Descripción

Curva de perfil primario

Es la curva que se obtiene al aplicar un filtro de paso bajo con un valor de límite λs en el perfil primario medido. Al parámetro de textura de la superficie, calculado a partir del perfil primario, se le denomina parámetro de perfil primario (parámetro P).

Perfil de rugosidad

Es el perfil que deriva del primario al suprimir el componente de onda larga que utiliza el filtro de paso alto con un valor de límite λc. Al parámetro de textura de la superficie, calculado a partir del perfil de rugosidad, se le denomina parámetro de perfil de rugosidad (parámetro R).

Perfil de ondulación

Es el perfil obtenido mediante la aplicación secuencial de los filtros de perfil con valores de corte λf y λc en el perfil primario. λf corta el componente de onda larga mientras que el componente de onda corta es cortado por el filtro λc. Al parámetro de textura de la superficie, calculado a partir del perfil de ondulación, se le denomina parámetro de perfil de ondulación (parámetro W).

Filtro de perfil

Es el filtro requerido para el aislamiento de los componentes de onda corta y larga contenidos en el perfil. A continuación, se proporciona la definición de los tres tipos de filtros:

• Filtro λs: designa el umbral entre el componente de rugosidad y los componentes de onda más corta.
• Filtro λc: designa el umbral entre el componente de rugosidad y los componentes de ondulación.
• Filtro λf: designa el umbral entre el componente de ondulación y los componentes de onda más larga.

Longitud de onda límite

Es la longitud de onda del umbral en el caso de los filtros de perfil. La longitud de onda indica un factor de transmisión del 50 % para una amplitud determinada.

Longitud de muestreo

Es la longitud en la dirección del eje X que se usa para determinar las características del perfil.

Longitud de evaluación

Es la longitud en la dirección del eje X usada para evaluar el perfil bajo evaluación.

^{Dibujo conceptual del método de perfil}

Superficie a escala limitada

Los datos de la superficie sirven como base para calcular los parámetros de textura de la superficie [área], ya sea la superficie S-F o superficie S-L. A este parámetro a veces se le denomina «superficie».

Filtro de área

Es el filtro requerido para la separación de los componentes de onda corta y larga contenidos en las superficies a escala limitada. A continuación, se definen tres tipos de filtros según su función:

• Filtro S: elimina los componentes de longitud de onda pequeña de las superficies a escala limitada.
• Filtro L: elimina los componentes de longitud de onda prolongada de las superficies a escala limitada.
• Operación F: asociación o filtro que sirve para eliminar formas específicas (esferas, cilindros, etc.)

Nota: Los filtros gaussianos se establecen por lo general como S y L, y la asociación de mínimos cuadrados totales se establece en la operación F.

Filtro gaussiano

Tipo de filtro de área usado por lo general en la medición de superficies (áreas). El filtro se aplica por convolución partiendo de funciones de ponderación que derivan de una función gaussiana. El valor del índice de anidamiento es la longitud de onda de un perfil sinusoidal en el que se transmite el 50 % de la amplitud.

Filtro de canal (spline)

Es un tipo de filtro de área con menor distorsión en el borde periférico a diferencia del filtro gaussiano.

Índice de anidación

Representa la longitud de onda del umbral para filtros de área. El índice de anidamiento para la aplicación de filtros gaussianos de área se establece en términos de unidades de longitud y es equivalente al valor de límite (corte) en el método de perfil.

Superficie S-F

Es la superficie obtenida al eliminar componentes de longitud de onda pequeña con el filtro S, y procesada a continuación mediante la operación F para eliminar ciertos componentes de geometría (forma).

Superficie S-L

Es la superficie obtenida al eliminar los componentes de longitud de onda pequeña con el filtro S, seguida de la eliminación de componentes de longitud de onda prolongada con el filtro L.

Área de evaluación

Es la porción rectangular de la superficie designada para evaluación característica. El área de evaluación se determina como un cuadrado (a menos de especificación contraria).

^{Dibujo conceptual del método de superficie (área)}

* Valor teórico.
** Valor estándar al usar el microscopio OLS5000.

◎ : Más adecuado
○ : Adecuado
△ : Aceptable según el uso
X : No adecuado

La funcionalidad, combinación y el tamaño de cada filtro usado en el análisis de las características superficiales se describen a continuación:

Las condiciones de filtro se establecen conforme a los objetivos analíticos.

Funcionalidad de filtro

Al realizar un análisis paramétrico de características de la superficie, se debe considerar la aplicación de tres tipos de filtros (operación F, filtro S y filtro L) para los datos de textura superficial adquiridos de acuerdo con los objetivos de la medición.

Operación F	Filtro S (Filtro de atajo)	Filtro L (Filtro de paso largo)
Componentes de forma nominal de muestras (esferas, cilindros, curvas, etc.). son eliminados	Se eliminan el ruido de medición y los componentes de características pequeñas.	Se eliminan los componentes de ondulación.