Microscopio láser LEXT OLS5100

Desarrollado para análisis de defectos e investigaciones de ingeniería de materiales, el microscopio láser OLS5100 combina una exactitud de medición y un rendimiento óptico excepcionales, enriquecidos por herramientas inteligentes que facilitan su uso. Mida la forma y la rugosidad superficial de un material a una escala submicrométrica, contando con la rapidez y eficiencia necesarias para simplificar su proceso de trabajo y obtener datos en los cuales confiar.

LEXT OLS5100 Microscopios industriales

Microscopio láser para analizar materiales

Proceso inteligente para experimentos más rápidos

Desarrollado para análisis de defectos e investigaciones de ingeniería de materiales, el microscopio láser OLS5100 combina una exactitud de medición y un rendimiento óptico excepcionales, enriquecidos por herramientas inteligentes que facilitan su uso. Mida la forma y la rugosidad superficial de un material a una escala submicrométrica, contando con la rapidez y eficiencia necesarias para simplificar su proceso de trabajo y obtener datos en los cuales confiar.

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https://adobeassets.evidentscientific.com/content/dam/video/videolibrary/videos/OLS5100-promotion-video.mp4

Series of lenses

Exactitud de medición garantizada

Los objetivos del microscopio LEXT proporcionan datos de medición de alta fiabilidad. Y, en combinación con el asistente «Smart Lens Advisor», usted podrá adquirir datos precisos en los cuales confiar.

  • Exactitud de medición garantizada.
  • Objetivos de 10x a 100x que reduce las aberraciones en 405 nm para capturar la forma correcta de su muestra a través de todo el campo visual.
  • Use el asistente «Smart Lens Advisor» para seleccionar el objetivo apropiado a fin de medir la rugosidad.

Conventional lenses have difficulty making accurate measurements in peripheral areas

Las lentes convencionales plantean dificultades para hacer mediciones exactas en las áreas periféricas.

Dedicated LEXT objectives accurately measure peripheral areas

Los objetivos LEXT dedicados miden las áreas periféricas con exactitud.

Facilidad en la microscopía de escaneo láser

Usar el microscopio LEXT™ OLS5100 es fácil tanto para los principiantes como para los expertos debido a su software que ha sido desarrollado concienzudamente para todo tipo de usuario.

  • Adquiera datos fiables fácilmente: tan sólo coloque su muestra en la platina y pulse el botón de inicio.
  • Disfrute de un rendimiento de medición seguro y adaptado a su entorno operativo*.

La información proporcionada en esta página web, incluida la especificación acerca de la fiabilidad garantizada, se basa en las condiciones establecidas por Evident.

https://adobeassets.evidentscientific.com/content/dam/video/image/ie/ols5100/overview-easy-laser-scanning-microscopy.mp4
https://adobeassets.evidentscientific.com/content/dam/video/image/ie/ols5100/overview-easier-material-engineering.mp4

Experimentos más fáciles en la ingeniería de materiales y análisis de defectos

La función «Smart Experiment Manager» simplifica los procesos de trabajo experimentales destinados al análisis de defectos y la observación 3D submicrónica mediante una automatización de tareas que antes requerían mucho tiempo.

  • Automatice la organización de su análisis con las funciones macro.
  • Los datos de medición son fáciles de distribuir.
  • Llena automáticamente los datos en la matriz del plan experimental para mitigar posibles errores de inserción.
  • Los resultados de medición se proyectan en una lista, lo que permite acceder al veredicto de aceptación/rechazo de un vistazo.

Totalmente personalizable para sus especificaciones

Implemente todas las funciones avanzadas del microscopio de escaneo láser OLS5100 para analizar materiales de muestras grandes y pesadas.

Más información

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Servicio y soporte en el cual confiar

Desde la calibración hasta la capacitación, ofrecemos una amplia gama de servicios para ayudarle a mantener el óptimo funcionamiento de su dispositivo. Los contratos de servicio de Evident son...

Más información

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Ventajas

Ventajas de los microscopios láser

1. Medición y observación 3D a escala submicrométrica

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Observe fases en una escala nanométrica y mida las diferencias de altura a un nivel submicrométrico.

2. Medidas de rugosidad superficial conforme con la normativa ISO25178

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Mida la rugosidad de superficies desde lineales hasta planas.

3. Análisis sin contacto, no destructivos y rápidos

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No se requiere la preparación de muestras; simplemente ubique su muestra en la platina y prosiga con su medición.

Fiabilidad de datos en una pulsación

Smart Scan II

Tanto los usuarios experimentados como los principiantes pueden adquirir datos de forma rápida y fácil con la función Smart Scan II. Tan sólo coloque la muestra en la platina, presione el botón de inicio y el microscopio hará el resto.

  • Algoritmo de pico (PEAK): El microscopio OLS5100 incorpora un algoritmo de pico (ingl. PEAK) para la construcción de datos 3D. Este algoritmo proporciona datos muy precisos desde altas y bajas magnificaciones, además de reducir el tiempo de adquisición de datos.
  • Omitir escaneos innecesarios: Al medir la forma de las fases en una muestra que contienen planos casi verticales, como un componente electrónico o MEMS, el tiempo de adquisición de datos puede reducirse al limitar el índice de escaneos innecesarios en la dirección Z. Es posible medir una fase de 100 μm en tan solo 10 segundos sin aminorar el nivel de precisión (al usar el objetivo MPLAPON50XLEXT).
  • Datos de forma precisos: El sistema de veredicto automático del microscopio OLS5100 ajusta los requisitos de cada muestra al mismo tiempo que el escaneo HDR adquiere dos grupos de información sobre la forma al variar la sensibilidad de detección con el fin de construir datos de forma precisos.
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Disfrute de un rendimiento de medición seguro y adaptado a su entorno operativo.

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Precisión y repetibilidad garantizada
El rendimiento de una herramienta de medición se expresa normalmente por el índice de exactitud, el cual indica cuán cerca está una medida del valor real. Asimismo, se expresa por la repetibilidad que indica el grado de variación en los valores de medición repetidos. Nosotros garantizamos la exactitud y repetibilidad del microscopio en función de un sistema de trazabilidad para que pueda confiar en sus resultados de medición.
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Metrología superficial más allá del campo visual
El microscopio OLS5100 incorpora un módulo de medición de longitud en la platina motorizada y, además, garantizamos la exactitud de los datos de imagen en mosaico. A diferencia de los antiguos microscopios láser que distribuían los datos en mosaico en función de la correspondencia de patrones, el microscopio OLS5100 añade la información de posición —proveniente del módulo de medición de longitud— a la correspondencia de patrones para brindar datos unidos de forma altamente fiable con una exactitud garantizada.

*Sólo para OLS5100-SAF/EAF

Cómoda observación de alta resolución y magnificación

Enfoque automático continuo

El enfoque automático continuo del microscopio mantiene las imágenes enfocadas mientras la platina se desplaza o hay alternación de objetivos; esto reduce la necesidad de ajustes manuales. El seguimiento permanente del enfoque permite llevar a cabo observaciones de forma rápida y fácil.

continuous auto focus
continuous auto focus

DIC dual para observación en tiempo real a escala nanométrica

Detecte daños diminutos en su muestra en directo mediante una observación a escala nanométrica. La observación con el contraste de interferencia diferencial (DIC) permite que visualice los contornos de la superficie a escala nanométrica, lo que normalmente sobrepasa la potencia de resolución de un microscopio láser. Por medio del modo láser de DIC, el microscopio OLS5100 puede obtener imágenes similares a las de un microscopio electrónico, incluso usando un objetivo de baja potencia de 5x o 10x.

Back surface of wafer

Superficie posterior de oblea (plaqueta) electrónica

Hard disk landing zone

Zona de aterrizaje del disco duro

Análisis integrales

Hay varias funciones analíticas disponibles. La siguiente es sólo un ejemplo; por favor, descargue el folleto o póngase en contacto con su presentante de Evident para obtener más detalles.

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Medición de la rugosidad de área conforme con la normativa ISO25178

El microscopio OLS5100 escanea la superficie de la muestra con un haz láser de 0,4 μm, lo que permite medir fácilmente la rugosidad superficial de las muestras que no pueden ser medidas con medidores de contacto para rugosidad superficial. La capacidad para medir de forma simultánea la imagen de color, la imagen láser y los datos de forma 3D a partir de la superficie, cuya medición con medidores de contacto para rugosidad superficial es imposible, expande la finalidad analítica.

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Medición de la fase entre el punto más alto y el más bajo en un perfil superficial

Herramienta de medición de perfil y de asistencia de medición

La función de medición de perfil muestra el perfil de la superficie al trazar una línea de medición de forma arbitraria en la posición a medir de una imagen. También mide la fase entre dos puntos arbitrarios, el ancho, el área transversal y el radio. A diferencia de las herramientas de medición por contacto, la configuración de las posiciones medidas es fácil. Es posible verificar las líneas y los puntos de medición en la imagen; por ende, hasta un espacio muy pequeño puede medirse con precisión. Gracias a la herramienta de asistencia para la medición, el punto que requiere medición puede definirse adecuadamente mediante el punto más alto, el más bajo, el medio o media geométrica. Cuando se especifica un espacio en los datos adquiridos, los puntos presentados son extraídos automáticamente en conformidad con las condiciones especificadas.

Software

Gestión sencilla para experimentos de ingeniería de materiales y análisis de defectos

Manejar las condiciones experimentales cuando se analizan nuevos materiales es complejo; no obstante, la función «Smart Experiment Manager» del microscopio láser OLS5100 simplifica dicha tarea al automatizar los pasos clave, como en la creación del plan experimental.
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Flujos de trabajo de rutina automatizados

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Función macro

Es posible automatizar toda la distribución de su inspección con la herramienta de producción macro. Cree y modifique fácilmente los procedimientos y, a continuación, ejecute el archivo macro grabado para obtener resultados fiables. Al combinarla con el Administrador inteligente de experimentos (Smart Experiment Manager), le será posible tomar decisiones de aceptación/rechazo con un simple clic.

Organización de datos agilizada

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Rápida clasificación de datos
Las condiciones experimentales pueden ser determinadas mientras se adquieren datos, incluso si no las ha determinado con anticipación. Las condiciones pueden ser cambiadas durante el experimento; los datos de imagen y de análisis pueden ser agregados con facilidad al arrastrarlos y pegarlos. Esta capacidad soporta la flexibilidad experimental que requiere el flujo de trabajo de cada usuario.
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Inserción automática de datos
El software agrega de forma automática los valores a la matriz de su plan experimental para minimizar posibles errores de inserción. Asimismo, con tan sólo dos clics, exporte sus datos a una hoja de cálculo Excel.

Sencilla organización de datos sobre las condiciones experimentales

Nomenclatura de archivos generada automáticamente

Al hacer clic en cada celda del plan experimental, el software generará automáticamente un nombre de archivo que incorpora las condiciones de evaluación para facilitar el mantenimiento de registros. Cada archivo contiene las imágenes y los datos asociados.

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Rápidos resultados de medición

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Veredicto de tolerancia
La función de veredicto de tolerancia le permite confirmar de un vistazo la aceptación/rechazo del valor en función de las tolerancias determinadas. La tolerancia puede ser verificada al cambiar el valor de umbral según el rendimiento de la muestra.
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Mapa térmico
El mapa cromático del software permite comprender mejor los datos que se recopilan durante el experimento. Los valores porcentuales del mapa cromático y térmico son fáciles de cambiar. Las composiciones intuitivas de las gráficos y mapas térmicos habilitan una rápida visualización de los datos para que pueda identificar problemas en una etapa temprana del proceso.

Análisis de múltiples datos

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Análisis comparativo de datos
Es posible analizar codo a codo múltiples grupos de datos adquiridos con sus respectivas escalas de proyección y ángulos de visualización integrados. La corrección de la imagen y el análisis pueden ejecutarse de forma simultánea. Esto es útil para analizar la forma de múltiples muestras bajo diferentes condiciones de procesamiento, o para analizar defectos. Es posible exportar un variado abanico de imágenes, perfiles y resultados numéricos a Excel, lo que facilita una fácil distribución y evaluación de sus datos.

Especificaciones

Unidad principal

Modelo
OLS5100-SAF
OLS5100-SMF
OLS5100-LAF
OLS5100-EAF
Magnificación total
De 54x a 17.280x
Campo visual
De 16 µm a 5,120 µm
Principio de medida
Sistema óptico
Microscopio confocal de escaneo láser de tipo reflexión
Microscopio DIC confocal de escaneo láser de tipo reflexión
Color
Color - Contraste de interferencia diferencial (DIC)
Elemento receptor de luz
Láser: Fotomultiplicador (2 canales)
Color: Cámara en colores CMOS
Medición de altura
Resolución de pantalla
0,5 nm
Rango dinámico
16 bits
Repetibilidad σn-1*1 *2 *5
5X: 0,45 μm; 10X: 0,1 μm; 20X: 0,03 μm; 50X : 0,012 μm; 100X : 0,012 μm
Precisión *1 *3 *5
0,15+L/100μm (L: Longitud de medida [μm])
Precisión para imágenes de tipo mosaico *1 *3 *5
10X: 5,0+L/100 μm; 20X o superior: 1,0+L/100 μm. L: Longitud de unión [μm]
Ruido de medición (ruido Sq) *1 *4 *5
1 nm (tipo)
Medición de ancho
Resolución de pantalla
1 nm
Repetibilidad de 3σn-1 *1 *2 *5
5X: 0,4 μm; 10X: 0,2 μm; 20X: 0,05 μm; 50X: 0,04 μm; 100X: 0,02 μm
Precisión *1 *3 *5
Valor de medida de +/- 1,5 %
Precisión para imágenes de tipo mosaico *1 *3 *5
10X: 24+0.5L μm, 20X: 15+0.5L μm, 50X: 9+0.5L μm, 100X: 7+0.5L μm (L: Longitud de unión [mm])
Cantidad máxima de puntos de datos en una sola medición
4096 × 4096 píxeles
Número máximo de puntos de medición
36 megapíxeles
Configuración de platina XY
Módulo de medición de longitud
A. N.
A. N.
Rango de funcionamiento
100 × 100 mm (3,9 × 3,9 pulg.) Motorizado
100 × 100 mm (3,9 × 3,9 pulg.) Manual
300 × 300 mm (11,8 × 11,8 pulg.) Motorizado
100 × 100 mm (3,9 × 3,9 pulg.) Motorizado
Altura máxima de muestra
100 mm (3,9 pulg.)
40 mm (1,6 pulg.)
37 mm (1,5 pulg.)
210 mm (8,3 pulg.)
Fuente de luz láser
Longitud de onda
405 nm
Salida máxima
0,95 mW
Clase de láser
Clase 2 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)*6
Fuente de luz en color
LED blanco
Potencia eléctrica
240 W
240 W
278 W
240 W
Masa
Cuerpo del microscopio
Cerca de 31 kg (68,3 lb)
Cerca de 32 kg (70,5 lb)
Cerca de 50 kg (110,2 lb)
Cerca de 43 kg (94,8 lb)
Caja de control
Cerca de 12 kg (26,5 lb)

*1 Función garantizada al ser usada bajo condiciones de temperatura ambiente y humedad (temperatura: 20˚C ± 1˚C, humedad: 50 % ± 10 %) conforme con las normas ISO554 (1976) y JIS Z-8703(1983).
*2 Para 20x o más cuando se mide con los objetivos de la serie MPLAPON LEXT.
*3 Al ser medido con los objetivos destinados al LEXT.
*4 Valor típico cuando se mide con el objetivo MPLAPON100XLEXT. Puede diferir del valor garantizado.
*5 Garantizado por el Sistema de Certificación de Evident.
*6 El microscopio OLS5100 es un producto láser de clase 2. No mire el haz.

** La licencia OS de Windows 10 ha sido certificada para el controlador del microscopio proporcionado por Evident. Por lo tanto, las condiciones de la licencia de Microsoft se aplican y usted las acepta. Consulte a continuación las condiciones de la licencia de Microsoft.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm

Objetivos

Series
Modelo
Apertura numérica (A. N.)
Distancia de trabajo (D. T.) [mm]
Lente de objetivo UIS2
MPLFLN2.5X
0.08
10,7
MPLFLN5X
0.15
20
Lente de objetivo LEXT específica (10X)
MPLFLN10XLEXT
0.3
10,4
Lente de objetivo LEXT específica (tipo de alto rendimiento)
MPLAPON20XLEXT
0.6
1
MPLAPON50XLEXT
0.95
0,35
MPLAPON100XLEXT
0.95
0,35
Lente de objetivo LEXT específica (tipo de larga distancia de trabajo)
LMPLFLN20XLEXT
0.45
6,5
LMPLFLN50XLEXT
0.6
5.2
LMPLFLN100XLEXT
0.8
3,4
Lente de distancia de trabajo súper larga
SLMPLN20X
0,25
25
SLMPLN50X
0,35
18
SLMPLN100X
0.6
7,6
Larga distancia de trabajo para lente LCD
LCPLFLN20XLCD
0.45
8.3-7.4
LCPLFLN50XLCD
0.7
3.0-2.2
LCPLFLN100XLCD
0.85
1.2-0.9

Software de aplicaciones

Software de serie
OLS51-BSW
Software de serie
Aplicación de adquisición de datos
Aplicación de análisis (análisis simple)
Aplicación para el paquete de platina motorizada*1
OLS50-S-MSP
Aplicación de análisis avanzados*2
OLS50-S-AA
Aplicación de medición de espesor de película
OLS50-S-FT
Aplicación de medición automática de perfiles
OLS50-S-ED
Aplicación de análisis de partículas
OLS50-S-PA
Aplicación de asistencia experimental completa
OLS51-S-ETA
Aplicación de análisis de ángulo superficial de cilindro/esfera
OLS50-S-SA

*1 Incluye la función de adquisición de datos automática en mosaico y la función de adquisición de datos de múltiples áreas.
*2 Incluye el análisis de perfil, análisis de diferencia, análisis de altura de paso, análisis de superficie, análisis de área/volumen, análisis de rugosidad de línea, análisis de rugosidad de área y análisis de histograma.

Microscopios láser de Evident

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Ejemplo de configuración de OLS5100-SAF

OLS5100-SAF

  • Platina motorizada de 100 mm
  • Altura máxima de la muestra: 100 mm (3,9 pulg.)
OLS5000-SAF
OLS5000-SAF - Dimention

OLS5100-EAF

  • Platina motorizada de 100 mm
  • Altura máxima de la muestra: 210 mm (8,3 pulg.)
OLS5000-EAF
OLS5000-EAF - Dimention

OLS5100-SMF

  • Platina manual de 100 mm
  • Altura máxima de la muestra: 40 mm (1,6 pulg.)
OLS5000-SMF
OLS5000-SMF - Dimention

OLS5100-LAF

  • Platina motorizada de 300 mm
  • Altura máxima de la muestra: 37 mm (1,5 pulg.)
OLS5000-LAF
OLS5000-LAF - Dimention

Unidad de control

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Recursos

Notas de aplicación

Conocimiento

Videos

Preguntas frecuentes

Recursos del Producto