Microscope à balayage laser LEXT OLS5100
Conçu pour l’analyse des défaillances et la recherche en ingénierie des matériaux, le microscope à balayage laser OLS5100 combine des mesures d’une très grande exactitude, des performances optiques exceptionnelles et des outils intuitifs qui le rendent facile à utiliser. La possibilité de mesurer précisément, rapidement et efficacement la forme et la rugosité des surfaces à l’échelle submicronique simplifie votre processus de travail et vous permet d’obtenir des données d’une grande fiabilité.
LEXT OLS5100 Microscopes industriels
Microscope à balayage laser pour l’analyse des matériaux
Procédures optimisées, expériences accélérées
Conçu pour l’analyse des défaillances et la recherche en ingénierie des matériaux, le microscope à balayage laser OLS5100 combine des mesures d’une très grande exactitude, des performances optiques exceptionnelles et des outils intuitifs qui le rendent facile à utiliser. La possibilité de mesurer précisément, rapidement et efficacement la forme et la rugosité des surfaces à l’échelle submicronique simplifie votre processus de travail et vous permet d’obtenir des données d’une grande fiabilité.
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Précision de mesure garantieLes objectifs LEXT produisent des données de mesure d’une grande justesse. L’association de ces objectifs à la fonction « Smart Lens Advisor » permet d’acquérir des données fiables et d’une grande précision.
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Les objectifs classiques ne permettent pas d’effectuer des mesures précises dans les zones périphériques. |
Les objectifs dédiés aux microscopes LEXT permettent de mesurer avec précision les zones périphériques. |
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La microscopie à balayage laser en toute facilité
Grâce au logiciel intégré intuitif, le microscope est facile à utiliser par les utilisateurs de tout niveau.
- Production facile de données précises : il suffit de placer l’échantillon sur la platine et d’appuyer sur le bouton de démarrage
- Garantie de performance de mesure adaptée à votre environnement opérationnel*
Les renseignements fournis sur cette page Web, y compris ceux concernant la précision garantie, sont fondés sur les conditions définies par Evident.
Des expériences d’ingénierie des matériaux et d’analyse des défaillances plus faciles
L’outil « Smart Experiment Manager » simplifie vos processus d’observation 3D à l’échelle submicronique et d’analyse des défaillances en automatisant des tâches auparavant chronophages.
- Automatisation possible de vos procédures d’analyse au moyen de fonctions macro
- Organisation facile des données de mesure
- Intégration automatique des données à la matrice de votre plan d’expérimentation pour réduire les risques d’erreurs de saisie manuelle
- Affichage des résultats de mesure sous forme de liste, vous permettant de déterminer en un coup d’œil la réussite ou l’échec des mesures
Personnalisation complète en fonction de vos spécifications
Bénéficiez de toutes les fonctionnalités avancées du microscope à balayage laser OLS5100 pour l’analyse des matériaux dans le cas d’échantillons volumineux et lourds.
Des services de maintenance et une assistance fiables
De l’étalonnage à la formation, nous proposons une vaste gamme de services pour vous aider à toujours obtenir des performances optimales de vos appareils. Les contrats de maintenance d’Evident sont :
- Simples – Ils vous permettent de vous concentrer sur vos activités principales.
- Efficaces – Nous pouvons planifier une maintenance préventive, y compris des étalonnages, en votre nom.
- Économiques – Ils vous permettent de réaliser des économies tout au long de la durée du contrat.
Avantages
Avantages des microscopes à balayage laser
1. Observation/mesure en 3D à l’échelle submicronique
Observation de pas à l’échelle nanométrique et mesure de différences de hauteur à l’échelle submicronique
2. Mesure de rugosité de surface conforme à la norme ISO 25178
Mesure de rugosité de surface, de linéaire à planaire
3. Sans contact, non destructif et rapide
Aucune préparation d’échantillon requise : il suffit de placer l’échantillon sur la platine pour commencer les mesures
Des données fiables sur simple pression d’un bouton
Fonction « Smart Scan II »
Les utilisateurs de tout niveau, même débutants, peuvent acquérir des données rapidement et facilement grâce à la fonction « Smart Scan II ». Placez l’échantillon sur la platine, appuyez sur le bouton de démarrage et le microscope fait tout le travail.
- Algorithme PEAK – Le microscope OLS5100 intègre un algorithme PEAK pour l’affichage des données en 3D. Cet algorithme fournit des données très précises, quel que soit le grossissement, et réduit le temps d’acquisition de données.
- Sautez les balayages inutiles – Lors de la mesure de la forme des pas sur un échantillon contenant des plans quasi verticaux, comme un composant électronique ou un MEMS, il est possible de réduire le temps d’acquisition des données en sautant les plages de balayage inutiles dans la direction Z. Un pas de 100 μm peut être mesuré en une dizaine de secondes sans impact sur l’exactitude (avec un objectif MPLAPON50XLEXT).
- Données de forme précises – Le système de jugement automatique du microscope OLS5100 s’ajuste aux contraintes de chaque échantillon, tandis que le balayage HDR acquiert deux ensembles d’informations de forme en faisant varier la sensibilité de détection pour créer des données de forme précises.
Garantie de performance de mesure adaptée à votre environnement opérationnel
La performance d’un outil de mesure est généralement exprimée par son exactitude, qui indique la proximité d’une valeur mesurée avec sa valeur réelle, et par sa répétabilité, qui correspond au degré de variation des mesures répétées. Nous garantissons l’exactitude et la répétabilité du microscope sur la base du système de traçabilité. Vous pouvez donc faire confiance à vos résultats de mesure.
Une métrologie de surface qui dépasse le champ d’observation
Le microscope OLS5100 comprend un module de mesure de la longueur dans la platine motorisée. De plus, nous garantissons l’exactitude des données des images assemblées. Les anciens microscopes laser assemblaient les données en fonction de la correspondance des motifs. Le microscope OLS5100 ajoute les informations de position, obtenues grâce au module de mesure de la longueur, au motif correspondant pour produire des données assemblées d’une fiabilité et d’une exactitude remarquables.
* Uniquement pour OLS5100-SAF/EAF
Mode d’observation à haute résolution et à fort grossissement facile à utiliser
Mise au point automatique en continu
La mise au point automatique continue du microscope maintient la mise au point de vos images lors du déplacement de la platine ou du changement d’objectif, réduisant ainsi au minimum le besoin de réglages manuels. Le suivi permanent de la mise au point vous permet d’effectuer des observations rapidement et facilement.
Double fonction CID pour effectuer une observation en temps réel à l’échelle nanométrique
Détectez les dommages infimes de votre échantillon grâce à une observation en temps réel à l’échelle nanométrique. L’observation par contraste interférentiel différentiel (CID) vous permet de visualiser des contours de surfaces à l’échelle nanométrique généralement difficiles à observer avec le pouvoir de résolution d’un microscope laser. Grâce au mode d’observation CID avec faisceau laser, le microscope OLS5100 peut afficher des images en cours d’acquisition comparables à celles d’un microscope électronique, même en utilisant un objectif de faible grossissement 5x ou 10x.
Surface arrière d’un wafer
Zone d’atterrissage du disque dur
Analyse complète
Plusieurs fonctions d’analyse sont disponibles. Ce qui suit n’est qu’un exemple ; veuillez télécharger la brochure ou contacter votre représentant Evident pour obtenir plus de détails.
Mesure de rugosité de surface conforme à la norme ISO25178
Le microscope OLS5100 balaye la surface de l’échantillon avec un faisceau laser de 0,4 μm de diamètre et mesure la rugosité de surface d’échantillons qui ne peut pas être mesurée avec des rugosimètres par contact. La capacité d’acquérir simultanément une image en couleur, une image laser et des données de forme en 3D d’une surface non mesurable avec un rugosimètre par contact étend la portée de l’analyse.
Mesure du pas entre les points les plus hauts et
les points les plus bas sur un profil de surface
Mesure de profil/outil d’aide à la mesure
La fonction « Profile measurement » (mesure du profil) affiche le profil de la surface en traçant arbitrairement une ligne de mesures sur la zone à mesurer sur une image. Elle mesure également le pas entre deux points choisis arbitrairement, ainsi que la largeur, la section transversale et le rayon. Contrairement aux outils de mesure par contact, le réglage des positions de mesure est facile à exécuter. Les lignes et les points de mesures peuvent être vérifiés sur l’image. Il est donc possible de mesurer une très petite surface avec précision. Grâce à l’outil « Measurement assist tool » (aide à la mesure), le point à mesurer peut être défini à l’aide des points supérieurs, inférieurs, du milieu et/ou moyens. Lorsqu’une zone est définie dans les données acquises, les points caractéristiques sont automatiquement extraits selon les conditions indiquées.
Logiciel
Fonction macro
Vous pouvez automatiser l’ensemble de la procédure d’inspection à l’aide de l’outil de production de macros. Créez et modifiez facilement des procédures, puis exécutez le fichier macro enregistré pour obtenir des résultats fiables. En association avec l’outil « Smart Experiment Manager », vous pouvez déterminer en un coup d’œil la réussite ou l’échec des mesures.
Même si les conditions expérimentales n’ont pas été déterminées à l’avance, elles peuvent être déterminées lors de l’acquisition des données. Les conditions peuvent être modifiées pendant l’expérience, et vous pouvez facilement ajouter des images et des données d’analyse en effectuant un simple glisser-déposer. Vous pouvez adapter vos expériences en fonction de vos procédures.
Le logiciel intègre automatiquement les valeurs à la matrice de votre plan d’expérimentation, réduisant ainsi les risques d’erreurs de saisie manuelle. Vous pouvez exporter vos données vers une feuille de calcul Excel en seulement quelques clics.
Une organisation facile des données de conditions d’expérimentation
Génération automatique de noms de fichiers
Cliquez simplement sur chaque cellule du plan d’expérimentation pour que le logiciel génère automatiquement un nom de fichier contenant les conditions d’évaluation, ce qui facilite l’archivage. Chaque fichier contient les images et les données connexes.
Résultats de mesure rapides
La fonction de jugement de tolérance vous permet de vérifier la réussite/l’échec des mesures en un coup d’œil en fonction des tolérances définies. Il est possible de vérifier la tolérance en modifiant la valeur seuil en fonction du rendement de l’échantillon.
Le tableau de résultats avec code de couleurs du logiciel (carte de densité) vous aide à mieux comprendre les données collectées au cours de votre expérience. Les couleurs et les pourcentages de la carte de densité sont faciles à changer. La structure intuitive des tableaux et cartes de densité permettent une visualisation rapide des données, pour vous permettre de repérer les problèmes à un stade précoce.
Analyse multidonnées
Vous pouvez analyser plusieurs groupes de données acquis en parallèle avec leurs échelles d’affichage et leurs angles d’affichage 3D intégrés. La correction et l’analyse des images peuvent être effectuées simultanément. Cette fonction est très utile pour analyser la forme de plusieurs échantillons aux conditions de traitement différentes ou pour analyser des défauts. Diverses images et divers profils et résultats numériques peuvent être exportés vers Excel, ce qui facilite l’organisation et la caractérisation rapides de vos données.
Caractéristiques techniques
Unité principale
Microscope confocal CID à balayage laser de type réflexion
Couleur
Couleur-CID
Couleurs : caméra couleur CMOS
50X : 0,012 μm ; 100X : 0,012 μm
50X : 9+0,5 L μm ; 100X : 7+0,5 L μm (L : longueur d’assemblage [mm])
(3,9 × 3,9 po)
*1 Garantie applicable lorsque l’appareil est utilisé dans un environnement où la température et le niveau d’humidité sont constants (température : 20 °C ±1 °C, humidité : 50 % ±10 %), tel que précisé dans les normes ISO 554(1976) et JIS Z-8703(1983).
*2 Pour 20x ou plus, si la mesure est prise avec des objectifs de la série MPLAPON LEXT.
*3 Lorsque mesuré avec un objectif spécialement conçu pour le LEXT.
*4 Valeur habituelle lorsque mesurée avec l’objectif MPLAPON100XLEXT. Peut différer de la valeur garantie.
*5 Garantie par le système de certificat Evident.
*6 Le microscope OLS5100 est un produit laser de classe 2. Ne pas fixer le faisceau.
** La licence SE de Windows 10 a été certifiée pour le contrôleur de microscope fourni par Evident. Par conséquent, les conditions de licence de Microsoft s’appliquent et vous les acceptez. Veuillez consulter la page Web suivante pour voir les conditions de licence de Microsoft.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm
Objectifs
Logiciels d’application
(analyse simple)
*1 Inclut les fonctions d’acquisition de données par assemblage automatique et d’acquisition de données sur plusieurs zones.
*2 Inclut l’analyse de profil, l’analyse de différence, l’analyse de la hauteur des pas, l’analyse de surface, l’analyse de surface/volume, l’analyse de rugosité linéaire, l’analyse de rugosité de surface et l’analyse d’histogramme.
Microscopes à balayage laser Evident
Exemple de configuration – OLS5100-SAF
OLS5100-SAF
- Platine motorisée 100 mm
- Hauteur max. de l’échantillon : 100 mm (3,9 po)
OLS5100-EAF
- Platine motorisée 100 mm
- Hauteur max. de l’échantillon : 210 mm (8,3 po)
OLS5100-SMF
- Platine motorisée 100 mm
- Hauteur max. de l’échantillon : 40 mm (1,6 po)
OLS5100-LAF
- Platine motorisée 300 mm
- Hauteur max. de l’échantillon : 37 mm (1,5 po)
Unité de commande
Ressources
Notes d’application
Blogue
Vidéos
OLS5100 - Smart Experiment Manager Tolerance Judgement
OLS5100 - Smart Experiment Manager Change Your Workflow On the Fly
OLS5100 - Workflow Automation with the Macro Function
Vidéo promotionnelle – Microscope OLS5100
OLS5100 Experiment Total Assist
OLS5100 Smart Scan II
OLS5100 Real-time Macro Mapping
