Obiettivi per l'interferometria a luce bianca
Definiamo gli standard nell'interferometria a luce bianca
I nostri obiettivi per l'interferometria a luce bianca (White Light Interferometric, WLI) Mirau consentono l'acquisizione affidabile di dati ad alta risoluzione che garantiscono precise misurazioni in 3D delle superfici. Progettati con l'intento di soddisfare le esigenze dei produttori di strumenti originali (Original Equipment Manufacturers, OEM) e dei ricercatori, questi obiettivi supportano la metrologia sia online sia offline per una vasta serie di applicazioni nel settore della profilometria ottica.
Vantaggi principali dei nostri obiettivi per l'interferometria a luce bianca
- Ampio campo visivo (Field of View, FOV) per acquisire più dati
- Elevata apertura numerica (Numerical Aperture, NA) per una risoluzione dettagliata
- Testati in fabbrica per garantire prestazioni costanti
Che lavoriate nel settore dell'ingegneria o della produzione di precisione, queste caratteristiche consentono di massimizzare l'efficienza e accelerare le tempistiche.
Immagini di confronto di un campione con lente Fresnel acquisite con un obiettivo convenzionale WLI 20X (NA 0,4) e un obiettivo 20X WLI (NA 0,6) di Evident.
Immagini di confronto di un campione con lente Fresnel acquisite con un obiettivo convenzionale WLI 50X (NA 0,55) e un obiettivo 50X WLI (NA 0,8) di Evident.
Misurazione precisa delle superfici di campioni complessi
Misurare con precisione piani molto inclinati su superfici lisce rappresenta una sfida per i convenzionali obiettivi interferometrici a luce bianca confocali.
Grazie a NA più elevate fino a 0,8, i nostri obiettivi WLI di tipo Mirau acquisiscono più luce e dettagli più precisi. La NA più elevata consente ai profilometri ottici di acquisire misurazioni geometriche 3D precise di superfici dalle caratteristiche variabili, fin nei minimi dettagli.
Miglioramento dei risultati della metrologia 3D ad alta precisione
Espandete l'area di misurazione ad alta precisione, a risoluzioni elevate.
I nostri modelli ad alta precisione NA 20X e 50X offrono un campo visivo superiore rispettivamente di fino a sei e fino a quattro volte rispetto agli obiettivi WLI 50X e 100X convenzionali, a parità di capacità di misurazione dei piani inclinati e a parità di risoluzione laterale. La vista più ampia riduce la necessità di stitching delle immagini e velocizza i procedimenti di misurazione con interferometria a scansione verticale (Vertical Scanning Interferometry, VSI) e altezza tra piani diversi.
Sinistra: immagine di stitching 2x2 acquisita con un convenzionale obiettivo 50X (NA 0,55). Destra: immagine singola acquisita con un obiettivo WLI 20X (NA 0,6) di Evident.
Le lenti degli obiettivi WLI di Evident (a sinistra) includono viti di fissaggio (al centro) e un meccanismo di regolazione ad anello (a destra).
Sempre pronti per affrontare i cambiamenti delle condizioni dell'interferometria a luce bianca
La precisione delle misurazioni può essere influenzata dalle variazioni del focus dovute alle variazioni termiche. Il nostro anello integrato di regolazione della compensazione termica aiuta a mantenere il contrasto della frangia di interferenza, anche con fluttuazioni termiche, favorendo l'acquisizione di misurazioni più precise, affidabili e sensibili delle superfici.
Per ottenere facilmente misurazioni costanti, è sufficiente regolare l'anello nella posizione con il maggior contrasto di frangia possibile.
Mantenere la precisione senza sforzo
Lavorare senza interruzioni né frustrazioni, anche in presenza di vibrazioni.
Per il fissaggio delle viti*, il blocco dell'anello di regolazione dell'obiettivo in posizione consente di concentrarsi sull'acquisizione di misurazioni precise anziché sulla continua regolazione dell'acquisizione.
Ciascuna vite deve essere posizionata a un intervallo di 90 gradi e si può usare qualsiasi vite per bloccare l'anello. Basta serrare velocemente quella esterna con un cacciavite: non è necessario rimuovere gli obiettivi adiacenti.
*Le viti di fissaggio sono attualmente disponibili per gli obiettivi 10X, 20X e 50X.
Prestazioni ottiche coerenti e affidabili
Ciascun obiettivo WLI è semi-apocromatico e comprende uno specchio di riferimento di alta qualità che garantisce un forte contrasto delle frange e una minima aberrazione del fronte d'onda. Ciascuna unità è testata in fabbrica ed è corredata di due schede dati dettagliate che riportano la qualità dello specchio di riferimento e le prestazioni del fronte d'onda.
Sinistra: nessuna frangia prima della regolazione per le variazioni termiche. Centro: il contrasto di frangia viene generato via via che si regola l'anello. Destra: massimo contrasto di frangia successivo alla regolazione dell'anello.
Specifiche tecniche
| Nome dell'obiettivo | WLI10XMRTC | WLI20XMRTC | WLI50XMRTC | WLI100XMRTC |
| Correzione | Con correzione dell'infinito | Con correzione dell'infinito | Con correzione dell'infinito | Con correzione dell'infinito |
|
Ingrandimento (con obiettivo a tubo con lunghezza focale di 180 mm) |
10X | 20X | 50X | 100X |
| Apertura numerica (NA) | 0,3 | 0,6 | 0,8 | 0,8 |
| Distanza di lavoro (WD) [mm] | 8,2 | 1,0 | 1,0 | 0,7 |
| Lunghezza focale [mm] | 18 | 9,0 | 3,6 | 1,8 |
| Indice di campo dell'obiettivo (OFN) | 22 | 22 | 22 | 22 |
| Mezzo di immersione | Aria/Secco | Aria/Secco | Aria/Secco | Aria/Secco |
| Meccanismo a molla | N/A | N/A | N/A | N/A |
| Anello di regolazione compensazione termica per pattern interferometrico | Sì | Sì | Sì | Sì |
| Vite di fissaggio anello di regolazione | Sì | Sì | Sì | No |
| Correzione dell'aberrazione cromatica | Semi-apocromatico (FL) | Semi-apocromatico (FL) | Semi-apocromatico (FL) | Semi-apocromatico (FL) |
| Distanza parafocale [mm] | 45 | 45 | 45 | 45 |
| Posizione del piano retrofocale (BFP) [mm] | -3,2 | -8,8 | -4,8 | -3,0 |
| Dimensioni esterne (Larghezza x Altezza) | Φ 29,7 mm × 36,8 mm | Φ 29,8 mm × 44,0 mm | Φ 31,5 mm × 44,0 mm | Φ 29,0 mm × 44,3 mm |
| Dimensioni filettatura vite | L 20,32 mm × 0,706 mm (RMS) | L 20,32 mm × 0,706 mm (RMS) | L 20,32 mm × 0,706 mm (RMS) | L 20,32 mm × 0,706 mm (RMS) |
| Temperatura di misurazione garantita | 23 °C ±1 °C | 23 °C ±1 °C | 23 °C ±1 °C | 23 °C ±1 °C |
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Temperatura/umidità di conservazione (ambiente privo di condensa) |
0-40 °C / 20%～80% | 0-40 °C / 20%～80% | 0-40 °C / 20%～80% | 0-40 °C / 20%～80% |
| Temperatura di esercizio | 15-30 °C | 15-30 °C | 15-30 °C | 15-30 °C |
| Uso previsto | Per interni | Per interni | Per interni | Per interni |