Spectrophotomètre USPM-RU-W

Le micro-spectrophotomètre NIR USPM-RU-W d’Evident peut réaliser une spectrométrie rapide et précise sur une large gamme de longueurs d’onde, allant de la lumière visible au proche infrarouge. Sa capacité à mesurer facilement la réflectivité de zones extrêmement petites ou de surfaces courbes qui ne peuvent pas être mesurées avec des spectrophotomètres classiques fait de l’USPM-RU-W un appareil parfaitement adapté à l’analyse d’éléments optiques ou de minuscules composants électroniques.

Microscopes industriels USPM-RU-W

Microspectrophotomètre proche infrarouge

■ Réflectivité, épaisseur de films, couleurs d’objets et transmittance mesurées en quelques secondes
■ Large plage de longueurs d’onde allant de 380 à 1050 nm
■ Mesure la réflectivité d’une surface courbe sans contact

Mesurez la réflectivité

Mesurez la réflectivité d’une minuscule surface d’un diamètre compris entre 17 et 70 µm.

Optical Path of Reflectivity Measurement

Example of reflectivity measurement : len

Exemple de mesure de réflectivité : lentille

Example of reflectivity measurement : lens curvature

Exemple de mesure de réflectivité : courbure de lentille

Film Thickness Measurement Screen-shot

Captures d’écran enregistrées lors de la mesure de l’épaisseur d’un film

Mesurez l’épaisseur de films

Utilisez les données de réflectivité pour mesurer l’épaisseur des films monocouches ou multicouches d’environ 50 nm à 10 μm.

Object Color Measurement Screen-shot

Captures d’écran enregistrées lors de la mesure de la couleur d’un objet

Mesurez la couleur d’objets

Affichez un diagramme de chromaticité XY, un diagramme de chromaticité L*a*b*, ainsi que les valeurs numériques correspondantes à partir des données de réflectivité.

Mesurez les niveaux de transmission (fonction disponible en option)

Mesurez la transmittance d’un échantillon plan en faisant passer des faisceaux de lumière parallèles de 2 mm à travers l’échantillon jusqu’aux éléments de réception du spectrophotomètre.

Optical Path of Transmittance Measurement

Trajet optique pour la mesure de transmittance

Mesurez la réflectivité à un angle d’incidence de 45 degrés (fonction disponible en option)

Mesurez la réflectivité à un angle d’incidence de 45 degrés en utilisant des faisceaux lumineux parallèles de 2 mm qui, après réflexion sur l’échantillon, seront dirigés vers les éléments de réception du spectrophotomètre.

Optical Path of 45-degree Reflectivity Measurement

Trajet optique pour la mesure de la réflectivité à 45 degrés

Mesure rapide de surfaces courbes ou minuscules

image010

Image du système optique

Mesure à grande vitesse

Des mesures rapides et hautement répétables peuvent être effectuées en quelques secondes grâce à un réseau de diffraction à champ plat, à un capteur linéaire et à une spectrophotométrie à grande vitesse.

Small Parts reflectivity measurement

Image de la mesure de la réflectivité

Optimisé pour la mesure de la réflectivité de pièces et de lentilles extrêmement petites

Evident a conçu un nouvel objectif dédié qui permet la prise de mesures sans contact sur des surfaces de 17 à 70 μm de diamètre. Cet objectif garantit une excellente répétabilité, y compris sur des surfaces courbes ou des composants électroniques de très petite taille.

Principle of backside reflection elimination

Principe de l’élimination des réflexions de la surface arrière

Traitement antireflet non requis au dos de l’échantillon

Il est possible de prendre une mesure précise de la réflectivité d’une surface sans recourir aux étapes coûteuses habituellement nécessaires pour empêcher les réflexions de la surface arrière. La lumière réfléchie par la surface arrière est atténuée grâce à des optiques spéciales qui bloquent toute réflexion hors foyer, de manière similaire à un système confocal. Peu importe le type de composant optique que vous utilisez – sphérique, asphérique ou plat –, l’USPM-RU-W ne nécessite aucune préparation de l’échantillon par traitement antireflet.

Méthodes disponibles pour la mesure de l’épaisseur de films

L’épaisseur d’un film monocouche ou multicouche peut être analysée à partir des données de réflectivité spectrale mesurées. Vous pouvez sélectionner la méthode de mesure la plus adaptée à votre application.

Peak valley film thickness analysis result

Résultats de l’analyse de l’épaisseur d’un film à l’aide de la méthode des pics et des vallées

Méthode des pics et des vallées

Cette méthode permet de calculer l’épaisseur d’un film à partir des intervalles entre les pics et les vallées de la réflectivité spectrale mesurée. Elle est efficace pour la mesure des films monocouches. Aucun réglage complexe n’est requis, ce qui rend la mesure de l’épaisseur simple et rapide.

Fourier transform film thickness analysis result

Résultats de l’analyse de l’épaisseur d’un film à l’aide de la méthode de la transformée de Fourier

Méthode de la transformée de Fourier

Cette méthode permet de calculer l’épaisseur d’un film à partir des intervalles entre les valeurs mesurées de réflectivité spectrale. Elle est efficace pour la mesure des films monocouches et multicouches. En supprimant le bruit, la transformée de Fourier permet l’analyse lorsque la détection des pics et des vallées est difficile.

Curve fitting film thickness analysis result

Résultats de l’analyse de l’épaisseur d’un film à l’aide de la méthode de mise en correspondance de courbes

Méthode de mise en correspondance de courbes

Cette méthode permet de calculer l’épaisseur d’un film en identifiant la structure dont la réflectivité calculée correspond le plus étroitement à la réflectivité spectrale mesurée. Elle est efficace pour la mesure des films monocouches et multicouches. La mise en correspondance de courbes permet également d’analyser les films minces lorsque les pics et les vallées ne sont pas clairement visibles.

Diverses applications

Le système répond à divers besoins de mesure avec une grande rapidité et une haute précision.

Lens

Évaluation de la réflectivité, de la couleur et de l’épaisseur des films de revêtements de lentilles

Lentilles de téléphones portables
Lentilles de projecteurs
Lentilles d’appareils photo numériques
Verres de lunettes

Circuit Board

Analyse de la réflectivité et de l’épaisseur des films de composants électroniques miniatures

Boîtiers LED
Circuits imprimés

LCD Screen

Mesure de la réflectivité, de l’épaisseur des films et de la transmittance d’éléments optiques planaires

Filtres colorés pour écrans LCD
Films optiques

Prisms

Réflectivité des éléments optiques à un angle d’incidence de 45 degrés

Prismes
Miroirs

Caractéristiques techniques

Microspectrophotomètre proche infrarouge USPM-RU-W

Mesure de la réflectivité Mesure de la transmittance*1 Mesure de la réflectivité pour 45 degrés*1
Nom Microspectrophotomètre proche infrarouge Ensemble de mesure de la transmittance pour
microspectrophotomètre proche infrarouge
Ensemble de mesure de la réflectance à 45 degrés pour
microspectrophotomètre proche infrarouge
Modèle USPM-RU-W
Longueur d’onde mesurée De 380 à 1050 nm
Méthode de mesure Comparaison avec un échantillon de référence pour mesure Transmissivité mesurée en prenant 100 % comme étalon Comparaison avec un échantillon de référence pour mesure
Plage de mesure Voir les caractéristiques techniques de l’objectif ci-dessous Environ 2,0 mm de diamètre
Répétabilité des mesures (3σ) *2 Mesure de réflectivité Avec des objectifs 10x et 20x ±0,02 % ou moins (entre 430 et 1010 nm)
±0,2 % ou moins (sauf comme indiqué ci-dessus)
±0,3 % ou moins (entre 430 et 1010 nm)
±1,0 % ou moins (sauf comme indiqué ci-dessus)
Avec un objectif 40x ±0,05 % ou moins (entre 430 et 950 nm)
±0,5 % ou moins (sauf comme indiqué ci-dessus)
Mesure de l’épaisseur d’un film +/- 1 % -
Résolution de l’affichage des longueurs d’onde 1 nm
Accessoire d’éclairage Source de lumière halogène spécifique, JC12V 55 W (Durée de vie moyenne : 700 heures)
Platine de déplacement Dimensions de la surface de charge (L x P) : 200 x 200 mm
Charge admissible avec support : 3 kg
Course : (XY) ±40 mm, (Z) 125 mm
Platine inclinable Dimensions de la surface de charge (L x P) : 140 x 140 mm
Charge admissible avec support : 1 kg
Course : (XT) ±1*, (YT) ±1*
Poids Partie principale : environ 26 kg (PC non inclus) Partie principale : environ 31 kg (PC non inclus)*3
Boîtier de commande de l’alimentation électrique : environ 6,7 kg
Dimensions Partie principale (L x P x H) : 360 x 446 x 606 mm Partie principale (L x P x H) : 360 x 631 x 606 mm
Boîtier de commande de l’alimentation électrique (L x P x H) : 250 x 270 x 125 mm (pièces saillantes exclues)
Caractéristiques techniques relatives à l’alimentation électrique Entrée : 100-240 V c.a. (110 V), 50/60 Hz
Environnement de fonctionnement Emplacement horizontal non sujet aux vibrations
Température : de 15 à 30 °C
Humidité : HR de 15 à 60 % (sans condensation de rosée)

*1 Unité en option * 2 Mesure réalisée dans les conditions de mesure de notre entreprise *3 Le poids total de l’installation de mesure de la transmissivité et de l’installation de mesure de la réflectivité à 45 degrés est d’environ 33 kg.

Objectif

Modèle
USPM-OBL10X
USPM-OBL20X
USPM-OBL40X
Grossissement
10x
20x
40x
Ouverture numérique pour la mesure*4
0,12
0,24
0,24
Plage de mesure*5
70 μm
35 μm
17,5 μm
Distance de travail
14,3 mm
4,2 mm
2,2 mm
Distance de travail
±5 mm ou plus
±1 mm ou plus
±1 mm ou plus

*4 Différent de l’ouverture numérique de l’objectif
*5 Diamètre du faisceau

Logiciel

Logiciel d’analyse spectrale avec interface d’utilisation conviviale

Exemple de disposition d’écrans sur l’interface graphique

Interface facile à comprendre

Personnalisez l’interface (position, taille, visibilité des fenêtres) selon vos besoins en matière de mesure et vos préférences.

Graphique de réflectivité/transmittance, données numériques de réflectivité/transmittance, diagramme de chromaticité XY/L*a*b*

Résultats de mesure variés

Les graphiques et les données de réflectivité ou de transmissivité spectrale, les mesures colorimétriques (diagrammes de chromaticité XY et L*a*b*), ainsi que les valeurs d’épaisseur de film peuvent être affichés simultanément sur un même écran pour une compréhension facilitée.

Réglage facile de la position et de la mise au point

Le positionnement du point de mesure est simplifié grâce à l’utilisation d’une fenêtre de mise au point pour l’alignement sur l’axe Z et d’une fenêtre de centrage (CT) pour l’alignement sur les axes X et Y.

Mise au point

Réglage de la position

Configuration du travail, des calques, des graphiques et des paramètres

Une grande flexibilité pour toute application

Le logiciel USPM-RU-W peut être configuré pour assurer des performances optimales pour votre échantillon spécifique.

Exemple de mesure de la réflectivité avec fonction de réglage de la tolérance

Fonction de réglage de la tolérance pour la détermination automatique du résultat (réussite/échec)

Le système peut être configuré pour attribuer automatiquement les désignations « bon » ou « mauvais ».

Ressources

Ressources produits