Messmikroskop STM7
STM7 Mikroskope bieten eine hervorragende Vielseitigkeit und leistungsstarke dreiachsige Vermessung von Bauteilen und elektrischen Komponenten mit einer Genauigkeit im Submikrometerbereich. Ganz gleich, ob es sich um kleine oder große, einfache oder komplexe Proben handelt oder ob die Messungen von einem Prüfer mit oder ohne Erfahrung durchgeführt werden, mit der STM7 Serie bietet Olympus Messmikroskope entsprechend Ihren Anforderungen.
STM7
Ein Messmikroskop für
individuelle Anforderungen
Ganz gleich, ob es sich um kleine oder große, einfache oder komplexe Proben handelt oder ob die Messungen von einem Anfänger oder Experten durchgeführt werden, mit der Serie STM7 bietet Olympus Messmikroskope entsprechend Ihren Bedürfnissen an.
Hervorragende optische Eigenschaften
Die Serie STM7 verwendet dasselbe unendlich korrigierte optische System UIS2, das auch in hochmodernen Lichtmikroskopen zu finden ist.
Infolgedessen haben die beobachteten Bilder eine hohe Auflösung und einen hohen Kontrast. Die Aberration wurde eliminiert, um eine hochpräzise Messung mit kleinsten Details zu gewährleisten.
Zuverlässige Messungen mit einer Stein-Tischeinlage der Montageplatte
Um die Messgenauigkeit weiter zu verbessern, verwendet die Serie STM7 ein äußerst haltbares, vibrationsbeständiges Stativ mit einer Granitarbeitsplatte. Diese Stabilität ermöglicht Messungen im Submikrometerbereich mit minimalen Fehlern.
Benutzerfreundliche, hochpräzise 3-Achsen-Messung
Da die moderne Fertigungstechnologie zunehmend miniaturisiert und präziser wird, werden auch hochgenaue Messungen wichtiger – nicht nur in den XY-Achsen, sondern auch auf der Z-Achse. Olympus reagierte darauf mit der Schaffung des ersten aktiven, konfokalen Auflicht-Autofokussystems.
- Kalibrierzertifikat des Olympus Corporation Test & Analysis Center, beglaubigt von Akkreditierungsagenturen für Kalibrierung ILAC-MRA (JCSS, JAB).
- Die Rückverfolgbarkeit variiert nach Zeitraum und Land/Region. Die zur Kalibrierung des STM7 verwendeten Proben werden in jedem Land/jeder Region kalibriert. Weitere Einzelheiten erhalten Sie von Olympus.
Zuverlässige Qualität durch striktes Rückverfolgbarkeitssystem
Die Genauigkeit der Messmikroskope von Olympus wird durch ein strenges System der Rückverfolgbarkeit kontrolliert; Olympus bietet sogar eine rückverfolgbare Kalibrierung zum Zeitpunkt der Installation an.
Vorgeschlagene Modelle
Zuverlässige modulare Systeme
Aus fünf Konfigurationen können Sie flexibel die Funktionen auswählen, die Sie benötigen.
| STM7-SF | STM7-MF | STM7-LF | STM7-MFA | STM7-LFA | |
| Z-Achsen-Fokus | Manuell | Manuell | Motorgesteuert | ||
| Standard | HF oder HF/DF | HF oder HF/DF | HF oder HF/DF | ||
| Option | DIC POL | DIC POL | DIC POL | ||
| Messobjektive Hellfeld |
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| Fokus-Navigator STM7-FN |
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| Autofokus-Einheit STM7-AF |
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| Software zur Unterstützung der Messungen STM7-BSW |
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| Software zur Unterstützung der Messungen (Panoramabilder/MIA und Bilder mit erweiterter Schärfentiefe /EFI) STM7-ASW-ME |
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MIKROSKOPIEVERFAHREN
HF: (Hellfeld)
DF: Dunkelfeld
DIC: Differenzieller Interferenzkontrast
POL: Polarisiertes Licht
Bedienbarkeit
Tische, die zu Ihren Proben passen
Häufige Probleme
- Ein kurzer Messhub schließt die Messung größerer Proben aus – die Proben müssen gedreht werden, da der Messbereich der X-Achse kürzer als der Messbereich der Y-Achse ist.
- Aufgrund des engen Messbereichs ist es unmöglich, eine große Anzahl von Proben auf dem Tisch anzuordnen, um sie gleichzeitig zu messen.
Lösungen mit STM7
- Das STM7 verfügt über einen 300 mm × 300 mm großen Messtisch, mit dem große Proben, beispielsweise 300-mm-Wafer und Leiterplatten, gemessen werden können.
- Der Messbereich der X- und Y-Achse ist gleich lang, sodass die Proben nicht gedreht werden müssen.
- Große Messbereiche sowohl für die X- als auch für die Y-Achse ermöglichen es, zur effizienteren Messung mehrere Proben auf dem Messtisch anzuordnen.
Maximaler Messhub 300 mm x 300 mm
Es stehen drei Messtische mit jeweils unterschiedlichem Messhub zur Verfügung: 100 mm × 100 mm, 200 mm × 200 mm und 300 mm × 300 mm. Ganz gleich, ob Ihre Proben groß oder klein sind, wir bieten Ihnen einen Messtisch, der zu Ihrer Anwendung passt.
STM7-CS100
100 mm x 100 mm
STM7-CS200
200 mm x 200 mm
STM7-CS300
300 mm x 300 mm
Breite Auswahl von Vergrößerungen und Arbeitsabständen
Häufige Probleme
- Die meisten herkömmlichen Messmikroskope akzeptieren nur ein Messobjektiv oder ein Metallurgie-Objektiv, was die Beobachtungsmöglichkeiten einschränkt.
Lösungen mit STM7
- Das STM7 erfüllt die Anforderungen für eine Vielzahl von Beobachtungen. Es erfüllt sowohl bei niedrigen als auch bei starken Vergrößerungen alle Bedürfnisse, ermöglicht die Messung von unebenen Proben durch Objektive mit extrem großem Arbeitsabstand und unterstützt eine Vielzahl von Beobachtungsverfahren.
Messobjektive
Der sehr große Arbeitsabstand der Objektive erleichtert die Fokussierung auf Proben mit hohen Spitzen und tiefen Tälern und minimiert die Wahrscheinlichkeit, dass das Objektiv die Probe berührt.
Darüber hinaus ermöglicht die geringe Vergrößerung die Beobachtung großer Flächen in einer einzigen Ansicht.
Hellfeld-Bild
Dunkelfeld-Bild
Metallurgie-Objektive
Metallurgie-Objektive ermöglichen eine Mikroskopie mit starker Vergrößerung und hoher Auflösung, vergleichbar mit der von Lichtmikroskopen.
Darüber hinaus können diese Objektive für Hellfeld-, Dunkelfeld- und DIC-Mikroskopie verwendet werden.
Innovative Steuereinheit ermöglicht höhere Benutzerfreundlichkeit
Häufige Probleme
- Zusätzliche Funktionen erfordern zusätzliche Betriebseinheiten. Die Prüfer können die entsprechende Einheit nicht immer schnell lokalisieren, was die Effizienz der Messung erheblich verschlechtert.
- Zahlreiche Betriebseinheiten und Netzteile rund um die Haupteinheit belegen wertvollen Arbeitsplatz.
Lösungen mit STM7
- Fast alle Operationen am Messmikroskop können effizient auf der nächstgelegenen Betriebseinheit ausgeführt werden.
- Das System benötigt nur eine einzige Betriebseinheit und nur ein Netzteil, unabhängig davon, wie viele Funktionen ergänzt werden, wodurch mehr Arbeitsfläche frei wird.
Steuerungen
Bei der Serie STM7 übernimmt eine einzige Steuerung praktisch alle Messmikroskop-Operationen, auch Auslese-Reset, Beleuchtungssteuerung, Fokussierung und Autofokus. Aus Effizienz- und Komfortgründen kann das Gerät an einem beliebigen Ort aufgestellt und leicht mit einer Hand bedient werden.
Für Modelle mit manueller Z-Achsen-Fokussierung: Handschalter STM7-HS
Für Modelle mit motorgesteuerter Z-Achsen-Fokussierung: Fokussteuerung STM7-MCZ
Steuereinheit
Die Stromversorgung und die Übertragung für jede Einheit sind in einen Steuerkasten integriert. Dadurch wird der Arbeitsbereich auch dann maximiert, wenn eine Reihe optionaler Funktionen, z. B. der Fokus-Navigator, hinzugefügt wird.
Optionen für manuelle und motorgesteuerte Fokussierung
Es sind manuell bediente und motorgesteuerte Fokussierungen verfügbar. Wählen Sie das Modell, das Ihren Anforderungen an Proben und Messinhalt entspricht, unabhängig von der Tischgröße. Alle Stative verfügen über eine lineare Skala für die Z-Achse, sodass eine Messung in 3 Achsen möglich ist.
Manuell bediente Z-Achsen-Fokus-Modelle
Manuell bediente Modelle bieten ein ausgezeichnetes Preis-Leistungs-Verhältnis mit vertrauter Griffbedienung und erlauben eine schnelle vertikale Bewegung, wenn Prüfer Proben mit unterschiedlichen Höhen messen müssen.
Motorgesteuerte Z-Achsen-Fokussierungsmodelle
Die motorgesteuerte Einheit verbessert die Bedienbarkeit und verringert die Ermüdung bei der Handhabung durch wiederholte Fokus- und Höhenmessungen. Die koaxialen Drehknöpfe für Grob- und Feintrieb bieten ein der manuellen Bedienung ähnliches Gefühl, wobei die Modelle auch mit einer Autofokus-Einheit ausgestattet werden können.
Automatische Einstellung der Lichtstärke Verbessert die Effizienz
Häufige Probleme
- Die von konventionellen Messmikroskopen verwendete analoge Volumeneinstellung ermöglicht keine quantitative Bewertung der Lichtstärke, was bei Änderungen der Lichtstärke zu einer Veränderung der Messwerte führen kann.
- Bei herkömmlichen Messmikroskopen muss die Lichtstärke möglicherweise bei jedem Objektivwechsel angepasst werden, was den Arbeitsablauf ineffizient macht.
Lösungen mit STM7
- Dank der quantitativen Anzeige der Lichtstärke des Mikroskops können Beobachtungen und Messungen immer unter den gleichen Bedingungen durchgeführt werden
- Beleuchtungsmethode und Lichtstärke werden beim Wechsel des Objektivs automatisch auf den voreingestellten Wert eingestellt, wenn der Lichtstärkemanager in Kombination mit einem codierten Objektivrevolver verwendet wird.
Präzise Steuerung der Lichtstärke mit quantitativer Digitalanzeige
Die Serie STM7 zeigt die Lichtstärke mit einer quantitativen Digitalanzeige an, sodass die Mikroskopie unter konstanten Beleuchtungsbedingungen durchgeführt werden kann.
Keine manuellen Anpassungen mehr
Der Lichtstärkemanager kann mit dem kodierten Objektivrevolver verwendet werden. Der codierte Objektivrevolver erkennt jeden Objektivwechsel automatisch. Auf diese Weise werden die Beleuchtungsmethode und die Lichtstärke für jedes Objektiv registriert und Messungen beim Wechsel des Objektivs automatisch angepasst. Nun muss die Lichtstärke nicht mehr manuell eingestellt werden, was früher bei jedem Wechsel der Vergrößerung erforderlich war.
5X Lichtstärke 50
20X Lichtstärke 70
100X Lichtstärke 120
Schnelle Überprüfung von Messergebnissen und Gerätestatus mit einer abnehmbaren Digitalanzeige
Häufige Probleme
- Die Notwendigkeit, den Betriebsstatus von Geräten, z. B. die Beleuchtung, oder Messwerte an einzelnen Einheiten zu überprüfen, macht den Gesamtbetrieb umständlich.
Lösungen mit STM7
- Die Serie STM7 zeigt den Mikroskopstatus, z. B. die Beleuchtung, zusammen mit den Messwerten auf einem Bildschirm an, sodass mit einem Blick eine einfache Überprüfung möglich ist.
Schnelle, visuelle Statusprüfung
Der Indikator zeigt den Gerätestatus und die Einstellungen an. Die Mindestwerte für die X-, Y- und Z-Achse können zwischen 0,1 μm und 1 μm umgeschaltet werden und die Anzeigeeinheiten zwischen mm, μm, Zoll und Mil.
Am Stativ angebrachte Digitalanzeige
Digitalanzeige auf einem Schreibtisch
Platzierung einer abnehmbaren Digitalanzeige nach individueller Präferenz
Die Platzierung der abnehmbaren Digitalanzeige ist dem einzelnen Prüfer überlassen, sie kann am Stativ oder am Arbeitstisch befestigt werden. Werden Messungen im Stehen durchgeführ, kann die Anzeige seitlich am Stativ in fast derselben Höhe wie der Beobachtungsort angebracht werden und ist damit gut sichtbar. Beim Arbeiten im Sitzen, z. B. beim Mikroskopieren oder Messen auf einem Monitor mit einer Digitalkamera oder bei Einsatz des motorgesteuerten Z-Achsen-Fokussiermodells, werden die Digitalanzeige und die Handsteuerung einfach auf den Arbeitstisch geleget.
Schnellere, einfachere und genauere Höhenmessung
Häufige Probleme
- Bei der visuellen Messung können bei den Höhenmessungen verschiedener Prüfer Abweichungen auftreten. Außerdem ist diese Messmethode zeitaufwändig und ineffizient.
Lösungen mit STM7
- Das Fokus-Navigationssystem STM7 reduziert die Subjektivität des Prüfers bei Höhenmessungen. Es verkürzt auch die Zeit zur Durchführung von Höhenmessungen und erreicht so eine größere Effizienz.
Einfaches, präzises Fokussiersystem mit hervorragender Wiederholgenauigkeit
Der Fokus-Navigator von Olympus erlaubt eine hochgradig reproduzierbare Höhenmessung, indem er ein Muster innerhalb des Sichtfeldes projiziert und vertikale Abweichungen identifiziert. Bei Höhenmessungen mit normaler visueller Beobachtung können geringfügige Fehler auftreten, selbst wenn der Fokus scharf zu sein scheint. Der Fokusnavigator ermöglicht jedoch Messungen durch einfachen Abgleich der Markierungen und reduziert damit die Subjektivität des Prüfers bei Messergebnissen.
Schnelle und hochgenaue Höhenmessung durch Autofokus
Häufige Probleme
- Während der visuellen Messung können die Ergebnisse der Höhenmessung je nach Prüfer variieren.
- Bei der manuellen Höhenmessung muss der Prüfer den Tisch wiederholt verstellen und den Fokus mit dem Griff nachstellen, was die Messung zeitaufwändig und ineffizient macht.
- Die Fokussierung auf kleinste Objekte, wie Bonddrähte, ist schwierig.
Lösungen mit STM7
- Mit der Autofokus-Einheit bleibt der gemessene Wert unabhängig vom Prüfer hochgenau.
- Im TRACK-Modus wird das Bild automatisch und kontinuierlich scharf gestellt, was eine effiziente Höhenmessung in minimaler Zeit ermöglicht. Dieser Modus macht auch die manuelle Fokussierung für XY-Messungen überflüssig und erhöht so die Effizienz.
- Bei Verwendung eines 100X-Objektivs kann der Durchmesser des Laserbrennpunkts bis 1 μm klein sein, sodass der Autofokus auch bei extrem kleinen Objekten lokal eingesetzt werden kann.
Dedizierte Autofokus-Einheit: Hervorragende Reproduzierbarkeit und Fokussierungsgeschwindigkeit
Die Autofokus-Einheit STM7 ermöglicht hochgenaue Höhenmessungen mit minimalem Zeitaufwand, unabhängig von der Erfahrung des Prüfers. Die Verwendung des aktiven, konfokalen Auflichtverfahrens ermöglicht einen stabilen Brennpunkt unabhängig von der Oberflächenrauheit oder Schräge einer Probenoberfläche, der kleine Laserdurchmesser erlaubt den Einsatz des Autofokus auch bei kleinsten Objekten, z. B. Bonddrähten.
One-Shot-Modus
Ändert sofort den Autofokus in der Mitte des Sichtfeldes von grob auf scharf.
TRACK-Modus
Der TRACK-Modus verfolgt mit Autofokus die Spitzen und Täler der Probe, auch wenn der Tisch verstellt wird, sodass das Bild ständig scharf bleibt. Diese Weiterentwicklung verbessert die Effizienz von Z-Achsen-Messungen erheblich, da Beobachtungen durchgeführt werden können, ohne die Hände von den Griffen X und Y zu nehmen.
Mess-Support-System
Genaue, schnelle und einfache Vermessung komplex geformter Objekte
Messunterstützungssystem
Für Messmikroskope ist eine scharfe und einfach zu erkennende Ausgabe auf dem Bildschirm sehr wichtig. Die Messsoftware von Olympus ermöglicht komplexe Messungen mit höherer Genauigkeit. Die Software unterstützt auch den Einsatz von Digitalkameras.
Zubehör zur Erweiterung des Mikroskopie- und Messbereichs
Codierter Objektivrevolver
Wird ein codierter Objektivrevolver mit einer Digitalkamera kombiniert, lässt sich die Objektivvergrößerung während der Mikroskopie auf dem Bildschirm anzeigen und aufzeichnen. Mit dieser praktischen Funktion können bei der Erfassung einer Probe gleichzeitig Informationen über die Probe und die Vergrößerung des Objektivs aufgezeichnet werden.
STM7-FS/Fußschalter
Zur freihändigen Übertragung von Daten, sodass die Prüfer die Messung abschließen können, ohne die Hände von den Griffen X und Y zu nehmen.
SZ-LW61/Weißlicht-LED-Beleuchtungseinheit
Diese leichte, platzsparende Konstruktion zeichnet sich durch lange Betriebsdauer und niedrigen Stromverbrauch aus. Die kostengünstige LED-Beleuchtungseinheit ist zudem frei von Flimmern und Lichtstärkeschwankungen.
SZX2-ILR66+SZX-RHS/LED-Ring-Beleuchtung + Handsteuergerät
Das Handsteuergerät SZX-RHS ermöglicht die unabhängige Beleuchtung mit vier Segmenten der LED-Ringbeleuchtung SZX2-ILR66, um klare Bilder mit hoher Farbtemperatur zu erhalten. Die optimale Beleuchtung kann aus 13 Mustern ausgewählt werden.
Drehtisch
Zur einfachen parallelen Ausrichtung der Probe.
STM7-RS100
für STM7-CS100
100 mm × 100 mm Tisch
STM7-RS200
für STM7-CS200
200 mm × 200 mm Tisch
STM7-RS300
für STM7-CS300
300 mm × 300 mm Tisch
Spezifikationen
TECHNISCHE ANGABEN ZUM STM7 (manuell bedientes Modell)
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*1 Bei Verwendung des großen Stativs STM7-LF/STM7-LFA kann eine Probe mit einer Höhe von max. 100 mm an einer Position mindestens 180 mm hinter der Lichtachse platziert werden.
ARBEITSABSTAND DER OBJEKTIVE
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SYSTEMVORAUSSETZUNGEN FÜR STM7-BSW
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| CPU | Intel Core i3 Prozessoren mit 3 GHz oder mehr mit einer STM7-CU Kamera, ein Intel Core i5 oder gleichwertig oder höher ist mit DP23/DP28-Kameras erforderlich |
| Speicher | 4 GB oder mehr mit einer STM7-CU-Kamera, wobei 8 GB erforderlich sind und 16 GB mit DP23/DP28-Kameras empfohlen werden |
| Festplatte, freier Speicherplatz | Mindestens 100 GB Festplattenspeicher für die Installation, für die Hochgeschwindigkeits-Bilderfassung wird eine SSD-Festplatte empfohlen. |
| Grafikkarte | Grafikkarte für Auflösung 1980 x 1080 Pixel und 32-Bit-Farbtiefe erhältlich |
| Laufwerk | DVD-Laufwerk |
| PC-Eingabegerät | 2-Tasten-Maus (3-Tasten-Maus mit Mausrad empfohlen), Tastatur |
| Betriebssystem | Microsoft Windows 10 Pro/Pro für Workstations (64 Bit) |
| Webbrowser | Internet Explorer 11 |
* Microsoft Office 32 Bit und 64 Bit 2013/2016/2019/2021/365 (SAC) werden auch unterstützt.
Technische Angaben STM7 (motorgesteuertes Modell)
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*1 Bei Verwendung des großen Stativs STM7-LF/STM7-LFA kann eine Probe mit einer Höhe von max. 100 mm an einer Position mindestens 180 mm hinter der Lichtachse platziert werden.
OPTION
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*1 Die unterstützten Kameras variieren je nach STM7-BSW-Version.
Version 1.3.3 oder früher: STM7-CU
Version 1.4.1 oder höher: DP23/DP28