Objectifs interférométriques à lumière blanche

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Établir la référence en matière d’interférométrie à lumière blanche

Nos objectifs interférométriques à lumière blanche (WLI) Mirau assurent une collecte de données en haute résolution fiable pour mesurer avec précision les surfaces 3D. Conçus pour répondre aux besoins des fabricants d’équipement d’origine (FEO) et des chercheurs, ces composants optiques sont compatibles avec la métrologie sur ligne et hors ligne pour un large éventail d’applications de profilométrie optique.

White Light Interferometric Objective Lenses

Principaux avantages de nos objectifs pour interférométrie en lumière blanche

  • Large champ de vision (FOV) pour capturer davantage de données
  • Ouverture numérique (ON) élevée pour une résolution détaillée
  • Testé en usine pour garantir des performances constantes

Que vous travailliez dans l’ingénierie de précision ou dans l’industrie manufacturière, ces avantages vous aident à maximiser l’efficacité et à accélérer les résultats.

Comparison images of a Fresnel lens sample taken with a conventional WLI 20X objective (NA 0.4) and Evident’s 20X WLI objective (NA 0.6).
Comparaison d’images d’un échantillon de lentille de Fresnel, l’une prise avec un objectif WLI 20X classique (ON 0,4) et l’autre avec l’objectif WLI 20X d’Evident (ON 0,6).
Comparison images of a Fresnel lens sample taken with a conventional WLI 50X objective (NA 0.55) and Evident’s 50X WLI objective (NA 0.8).
Comparaison d’images d’un échantillon de lentille de Fresnel, l’une prise avec un objectif WLI 50X classique (ON 0,55) et l’autre avec l’objectif WLI 50X d’Evident (ON 0,8).

Mesurez avec précision les surfaces d’échantillons complexes

Mesurer avec précision les pentes abruptes sur les surfaces lisses est un défi pour les composants optiques classiques, interférométriques en lumière blanche et confocaux.

Grâce à une ouverture numérique plus grande, allant jusqu’à 0,8, nos composants optiques de type Mirau captent plus de lumière et révèlent des détails plus fins. Cette ouverture numérique plus grande permet aux profilomètres optiques d’effectuer des mesures géométriques 3D précises des variations de surface et des éléments les plus infimes.

Augmentez le débit en métrologie 3D de haute précision

Élargissez votre zone de mesure de haute précision en haute résolution.

Nos modèles à grande ON de 20X et 50X procurent respectivement jusqu’à six fois et quatre fois le champ de vision des objectifs WLI de 50X et 100X classiques, avec la même capacité de mesure de la pente des surfaces et la même résolution latérale. Cette vision plus large permet de réduire le besoin de recourir à l’assemblage d’images et accélère l’interférométrie par balayage vertical (VSI) et les mesures de hauteur de marche.

Left: 2×2 stitched image acquired with a conventional 50X objective (NA 0.55). Right: single image acquired with Evident’s WLI 20X objective (NA 0.6).

À gauche : image assemblée en 2×2, acquise avec un objectif conventionnel 50X (NA 0,55). À droite : image unique acquise avec l’objectif WLI 20X d’Evident (NA 0,6).

Evident’s WLI objective lenses (left) include fixing screws (middle) and an adjustment ring mechanism (right).
Les objectifs WLI d’Evident (à gauche) comprennent des vis de fixation (au centre) et un mécanisme de bague de réglage (à droite).

Anticipez les conditions changeantes en interférométrie en lumière blanche

La précision des mesures peut être affectée par des variations de mise au point dues à la température. Notre bague de réglage de compensation thermique intégrée maintient le contraste des franges d’interférence même en cas de fluctuations de température, pour des mesures de surface plus précises, plus fiables et plus sensibles.

Il suffit de régler la bague sur la position assurant le contraste des franges le plus élevé possible pour obtenir facilement des résultats de mesure homogènes.

Une précision constante, sans effort

Travaillez sans interruption et sans frustration, même en cas de vibrations.

Quatre vis de blocage* verrouillent la bague de réglage de l’objectif pour la maintenir en place, ce qui vous permet de vous concentrer sur la réalisation de mesures précises sans perdre de temps en ajustements répétés.

Chaque vis est placée à un intervalle de 90 degrés, et n’importe laquelle peut être utilisée pour bloquer la bague. Serrez rapidement la vis orientée vers l’extérieur à l’aide d’un tournevis. Vous n’avez pas besoin de retirer les objectifs adjacents.

* Les vis de blocage sont actuellement disponibles sur les objectifs 10X, 20X et 50X.

Des performances optiques homogènes sur lesquelles vous pouvez compter

Chaque objectif WLI est semi-apochromatiques et comprennent un miroir de référence de haute qualité pour un contraste des franges élevé et une aberration de front d’onde minimale. Chaque unité est testée en usine, avec deux fiches de données documentant la qualité du miroir de référence et les performances du front d’onde.

Left: No fringes before adjusting for thermal changes. Middle: fringe contrast generates as the ring is adjusted. Right: highest fringe contrast after ring adjustment.
À gauche : pas de franges avant le réglage des variations thermiques. Au milieu : le contraste des franges apparaît au fur et à mesure du réglage de la bague À droite : contraste des franges maximal après réglage de la bague

Caractéristiques techniques

Désignation des objectifs WLI10XMRTC WLI20XMRTC WLI50XMRTC WLI100XMRTC
Correction Corrigé à l’infini Corrigé à l’infini Corrigé à l’infini Corrigé à l’infini

de l’objectif

(avec une lentille de tube d’une longueur focale de 180 mm)

10X 20X 50X 100X
Ouverture numérique (ON) 0,3 0,6 0,8 0,8
Distance de travail (DT) [mm] 8,2 1,0 1,0 0,7
Longueur focale [mm] 18 9,0 3,6 1,8
Indice de champ de l’objectif (OFN) 22 22 22 22
Milieu d’immersion Air/sec Air/sec Air/sec Air/sec
À ressort S.O. S.O. S.O. S.O.
Bague de réglage de compensation thermique pour motif interférométrique Oui Oui Oui Oui
Vis de blocage de la bague de réglage Oui Oui Oui Non
Niveau de correction des aberrations chromatiques Semi-apochromatique (FL) Semi-apochromatique (FL) Semi-apochromatique (FL) Semi-apochromatique (FL)
Distance parfocale [mm] 45 45 45 45
Position du plan focal arrière (BFP) [mm] −3,2 −8,8 −4,8 −3,0
Dimensions extérieures (l × H) Φ 29,7 × 36,8 mm Φ 29,8 × 44,0 mm Φ 31,5 × 44,0 mm Φ 29,0 × 44,3 mm
Taille du filetage W 20,32 ×0,706 mm (RMS) W 20,32 ×0,706 mm (RMS) W 20,32 ×0,706 mm (RMS) W 20,32 ×0,706 mm (RMS)
Température de mesure garantie 23 °C ± 1 °C 23 °C ± 1 °C 23 °C ± 1 °C 23 °C ± 1 °C

Humidité/température d’entreposage

(environnement sans condensation)

0 à 40 °C /20 à 80 % 0 à 40 °C / 20 à 80 % 0 à 40 °C / 20 à 80 % 0 à 40 °C / 20 à 80 %
Température d’utilisation 15 à 30 °C 15 à 30 °C 15 à 30 °C 15 à 30 °C
Utilisation prévue Utilisation en intérieur Utilisation en intérieur Utilisation en intérieur Utilisation en intérieur

Ressources