USPM RU W Spektralphotometer
Das USPM-RU-W NIR-Mikro-Spektralphotometer von Evident führt schnelle und genaue Spektrometrie in einem großen Wellenlängenbereich vom sichtbaren Licht bis zum nahen Infrarot durch. Durch die Fähigkeit das Reflexionsvermögens extrem kleiner Bereiche oder gekrümmter Oberflächen, die mit herkömmlichen Spektralphotometern nicht gemessen werden können, einfach zu messen, eignet sich das USPM-RU-W für die Analyse optischer Elemente oder winziger Elektronikteile.
USPM-RU-W Industrielle Mikroskope
Mikrospektrophotometer im nahen Infrarotbereich
■ Reflexionsgrad, Schichtdicke, Objektfarbe und Transmission werden in Sekunden gemessen
■ Große Auswahl an Objektiven von 380x–1050x
■ Kontaktfreie Messung der Reflektivität auf gekrümmten Oberflächen
Messung der Reflektivität
Messung der Reflektivität eines Bereichs mit einem Durchmesser von nur 17–70 um
Beispiel für die Messung der Reflektivität: Objektiv
Beispiel für die Messung der Reflektivität: Krümmung der Objektivlinse
Bildschirmanzeige der Messung der Schichtdicke
Messung der Schichtdicke
Messung der Dicke von ein- oder mehrlagigen Schichten (ca. 50 nm bis 10 μm) anhand von Reflektivitätsdaten.
Bildschirmanzeige der Objektfarbmessung
Messung der Objektfarbe
Anzeige eines XY-Farbwertdiagramms, eines L*a*b*-Farbwertdiagramms und der zugehörigen numerischen Werte auf der Grundlage von Reflektivitätsdaten.
Messung des Transmissionsgrads (als Option erhältlich)
Messen Sie den Transmissionsgrad einer ebenen Probe, indem Sie 2 mm lange parallele Lichtstrahlen durch die Probe zu den Spektrophotometrie-Akzeptanzelementen leiten.
Optischer Strahlengang der Transmissionsmessung
Messung der Reflektivität bei einem Einfallswinkel von 45°（optional verfügbar）
Messung der Reflektivität bei einem Einfallswinkel von 45° durch Reflexion von parallelen Lichtstrahlen (2 mm) an den Spektrophotometrie-Akzeptanzelementen.
Optischer Strahlengang der 45°-Reflexionsmessung
Schnelle Messungen von gekrümmten Oberflächen und sehr kleinen Bereichen
Bild des optischen Systems
Ermöglicht die Messung mit hoher Geschwindigkeit
Mithilfe eines flachen Gitters und eines Liniensensors können Spektrophotometrie-Messungen mit hoher Wiederholbarkeit in Sekundenschnelle durchgeführt werden.
Bild der Messung der Reflektivität
Optimal zur Messung der Reflektivität von sehr kleinen Teilen und Objektiven
Olympus hat ein neues Objektiv speziell für kontaktfreie Messungen in einem Bereich mit einem Durchmesser von 17–70 μm entwickelt. Das neue Objektiv bietet eine hohe Wiederholgenauigkeit selbst auf gekrümmten Oberflächen oder winzigen elektronischen Teilen.
Prinzip der Elimination der Rückseitenreflexion
Keine Anti-Reflexionsbehandlung erforderlich auf der Rückseite der Probe
Eine genaue Messung der Oberflächenreflexion kann ohne die kostspieligen Schritte durchgeführt werden, die erforderlich sind, um eine Reflexion an der Rückseite zu verhindern. Das von der Oberfläche zurückgeworfene Licht wird durch eine spezielle Optik reduziert, die ähnlich wie bei einem konfokalen System alle unscharfen Lichtreflexe blockiert. Unabhängig davon, ob die optische Komponente sphärisch, asphärisch oder flach ist, benötigt das USPM-RU-W keine Probenvorbereitung durch Antireflexionsbehandlung.
Verfügbare Methoden zur Messung der Schichtdicke
Die Dicke einer ein- oder mehrlagigen Schicht kann anhand der gemessenen Spektraldaten zur Reflektivität analysiert werden. Es kann die optimale Messmethode für die jeweilige Anwendung ausgewählt werden.
Ergebnis der Peak-Valley-Analyse der Schichtdicke
Peak-Valley-Methode
Diese Methode wird zur Berechnung der Schichtdicke auf der Grundlage der Perioden zwischen den Spitzen (Peaks) und Tälern (Valleys) des gemessenen spektralen Reflektivitätswerts verwendet und eignet sich effektiv für die Messung einer einlagigen Schicht. Da keine komplizierten Einstellungen erforderlich sind, lässt sich die Messung der Schichtdicke einfach durchführen.
Ergebnis der Analyse der Schichtdicke per Fourier-Transformation
Fourier-Transformationsmethode
Diese Methode wird zur Berechnung der Schichtdicke auf der Grundlage der Perioden zwischen den gemessenen spektralen Reflektivitätswerten verwendet und eignet sich effektiv für die Messung von ein- und mehrlagigen Schichten. Die Fourier-Transformationsmethode eliminiert das Rauschen und ermöglicht so eine Analyse, wenn es schwierig ist, Peak- und Valley-Werte zu erkennen.
Ergebnis der Schichtdickenanalyse mittels Kurvenanpassung
Kurvenanpassung
Diese Methode wird zur Berechnung der Schichtdicke verwendet, indem abgeschätzt wird, welche Struktur den geringsten Unterschied zwischen der gemessenen spektralen Reflektivität und der berechneten Reflektivität für diese Struktur aufweist, und eignet sich effektiv die Messung von ein- und mehrlagigen Schichten. Die Kurvenanpassungsmethode ermöglicht auch die Analyse von dünnen Schichten, bei denen keine Peak- und Valley-Werte erkennbar sind.
Vielfältige Anwendung
Erfüllt diverse Messanforderungen mit hoher Geschwindigkeit und hoher Präzision
Bewertung der Objektivbeschichtung hinsichtlich Reflektivität, Farbe und Schichtdicke.
Mobiltelefon-Kameraobjektive
Projektor-Linsen
Digitalkameraobjektive
Spektrale Objektivlinsen
Untersuchung der Reflektivität und der Schichtdicke von elektronischen Kleinstbauteilen.
LED-Pakete
Leiterplatten
Messung der Reflektivität, Schichtdicke und Transmission von planaren optischen Elementen.
LCD-Farbfilter
Optische Schichten
Reflektivität optischer Elemente bei einem Einfallswinkel von 45°.
Prismen
Spiegel
Spezifikationen
USPM-RU-W NIR Mikrospektrophotometer
| Messung der Reflektivität | Transmissionsmessung*1 | Messung der Reflektivität bei 45°*1 | ||
| Name | NIR-Mikrospektrophotometer | Transmissionsmesseinheit für NIR-Mikrospektrophotometer |
45°-Reflexionsmesseinheit für NIR -Mikrospektrophotometer |
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| Modell | USPM-RU-W | |||
| Gemessene Wellenlänge | 380–1050 nm | |||
| Messmethode | Verglichen mit einer Referenzprobe für die Messung | Die Durchlässigkeit wird mit 100 % als Standard gemessen | Verglichen mit einer Referenzprobe für die Messung | |
| Messbereich | Siehe die folgenden Spezifikationen des Objektivs | Ca. 2,0 mm Durchmesser | ||
| Wiederholpräzision der Messung (3 σ) *2 | Messung der Reflektivität | Bei Verwendung von 10x- und 20x-Objektiven | ± 0,02 % oder weniger (430–1010 nm) ± 0,2 % oder weniger (außer wie oben beschrieben) |
± 0,3 % oder weniger (430–1010 nm) ± 1,0 % oder weniger (außer wie oben beschrieben) |
| Bei Verwendung eines 40x-Objektivs | ± 0,05 % oder weniger (430–950 nm) ± 0,5 % oder weniger (außer wie oben beschrieben) |
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| Messung der Schichtdicke | ± 1 % | - | ||
| Auflösung der Wellenlängenanzeige | 1 nm | |||
| Zubehör für die Beleuchtung | Spezielle Halogen-Lichtquelle, JC12V 55 W (mittlere Lebensdauer: 700 Stunden) | |||
| Verschiebbarer Tisch | Größe der Probenfläche: 200 (B) × 200 (T) mm Mit Stativ: 3 kg Arbeitsbereich: (XY) ± 40 mm, (Z) 125 mm |
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| Schwenkbarer Tisch | － | Größe der Probenfläche: 140 (B) × 140 (T) mm Mit Stativ: 1 kg Betriebsbereich: (XT) ± 1*, (YT) ± 1* |
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| Gewicht | Haupteinheit: ca. 26 kg (ohne PC) | Haupteinheit: ca. 31 kg (ohne PC)*3 | ||
| Steuereinheit: ca. 6,7 kg | ||||
| Abmessungen | Haupteinheit: 360 (B) × 446 (T) × 606 (H) mm | Haupteinheit: 360 (B) × 631 (T) × 606 (H) mm | ||
| Steuereinheit: 250 (B) × 270 (T) × 125 (H) mm (ohne Berücksichtigung hervorstehender Teile) | ||||
| Leistungsdaten | Eingangsspezifikationen: 100–240 V (110 V) 50/60 Hz | |||
| Betriebsbedingungen | Ebene Fläche ohne Vibrationen Temperatur: 15–30 ºC Luftfeuchtigkeit: 15–60 % relative Luftfeuchtigkeit (ohne Kondensation) |
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*1 Optionale Einheit *2 Gemessen unter den Messbedingungen unseres Unternehmens. *3 Das kombinierte Gesamtgewicht bei installierten Einheiten zur Messung der Transmission und der 45°-Reflektivität beträgt ca. 33 kg.
Objective lens
*4; abweichend von der NA des Objektivs.
*5 Punktdurchmesser
Software
Spectral Analysis Software mit bedienerfreundlicher Benutzeroberfläche
Beispiel für ein Layout der grafischen Benutzeroberfläche
Übersichtliche Anzeige
Layout und Position, Größe und Sichtbarkeit jedes Fensters lassen sich entsprechend dem Messzweck und den Anforderungen verändern.
Reflektivitäts-/Transmissionsdiagramm, Reflektivitäts-/Transmissionstext, XY/L*a*b*-Farbwertdiagramm
Diverse Messergebnisse
Spektrale Reflektivitäts-/Transmissionsgrafiken und Text, Farbmessungswerte (XY- und L*a*b*-Farbwertdiagramme) und Schichtdickenmesswerte können der Übersichtlichkeit halber auf einem Bildschirm angezeigt werden.
Einfache Positions- und Fokuseinstellung
Die Positionierung des Messpunkts ist durch Verwendung eines Fokussierfensters für die Ausrichtung der Z-Achse und eines Zentrierfensters für die Ausrichtung der X- und Y-Achse vereinfacht.
Fokussierung
Positionsanpassung
Arbeitseinstellung, Schicht- Einstellung, Grafikeinstellung, Parametereinstellung
Flexibilität für jede Anwendung
Die USPM-RU-W-Software kann so konfiguriert werden, dass für spezifische Proben eine optimale Leistung erzielt wird.
Beispiel einer Reflektivitätsmessung mit Toleranzeinstellungsfunktion
Toleranzeinstellungsfunktion zur automatischen Pass/Fail-Bestimmung.
Das System kann so konfiguriert werden, dass es automatisch Gut-/Nicht-Gut-Kennzeichnungen erstellt.