Perfilómetro óptico 3D LEXT OLS5500
Superficies ilimitadas, resultados confiables
Un perfilómetro óptico 3D híbrido que integra la microscopía de escaneo láser (LSM), la interferometría de luz blanca (WLI) y la microscopía de variación de enfoque (FVM) en una sola plataforma, lo que ofrece detalles de superficie precisos, exactitud trazable y una experiencia de usuario intuitiva para optimizar los flujos de trabajo desde el descubrimiento hasta la toma de decisiones.
- Product Status: Este producto reemplaza al LEXT OLS5100 y a los modelos anteriores de la serie OLS.
Perfilómetro óptico 3D LEXT OLS5500
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Imágenes de precisión excepcional
Superficies ilimitadas, resultados confiables
El galardonado LEXT™ OLS5500 le permite identificar características sutiles y variaciones superficiales con una claridad inigualable; utilice LSM, WLI y FVM para detectar defectos, confirmar diseños y tomar decisiones con confianza.
Precisión en todas las superficies
Los objetivos diseñados internamente mantienen la nitidez y la fidelidad de la forma en todo el campo de visión, incluso con muestras muy inclinadas, reflectantes o complejas. A diferencia de las lentes convencionales que distorsionan en la periferia, las lentes LEXT ofrecen mediciones precisas desde el centro hasta el borde.
Objetivos de interferometría de luz blanca
Ideal para superficies lisas e inclinadas, el sistema mide escalones a escala nanométrica con un rendimiento fiable de altura constante a cualquier aumento del objetivo.
Imágenes comparativas de una muestra de lente Fresnel obtenidas con un objetivo WLI convencional de 20X (izquierda, 0,4 NA) y con el objetivo WLI de 20X de Evident (derecha, 0,6 NA).
"Con LEXT™ OLS5500, podemos capturar imágenes ópticas en 3D de alta resolución y extraer detalles de superficie significativos de estructuras delicadas, mientras minimizamos la manipulación de las muestras y el riesgo de daño".
Dr. Elliot Cheng, Centro de Microscopía y Microanálisis, Universidad de Queensland
Claridad en muestras complejas
La imagen 4K, un filtro de detección de superficie superior, DIC láser, óptica de doble orificio y un sensor de alta sensibilidad trabajan en conjunto para ofrecer una claridad, contraste y fidelidad de color excepcionales, incluso en las muestras más exigentes.
Imágenes comparativas de una película de polímero. Izquierda: Imagen láser sin DIC. Derecha: Imagen láser con DIC.
Sin DIC láser
Con DIC láser
Imágenes comparativas de una oblea en modo mosaico. Izquierda: Sin corrección de sombreado inteligente. Derecha: Con corrección de sombreado inteligente.
Sin sombreado inteligente
Con sombreado inteligente
Imágenes continuas de gran superficie
Obtenga imágenes nítidas y fiables de grandes áreas con artefactos de unión mínimos, incluso en superficies de bajo contraste o irregulares. La unión inteligente y el control preciso de la platina garantizan resultados de campo amplio que se mantienen precisos, uniformes y listos para su presentación.
Mediciones confiables
Mediciones precisas y confiables
Menos repeticiones de ensayos, retrabajos y rechazos gracias a mediciones LSM, WLI y FVM verificadas. El OLS5500 es el primer perfilómetro óptico 3D del mundo que garantiza exactitud y repetibilidad* tanto en mediciones LSM como WLI.
* Según la investigación interna de Evident a octubre de 2025. La exactitud y repetibilidad garantizadas son válidas únicamente si el dispositivo se ha calibrado según las especificaciones del fabricante y se encuentra libre de defectos. La calibración debe llevarse a cabo por un técnico o un especialista autorizado de Evident.
Ilustración en la que se muestra la diferencia entre exactitud y repetibilidad.
Exactitud garantizada para imágenes en mosaico
Para mediciones de grandes áreas, el OLS5500 garantiza datos de imágenes en mosaico fiables gracias a la combinación de una platina motorizada con un módulo de medición de longitud integrado y una coincidencia avanzada de patrones. Este enfoque ofrece datos en mosaico trazables y de alta confianza en LSM y WLI bajo condiciones de platina específicas.
Servicio y soporte que lo empodera
Cuando se trata de proteger su inversión y la integridad de su investigación, sus necesidades son lo primero. Cumplimos con nuestros productos entregando una atención técnica y de servicio a tiempo para favorecer la realización de sus objetivos.
Mantenga el cumplimiento normativo y el tiempo de actividad del sistema con nuestra calibración in situ, red de servicio global y soporte remoto, respaldados por más de 100 años de experiencia en microscopía.
Flujo de trabajo más inteligente
Automatización inteligente para una precisión sin esfuerzo
Las herramientas inteligentes de automatización y flujo de trabajo del OLS5500 están diseñadas para facilitar y agilizar el análisis de superficies para usuarios de todos los niveles. Con la asistencia para el ajuste de inclinación, la corrección de la inclinación se vuelve sencilla. Con un solo clic, el software indica la cantidad exacta de ajuste necesaria para nivelar la superficie de la muestra.
La WLI mejora el rendimiento hasta 42 veces.
La WLI del OLS5500 mejora el rendimiento hasta 42 veces en comparación con la LSM convencional. Mida texturas superficiales a escala nanométrica –tradicionalmente visibles solo a los altos aumentos de un microscopio confocal de escaneo láser (LSM)– sin estar limitado por la magnificación del objetivo.
Muestra: Altura de escalón de 60 nm, área de medición: 1280 µm. LSM: Tiempo de adquisición de datos: 630 s; imagen compuesta de 6×6 adquirida con un objetivo LSM 50X (0,95 NA). WLI: Tiempo de adquisición de datos: 15 s; una sola imagen adquirida con un objetivo WLI 10X (0,3 NA).
Muestra con una altura de 83 nm estándar VLSI (MPLFLN10LEXT).
Algoritmo PEAK para la reconstrucción 3D rápida y precisa
El algoritmo PEAK proporciona datos de superficie 3D muy precisos en aumentos que van de bajos a altos, a la vez que acelera considerablemente la adquisición. Para medir la altura y la forma de los escalones, omite de forma inteligente el escaneo del rango Z no esencial para obtener resultados precisos con mayor rapidez.
Detección inteligente de datos
Smart Judge detecta automáticamente únicamente los datos fiables, proporcionando mediciones precisas sin perder detalles de pequeñas irregularidades de altura.
Izquierda: Smart Judge desactivado: Derecha: Smart Judge activado.
Smart Judge desactivado
Smart Judge activado
Aplicaciones
Recursos
Material informativo sobre los productos
Videos
OLS5100 - Administrador inteligente de experimentos: Evaluación de tolerancia
OLS5100 - Gestor de experimentos inteligente: Cambie su flujo de trabajo sobre la marcha
OLS5100 - Automatización del flujo de trabajo con la función macro
OLS5100 Experiment Total Assist
OLS5100 Smart Scan II
OLS5100 Mapeo macrométrico en tiempo real
