenen Bedingungen extrahiert werden.
Software
Makrofunktion
Das gesamte Prüfverfahren kann mithilfe des Makroerstellungswerkzeugs automatisiert werden. Der Anwender erstellt und bearbeitet die Verfahren und führt nur noch das registrierte Makro aus, um zuverlässige Messergebnisse zu erhalten. In Kombination mit dem Smart Experiment Manager können Pass/Fail-Bewertungen durch einen einzigen Klick erfolgen.
Wenn die experimentellen Bedingungen nicht im Voraus festgelegt wurden, können sie während der Datenerfassung festgelegt werden. Die Bedingungen können während des Experiments geändert werden und Bilder und Analysedaten können einfach per Drag & Drop hinzugefügt werden. Flexible Experimente, die auf den Arbeitsablauf des Anwenders zugeschnitten sind, werden unterstützt.
Die Software überträgt die Werte automatisch in die Tabelle. So wird das Risiko von Eingabefehlern minimiert. Mit nur wenigen Klicks können Daten in eine Excel-Tabelle exportiert werden.
Automatische Generierung von Dateinamen
Jede Zelle im Prüfplan kann angeklickt werden. Die Software generiert automatisch einen Dateinamen, der die Bewertungsbedingungen für eine einfache Rückverfolgung enthält. Jede Datei enthält die verknüpften Bilder und Daten.
Die Toleranzbeurteilungsfunktion ermöglicht anhand der festgelegten Toleranzgrenzwerte eine Pass/Fail-Bewertung auf einen Blick. Die Toleranzgrenze kann überprüft werden, indem der Schwellenwert basierend auf den Proben geändert wird.
Die Heat Map der Software unterstützt die während des Experiments erfassten Daten besser zu verstehen. Die Farben und Heat Map Prozentsätze können leicht geändert werden. Intuitive Diagrammvorlagen und Heat Maps ermöglichen eine schnelle Datenanzeige, sodass Probleme früher im Prozess erkannt werden können.
Sie können mehrere erfasste Datensätze nebeneinander analysieren und dabei ihre Anzeigeskalen und 3D-Anzeigewinkel integrieren. Bildkorrektur und Bildanalyse können gleichzeitig durchgeführt werden. Dies ist bei der Analyse mehrerer Proben unter verschiedenen Verarbeitungsbedingungen oder zur Fehleranalyse hilfreich. Verschiedene Bilder, Profile und numerische Ergebnisse können in eine Excel-Tabelle übertragen werden, um die Daten schnell auszuwerten.
Spezifikationen
Haupteinheit
Konfokales Laser-Scanning-DIC-Mikroskop mit Auflichtbeleuchtung
Farbe
Farb-DIC
Farbe: CMOS-Farbkamera
*1 Garantiert bei Verwendung bei konstanter Temperatur und in einer Umgebung mit konstanter Luftfeuchtigkeit (Temperatur: 20 ˚C ± 1 ˚C, Luftfeuchtigkeit: 50 % ± 10 %), festgelegt in ISO554(1976), JIS Z-8703(1983).
*2 Für 20X oder höher bei Messung mit Objektiven der Serie MPLAPON LEXT.
*3 Bei Messung mit speziellem LEXT Objektiv.
*4 Typische Werte bei Messung mit dem MPLAPON100XLEXT Objektiv, können vom garantierten Wert abweichen.
*5 Garantiert gemäß dem Evident Zertifizierungssystem.
*6 OLS5100 ist ein Laserprodukt der Klasse 2. Schauen Sie nicht in den Laserstrahl.
** Die Betriebssystem-Lizenz für Windows 10 wurde für den von Evident bereitgestellten Mikroskop-Controller zertifiziert. Daher gelten die Lizenzbedingungen von Microsoft, und Sie erklären sich mit den Bedingungen einverstanden. Im Folgenden finden Sie die Lizenzbedingungen von Microsoft.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm
Objektive
Anwendungssoftware
*1 Einschließlich der Funktionen Datenerfassung mit Auto-Stitching und Datenerfassung in mehreren Bereichen.
*2 Einschließlich Profilanalyse, Differenzanalyse, Analyse der Stufenhöhe, Oberflächenanalyse, Flächen- und Volumenanalyse, Analyse der Linienrauheit, Analyse der Flächenrauheit und Histogrammanalyse.
Lasermikroskope von Evident
OLS5100-SAF Konfigurationsbeispiel
OLS5100-SAF
- Motorgesteuerter Tisch, 100 mm
- Max. Probenhöhe: 100 mm (3,9 Zoll)
OLS5100-EAF
- Motorgesteuerter Tisch, 100 mm
- Max. Probenhöhe: 210 mm (8,3 Zoll)
OLS5100-SMF
- Manueller Tisch, 100 mm
- Max. Probenhöhe: 40 mm (1,6 Zoll)
OLS5100-LAF
- Motorgesteuerter Tisch, 300 mm
- Max. Probenhöhe: 37 mm (1,5 Zoll)
Steuereinheit
Informationsmaterialien
Anwendungsbeispiele
Insights
Video
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