Perfilómetro óptico 3D LEXT OLS5500
El perfilómetro óptico 3D híbrido LEXT™ OLS5500 integra microscopía de escaneo láser (LSM), interferometría de luz blanca (WLI) y microscopía de variación de enfoque (FVM) en una sola plataforma galardonada. Diseñado para equipos de I+D, QA y QC, ofrece detalles de superficie precisos, exactitud trazable para mediciones confiables y una experiencia de usuario intuitiva para optimizar los flujos de trabajo. Los datos confiables, impulsados por óptica de precisión, calibración verificable y automatización inteligente, ayudan a los laboratorios a avanzar de manera fluida desde el primer descubrimiento hasta la decisión final.
- Product Status: Este producto reemplaza al LEXT OLS5100 y a los modelos anteriores de la serie OLS.
Perfilómetro óptico 3D LEXT OLS5500
Superficies ilimitadas, resultados confiables
Combinando la microscopía de barrido láser (LSM), la interferometría de luz blanca (WLI) y la microscopía de variación de foco (FVM) en una sola plataforma, el galardonado perfilómetro óptico 3D LEXT™ OLS5500 garantiza que cada superficie pueda medirse de forma clara y precisa.
La solución completa de imágenes para la medición precisa de superficies
- LSM: resolución lateral excepcional para texturas rugosas, microestructuras y pendientes empinadas.
- WLI: precisión vertical a nivel nanométrico para superficies lisas o inclinadas y películas delgadas.
- FVM: cobertura macro a micro para áreas extensas o irregulares que requieren un contexto más amplio.
Cada método complementa a los demás, proporcionando el modo de imagen adecuado para cada superficie. Genere datos de superficie completos y fieles a la realidad, desde nanómetros hasta milímetros y desde superficies planas hasta pendientes pronunciadas, todo en un único sistema.
Descargue el catálogo
Paquete de RF visualizado mediante tres técnicas de metrología de superficie.
Imágenes de precisión excepcional
Izquierda: Con lentes convencionales, la distorsión aumenta en la periferia y afecta la exactitud de la medición. Derecha: Con las lentes LEXT, la periferia se reproduce sin distorsión para obtener mediciones precisas.
Precisión en todas las superficies
Ya sea que trabaje con muestras muy inclinadas, superficies reflectantes o geometrías complejas, los objetivos diseñados internamente mantienen la nitidez y la fidelidad de la forma en todo el campo de visión.
Objetivos de microscopía láser
Los objetivos LEXT dedicados miden con precisión las áreas periféricas, superando las dificultades de medición de las lentes convencionales.
Lentes de objetivo LEXT de izquierda a derecha: larga distancia de trabajo (20X, 50X, 100X), alto rendimiento (20X, 50X, 100X) y bajo aumento (10X).
Objetivos de interferometría de luz blanca
Los objetivos WLI de alta NA (hasta 0,8 NA) producen franjas de interferencia nítidas y una estabilidad de fase excepcional, incluso en superficies empinadas o texturizadas.
Imágenes comparativas de una muestra de lente Fresnel obtenidas con un objetivo WLI convencional de 20X (izquierda, 0,4 NA) y con el objetivo WLI de 20X de Evident (derecha, 0,6 NA).
Imágenes comparativas de una muestra de lente Fresnel obtenidas con un objetivo WLI convencional de 50X (izquierda, 0,55 NA) y con el objetivo WLI de 50X de Evident (derecha, 0,8 NA).
Imágenes comparativas de una muestra de calibración tomadas con un objetivo WLI convencional de 50X (izquierda, 0,55 NA) y el objetivo WLI de 50X de Evident (derecha, 0,8 NA).
Claridad que revela lo invisible
Mejore la velocidad de validación revelando características críticas que son invisibles para los sistemas convencionales. Desde estructuras finas y topografía sutil hasta superficies transparentes y características de bajo contraste, el OLS5500 ofrece múltiples opciones para mejorar el contraste y revelar detalles ocultos o sutiles.
- La captura de imágenes 4K con un sensor de alta sensibilidad garantiza un contraste fino y una fidelidad de color excepcional.
- El DIC láser y el DIC en color revelan el relieve de la superficie y los límites del material con una claridad asombrosa.
- El filtro de detección de superficie superior aísla la superficie real, eliminando la interferencia de las capas subyacentes.
Imágenes comparativas de una película de polímero. Izquierda: Imagen láser sin DIC. Derecha: Imagen láser con DIC.
Imágenes comparativas de una zona de aterrizaje de disco duro. Izquierda: Imagen en color sin DIC. Derecha: Imagen en color con DIC.
Imágenes comparativas de una oblea en modo mosaico. Izquierda: Sin corrección de sombreado inteligente. Derecha: Con corrección de sombreado inteligente.
Imágenes continuas de gran superficie
Inspeccione áreas más grandes, sin perder detalles ni calidad de imagen. La corrección inteligente de sombreado minimiza los artefactos y equilibra la iluminación en las imágenes compuestas, garantizando resultados sin discontinuidades incluso en superficies de bajo contraste o irregulares. Esta claridad de extremo a extremo permite realizar análisis consistentes.
Mediciones confiables
Mediciones precisas y confiables
Menos repeticiones de ensayos, retrabajos y rechazos, gracias a mediciones confiables en LSM, WLI y FVM que puede verificar y validar.
Exactitud y repetibilidad garantizadas
Obtenga mediciones consistentes y de alta precisión en todas las aplicaciones: el OLS5500 es el primer perfilómetro óptico 3D del mundo que garantiza exactitud y repetibilidad* tanto para mediciones LSM como WLI.
La calibración in situ realizada por técnicos de Evident garantiza mediciones precisas y repetibles, con registros con sello de tiempo que garantizan la conformidad con los estándares internacionales de metrología.
Cada valor que mide se valida mediante nuestro proceso de calibración trazable, lo que le proporciona resultados que puede defender en auditorías, informes y revisiones de producción.
* Según la investigación interna de Evident a octubre de 2025. La exactitud y repetibilidad garantizadas son válidas únicamente si el dispositivo se ha calibrado según las especificaciones del fabricante y se encuentra libre de defectos. La calibración debe llevarla a cabo un técnico o un especialista autorizado de Evident.
Ejemplo del estándar AIST
Módulo de medición de longitud
Ruido de medición garantizado
Confíe en sus mediciones de altura, incluso a escala nanométrica. El OLS5500 garantiza niveles de ruido de medición* compatibles con la norma ISO 25178-700:2022:
· 1 nm con objetivos MPLAPON 100X LEXT
· 0,08 nm con objetivos WLI
Esto garantiza la detección de alta resolución incluso de los cambios topográficos más sutiles, desde películas delgadas hasta superficies microestructuradas.
* Recibirá un Certificado de garantía de ruido de medición. Este es un valor representativo medido bajo las condiciones especificadas por Evident y puede diferir del valor garantizado.
Exactitud garantizada para imágenes en mosaico
El OLS5500 incorpora un módulo de medición de longitud en su platina motorizada, lo que garantiza* la exactitud de los datos de imagen en mosaico. Mientras que los sistemas convencionales dependen únicamente de la coincidencia de patrones, el OLS5500 la combina con retroalimentación posicional, proporcionando datos en mosaico altamente confiables tanto para LSM como para WLI.
* La exactitud garantizada para imágenes en mosaico aplica únicamente a la plataforma motorizada de 100 mm. (El OLS5500-SAF está disponible tanto para LSM como para WLI, y el OLS5500-EAF está disponible únicamente para LSM).
Servicio y soporte que lo empodera
Cuando se trata de proteger su inversión y la integridad de su investigación, sus necesidades son lo primero. Cumplimos con nuestros productos entregando una atención técnica y de servicio a tiempo para favorecer la realización de sus objetivos.
Mantenga el cumplimiento normativo y el tiempo de actividad del sistema con nuestra calibración in situ, red de servicio global y soporte remoto, respaldados por más de 100 años de experiencia en microscopía.
Flujo de trabajo más inteligente
Flujo de trabajo más inteligente, máximo rendimiento
Las herramientas inteligentes de automatización y flujo de trabajo del OLS5500 están diseñadas para facilitar y agilizar el análisis de superficies para usuarios de todos los niveles. Obtenga resultados consistentes y correctos a la primera en LSM, WLI y FVM para maximizar la eficiencia y la productividad de la inspección.
Observaciones sin interrupciones
El OLS5500 genera automáticamente un macromapa a medida que el escenario se desplaza, manteniendo cada área rastreada y documentada para una navegación sin esfuerzo. Con enfoque automático continuo, la nitidez se mantiene durante todo el movimiento, sin necesidad de reenfoque manual y sin interrupciones.
Automatización inteligente para una precisión sin esfuerzo
El OLS5500 automatiza los procesos de medición clave para que usted pueda centrarse en el análisis, no en el ajuste.
Adquiera datos de forma rápida y sencilla con Smart Scan II para LSM. Coloque la muestra en la platina, presione el botón de inicio y el sistema hará el resto.
El algoritmo PEAK proporciona datos muy precisos desde bajas hasta altas magnificaciones, además de reducir el tiempo de adquisición de datos. Al medir la forma de los escalones en una muestra, el tiempo de adquisición de datos se puede reducir omitiendo el rango de escaneo innecesario en la dirección Z.
Muestra con una altura de 83 nm estándar VLSI (MPLFLN10LEXT).
Patrón de resistencia sobre una superficie de silicio. Por cortesía del Centro de Nanotecnología de Kyoto University.
Izquierda: Smart Judge desactivado: Derecha: Smart Judge activado.
Consistencia en la que puede confiar
Automatice las inspecciones con macros: cree, edite y ejecute procedimientos para obtener resultados fiables. Empareje con el Smart Experiment Manager para tomar decisiones de aprobado/rechazado con un solo clic. Guarde los informes como plantillas para simplificar las mediciones repetidas y garantizar resultados consistentes entre diferentes análisis y usuarios.
La integración del software PRECiV™ para metalografía de rutina, flujos de trabajo mejorados con IA y análisis 2D avanzado admite aplicaciones especializadas y entornos de producción de alto rendimiento.
Medición 40 veces más rápida sin concesiones
El OLS5500 ofrece velocidad y precisión. Su avanzado modo de interferometría de luz blanca (WLI) acelera las mediciones de superficie hasta 40 veces en comparación con el LSM convencional, sin perder exactitud ni trazabilidad.
· Ideal para la validación rápida de procesos, la verificación de diseños y el muestreo de producción.
· Mantiene una precisión constante incluso en muestras grandes y complejas.
Muestra: Altura de escalón de 60 nm, área de medición: 1280 µm.
LSM: Tiempo de adquisición de datos: 630 s; imagen compuesta de 6×6 adquirida con un objetivo LSM 50X (0,95 NA).
WLI: Tiempo de adquisición de datos: 15 s; una sola imagen adquirida con un objetivo WLI 10X (0,3 NA).
Visión más amplia, flujo de trabajo más rápido
Ahorre tiempo al adquirir imágenes de muestras grandes o complejas. Los objetivos Mirau WLI de alta NA del OLS5500 amplían el campo de visión medible al tiempo que conservan la precisión vertical.
· Objetivo 20X: cobertura hasta seis veces superior a la de los objetivos WLI convencionales de 50X.
· Objetivo 50X: cobertura hasta cuatro veces superior a la de los objetivos WLI convencionales de 100X.
Menos imágenes por área implican menos pasos de unión de imágenes, lo que mejora la eficiencia mientras se mantiene la trazabilidad y la alta fidelidad de los datos.
Especificaciones
Especificaciones de la unidad principal del LEXT OLS5500
| Modelo | OLS5500-SAF | OLS5500-EAF | OLS5500-LAF | ||
| Aumento total | 54X–17 280X | ||||
| Campo de visión | De 16 µm a 5120 µm | ||||
| Principio de medida | Sistema óptico |
Microscopía confocal de escaneo láser de tipo reflexión Microscopía confocal de escaneo láser DIC de tipo reflexión Microscopía de variación de enfoque (color, color-DIC) |
|||
| Interferometría de luz blanca | - | ||||
| Elemento receptor de luz | Láser: fotomultiplicador (dos canales), Color: cámara en color CMOS | ||||
| LSM | Altura | Repetibilidad σn-1 *1 *2 *5 | 5X: 0,45 μm, 10X: 0,1 μm, 20X: 0,03 μm, 50X: 0,012 μm, 100X: 0,012 μm | ||
| Exactitud*1 *3 *5 | 0,15 + L/100 μm (L: longitud de medición [μm]） | ||||
| Ruido de medición*1 *4 *5 | 1 nm (típico) | ||||
| Longitud | Repetibilidad 3σn-1 *1 *2 *5 | 5X: 0,4 μm, 10X: 0,2 μm, 20X: 0,05 μm, 50X: 0,04 μm, 100X: 0,02 μm | |||
| Exactitud *1 *3 *5 | Valor de medida de ±1,5 % | ||||
| Cantidad máxima de puntos de datos en una sola medición | 4096 × 4096 píxeles | ||||
| Número máximo de puntos de medición | 400 megapíxeles | ||||
| Configuración de platina XY | Rango de funcionamiento | 100 mm × 100 mm (3,9 × 3,9 pulgadas) motorizado | 300 mm × 300 mm (11,8 × 11,8 pulgadas) motorizado | ||
| Altura máxima de muestra | 100 mm (3,9 pulg.) | 210 mm (8,3 pulg.) | 37 mm (1,5 pulg.) | ||
| Fuente de luz láser | Longitud de onda | 405 nm | |||
| Salida máxima | 0,95 mW | ||||
| Clase de láser | Clase 2 (JIS C 6802:2018, IEC 60825-1:2014, EN 60825-1:2014/A11:2021, GB/T 7247.1-2024) | ||||
| Fuente de luz en color | LED blanco | ||||
| Potencia eléctrica | 240 W | 278 W | |||
| Masa | Cuerpo del microscopio | Aprox. 31 kg (68,3 lb) | Aprox. 43 kg (94,8 lb) | Aprox. 50 kg (110,2 lb) | |
| Caja de control | Aprox. 12 kg (26,5 lb) | ||||
Especificaciones del LEXT OLS5500 WLI
Altura máxima de muestra
Colspan=2
*1 Garantizado cuando se utiliza en un entorno con temperatura y humedad constantes (temperatura: 20 ℃ ±1 ℃, humedad: 50 % ± 10 %) especificado en ISO554(1976), JIS Z-8703(1983).
*2 Para aumentos de 10X o superiores, cuando se mide con objetivos LEXT dedicados.
*3 Al medirse con un objetivo LEXT dedicado.
*4 Valor típico cuando se mide con un objetivo MPLAPON100X LEXT, y puede diferir del valor garantizado.
*5 Garantizado por el sistema de certificación de Evident.
*6 Este es un valor representativo medido utilizando patrones de altura de escalón de 83 nm trazables a estándares nacionales bajo condiciones especificadas por Evident, y difiere del valor garantizado. El valor garantizado es 0,15+ L/100 μm.
*7 Equivalente al ruido de medición. *8 Verificado bajo las condiciones especificadas por Evident.
LEXT OLS5500 Software de aplicaciones
*1 Incluye la función de adquisición de datos automática en mosaico y la función de adquisición de datos de múltiples áreas.
*2 Incluye Análisis de perfil, Análisis de diferencia, Análisis de altura de paso, Análisis de superficie, Análisis de área/volumen, Análisis de rugosidad de línea, Análisis de rugosidad de área y Análisis de histograma.
Lentes de objetivo LEXT OLS5500
Recursos
Notas de aplicación
Hallazgos
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