LEXT OLS5500 Profilometro Ottico 3D
Il profilometro ottico 3D ibrido LEXT™ OLS5500 unisce la microscopia a scansione laser (LSM), l'interferometria a luce bianca (WLI) e la microscopia a variazione di messa a fuoco (FVM) in un'unica piattaforma pluripremiata. Progettato per i team di ricerca e sviluppo, assicurazione e controllo qualità, offre dettagli della superficie precisi, precisione tracciabile per misurazioni affidabili e un'esperienza utente intuitiva per semplificare i flussi di lavoro. Dati affidabili, supportati da ottiche di precisione, calibrazione verificabile e automazione intelligente, aiutano i laboratori a passare senza problemi dalla prima ricognizione alla decisione finale.
- Product Status: Questo prodotto sostituisce il LEXT OLS5100 e i precedenti sistemi della serie OLS.
LEXT OLS5500 Profilometro Ottico 3D
Superfici infinite, risultati affidabili
Combinando la microscopia a scansione laser (LSM), l'interferometria a luce bianca (WLI) e la microscopia a variazione di fuoco (FVM) in un'unica piattaforma, il pluripremiato profilometro ottico 3D LEXT™ OLS5500 garantisce che ogni superficie possa essere misurata in modo chiaro e accurato.
La soluzione di imaging completa per misurazioni accurate delle superfici
- LSM: eccezionale risoluzione laterale per superfici ruvide, microstrutture e pendenze elevate.
- WLI: precisione verticale a livello di nanometro per superfici lisce o inclinate e film sottili.
- FVM: copertura dal macro al micro per aree vaste o irregolari che richiedono un contesto più ampio.
Ogni metodo completa gli altri, offrendo la modalità di imaging ideale per ogni superficie. Dati completi che rispecchiano fedelmente la forma delle superfici, dai nanometri ai millimetri e dalle superfici piane a quelle inclinate: tutto in un unico sistema.
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Pacchetto RF ripreso utilizzando tre tecniche di metrologia superficiale.
Imaging di precisione eccezionale
A sinistra: con le lenti convenzionali, la distorsione periferica aumenta e influisce sulla precisione della misurazione. A destra: con le lenti LEXT, l'area periferica viene riprodotta senza distorsioni, garantendo misurazioni accurate.
Precisione su tutte le superfici
Che si lavori con campioni molto inclinati, superfici riflettenti o geometrie complesse, gli obiettivi progettati internamente mantengono la nitidezza e la fedeltà morfologica su tutto il campo visivo.
Obiettivi per microscopia laser
Gli obiettivi LEXT dedicati misurano con precisione le aree periferiche, superando le sfide di misurazione delle lenti convenzionali.
Obiettivi LEXT da sinistra a destra: lunga distanza operativa (20x, 50x, 100x), alte prestazioni (20x, 50x, 100x) e basso ingrandimento (10x).
Obiettivi interferometrici a luce bianca
Gli obiettivi WLI ad alta NA (fino a 0,8 NA) producono frange di interferenza nette e un'eccezionale stabilità di fase, anche su superfici ripide o strutturate.
Immagini comparative di un campione di lente di Fresnel acquisite con un obiettivo WLI 20x convenzionale (a sinistra, NA 0,4) e con un obiettivo WLI 20x di Evident (a destra, NA 0,6).
Immagini comparative di un campione di lente di Fresnel acquisite con un obiettivo WLI 50x convenzionale (a sinistra, NA 0,55) e con un obiettivo WLI 50x di Evident (a destra, NA 0,8).
Immagini comparative di un campione di calibrazione acquisite con un obiettivo WLI 50x convenzionale (a sinistra, NA 0,55) e con un obiettivo WLI 50x di Evident (a destra, NA 0,8).
Chiarezza che svela l'invisibile
Aumenta la velocità di convalida rivelando caratteristiche critiche invisibili ai sistemi convenzionali. Dalle strutture sottili e dalla topografia fine alle superfici trasparenti e alle caratteristiche a basso contrasto, l'OLS5500 offre molteplici opzioni di miglioramento del contrasto per mettere in luce dettagli nascosti o sottili.
- L'imaging 4K con sensore ad alta sensibilità garantisce un contrasto preciso e fedeltà cromatica.
- Il contrasto interferenziale differenziale (DIC) laser e il DIC a colori rivelano il rilievo superficiale e i confini dei materiali con una chiarezza straordinaria.
- Il filtro di rilevamento della superficie superiore isola la superficie reale, eliminando le interferenze degli strati sottostanti.
Immagini di confronto di un film polimerico. A sinistra: immagine laser senza DIC. A destra: immagine laser con CID.
Immagini comparative della zona di atterraggio di un disco rigido. A sinistra: immagine a colori senza DIC. A destra: immagine a colori con DIC.
Confronto tra le immagini mosaicate di un wafer. A sinistra: senza correzione intelligente dell'ombreggiatura. A destra: con correzione intelligente dell'ombreggiatura.
Imaging di grandi aree senza soluzione di continuità
Ispeziona regioni più estese senza perdita di dettagli o di integrità dell'immagine. La correzione intelligente delle ombreggiature riduce al minimo gli artefatti e bilancia l'illuminazione nelle immagini mosaicate, garantendo risultati senza soluzione di continuità anche su superfici a basso contrasto o irregolari. Questa chiarezza da bordo a bordo supporta analisi coerenti.
Misurazioni affidabili
Misurazioni accurate e affidabili
Meno ripetizioni di test, rielaborazioni e risultati rifiutati grazie a misurazioni affidabili in LSM, WLI e FVM che puoi verificare e dimostrare.
Precisione e ripetibilità garantite
Misurazioni coerenti e ad alta precisione in tutte le applicazioni: l'OLS5500 è il primo profilometro ottico 3D al mondo che garantisce precisione e ripetibilità* per le misurazioni LSM e WLI.
La calibrazione in loco effettuata dai tecnici Evident garantisce misurazioni precise e ripetibili con registrazioni riportanti data e ora che assicurano la conformità agli standard metrologici internazionali.
Ogni valore misurato viene convalidato tramite il nostro processo di calibrazione tracciabile, che fornisce risultati dimostrabili durante audit, report e analisi della produzione.
*Dati basati sulla ricerca interna condotta da Evident fino a ottobre 2025. La precisione e la ripetibilità garantite si applicano solo se il dispositivo è stato tarato in base alle specifiche del fabbricante ed è privo di difetti. La taratura deve essere eseguita da un tecnico Evident o da uno specialista autorizzato Evident.
Esempio per lo standard AIST
Modulo di misura della lunghezza
Livello massimo di rumore di misura garantito
Misurazioni dell'altezza affidabili, anche su scala nanometrica. L'OLS5500 garantisce livelli* del rumore di misurazione conformi alla norma ISO 25178-700:2022:
· 1 nm con obiettivi MPLAPON 100x LEXT
· 0,08 nm con obiettivi WLI
Questo assicura il rilevamento ad alta risoluzione anche delle più sottili variazioni topografiche, dai film sottili alle superfici microstrutturate.
*Riceverai un certificato di garanzia relativo al rumore di misurazione. Si tratta di un valore indicativo misurato nelle condizioni specificate da Evident e potrebbe differire dal valore garantito.
Precisione garantita delle immagini mosaicate
L'OLS5500 integra un modulo di misurazione della lunghezza nel suo tavolino motorizzato, che garantisce* la precisione dei dati delle immagini mosaicate. Mentre i sistemi convenzionali si affidano esclusivamente al pattern matching, l'OLS5500 lo integra anche con il feedback posizionale, garantendo dati delle immagini mosaicate di elevata affidabilità sia per LSM che per WLI.
*La garanzia di precisione delle immagini mosaicate si riferisce solo al tavolino motorizzato da 100 mm. (OLS5500-SAF è disponibile sia per LSM che per WLI, mentre OLS5500-EAF è disponibile solo per LSM).
Servizio e supporto che ti mettono in condizione di avere successo
Quando si tratta di proteggere il tuo investimento e l'integrità della tua ricerca, le tue esigenze vengono prima di tutto. Sosteniamo i nostri prodotti con un impegno per un servizio rapido e supporto tecnico per aiutarti a raggiungere i tuoi obiettivi.
Assicura la conformità e la continuità operativa del sistema grazie alla nostra calibrazione in loco, alla rete di assistenza globale e al supporto remoto, supportati da oltre 100 anni di esperienza nella microscopia.
Workflow intelligente
Workflow intelligente, massima capacità produttiva
Gli strumenti intelligenti di automazione e del flusso di lavoro dell'OLS5500 sono progettati per rendere l'analisi delle superfici più semplice e veloce per utilizzatori di tutti i livelli. Ottieni risultati uniformi e precisi fin dal primo tentativo in LSM, WLI e FVM per ottimizzare l'efficienza e la capacità produttiva delle ispezioni.
Osservazioni senza interruzioni
L'OLS5500 genera automaticamente una mappa macro mentre il tavolino si muove, così ogni area è continuamente tracciata e documentata per una navigazione agevole. Grazie alla messa a fuoco automatica continua, l'immagine rimane nitida durante tutto il movimento senza necessità di rimessa a fuoco manuale e senza interruzioni.
Automazione intelligente per una precisione senza sforzo
L'OLS5500 automatizza i processi di misurazione chiave, consentendoti di concentrarti sull'analisi e non sulla regolazione.
Acquisisci dati in modo rapido e semplice con Smart Scansione II per LSM. Posiziona il campione sul tavolino, premi il pulsante di avvio e il sistema si occupa del resto.
L'algoritmo PEAK fornisce dati estremamente precisi dagli ingrandimenti bassi a quelli elevati e riduce il tempo di acquisizione dei dati. Durante la misurazione della forma dei gradini su un campione, il tempo di acquisizione dei dati può essere ridotto tralasciando l'intervallo di scansione non necessario nella direzione Z.
Campione VLSI standard con altezza di 83 nm (MPLFLN10LEXT).
Pattern di resist su una superficie di silicio. Per gentile concessione del Nanotechnology Hub dell'Università di Kyoto.
A sinistra: Smart Judge disattivato: A destra: Smart Judge attivo.
Affidabilità su cui puoi contare
Automatizza le ispezioni con le macro: crea, modifica ed esegui procedure dai risultati affidabili. Collega lo Smart Experiment Manager per prendere decisioni di esito positivo/negativo con un solo clic. Salva i report come modelli per semplificare le misurazioni ripetute e garantire risultati coerenti tra analisi e utenti.
L'integrazione del software PRECiV™ per la metallografia di routine, i flussi di lavoro potenziati dall'intelligenza artificiale e l'analisi 2D avanzata supportano sinergicamente applicazioni specialistiche e ambienti produttivi ad alta efficienza.
Misurazione fino a 40 volte più veloce senza compromessi
L'OLS5500 assicura velocità e precisione. La sua modalità avanzata di interferometria a luce bianca (WLI) accelera le misurazioni superficiali fino a 40 volte rispetto alla LSM convenzionale, senza compromettere la precisione o la tracciabilità.
· Ideale per la convalida rapida dei processi, la verifica della progettazione e il campionamento della produzione.
· Mantiene una precisione costante anche su campioni grandi e complessi.
Campione. Dislivello di 60 nm, area di misurazione: 1.280 µm.
LSM. Tempo di acquisizione dati: 630 s; immagine mosaicata 6×6 acquisita con obiettivo LSM 50x (NA 0,95).
WLI: Tempo di acquisizione dati: 15 s; singola immagine acquisita con obiettivo WLI 10x (NA 0,3).
Campo visivo più ampio, flusso di lavoro più rapido
Risparmia tempo nell'imaging di campioni grandi o complessi. Gli obiettivi WLI Mirau a NA elevata dell'OLS5500 ampliano il campo visivo misurabile senza compromettere la precisione verticale.
· Obiettivo 20x: copertura fino a 6 volte più ampia rispetto agli obiettivi WLI 50x convenzionali.
· Obiettivo 50x: copertura fino a 4 volte più ampia rispetto agli obiettivi WLI 100x convenzionali.
Un numero minore di immagini per area implicano meno passaggi per l'unione delle immagini, aumentando l'efficienza e assicurando dati ad alta fedeltà e tracciabili.
Specifiche
Specifiche dell'unità principale LEXT OLS5500
| Modello | OLS5500-SAF | OLS5500-EAF | OLS5500-LAF | ||
| Ingrandimento totale | 54x–17.280x | ||||
| Campo visivo | 16 µm–5.120 µm | ||||
| Principio di misurazione | Sistema ottico |
Microscopia confocale a scansione laser a riflessione Microscopia DIC confocale a scansione laser a riflessione Microscopia a variazione di fuoco, colore, DIC a colori |
|||
| Interferometria a luce bianca | - | ||||
| Elemento di acquisizione della luce | Laser: fotomoltiplicatore (2 Ch), colore: fotocamera a colori CMOS | ||||
| LSM | Altezza | Ripetibilità σn-1*1 *2 *5 | 5x: 0,45 μm, 10x: 0,1 μm, 20x: 0,03 μm, 50x: 0,012 μm, 100x: 0,012 μm | ||
| Precisione*1 *3 *5 | 0,15 + L/100 μm (L: lunghezza misurata [μm] | ||||
| Rumore misurato*1 *4 *5 | 1 nm (tipica) | ||||
| Lunghezza | Ripetibilità 3σn-1*1 *2 *5 | 5x: 0,4 μm, 10x: 0,2 μm, 20x: 0,05 μm, 50x: 0,04 μm, 100x: 0,02 μm | |||
| Precisione*1 *3 *5 | Valore misurato pari a +/- 1,5% | ||||
| Numero massimo di punti di misurazione in una singola misura | 4.096 × 4.096 pixel | ||||
| Numero massimo di punti di misurazione | 400 megapixel | ||||
| Configurazione XY tavolino | Intervallo operativo | 100 mm × 100 mm (3,9 × 3,9 pollici) con motorizzazione | 300 mm × 300 mm (11,8 × 11,8 pollici) con motorizzazione | ||
| Altezza campione massima | 100 mm (3,9 pollici) | 210 mm (8,3 pollici) | 37 mm (1,5 pollici) | ||
| Generatore di luce laser | Lunghezza d'onda | 405 nm | |||
| Output massimo | 0,95 mW | ||||
| Classe laser | Classe 2 (JIS C 6802:2018, IEC60825-1:2014, EN60825-1:2014/A11:2021, GB/T 7247.1-2024） | ||||
| Fonte di luce a colori | LED bianco | ||||
| Alimentazione elettrica | 240 W | 278 W | |||
| Massa | Corpo microscopio | Circa 31 kg (68,3 lb) | Circa 43 kg (94,8 lb) | Circa 50 kg (110,2 lb) | |
| Unità di controllo | Circa 12 kg (26,5 lb) | ||||
Specifiche tecniche LEXT OLS5500 WLI
Altezza campione massima
Colspan=2
*1 Garantito se utilizzato in un ambiente a temperatura e umidità costanti (temperatura: 20 ℃ ±1 ℃, umidità: 50% ± 10%) specificato in ISO554 (1976), JIS Z-8703 (1983).
*2 Per ingrandimenti pari o superiori a 10x, quando si effettuano misurazioni con obiettivi dedicati LEXT.
*3 Quando si effettuano misurazioni con obiettivo dedicato LEXT.
*4 Valore tipico se la misurazione avviene con un obiettivo MPLAPON100X LEXT (può differire dal valore garantito).
*5 Garantito dal sistema di certificazione Evident.
*6 Questo è un valore indicativo misurato utilizzando standard di altezza del dislivello di 83 nm riconducibili a standard nazionali, nelle condizioni specificate da Evident, e differisce dal valore garantito. Il valore garantito è di 0,15+ L/100 μm.
*7 Equivalente al rumore di misurazione. *8 Verificato secondo le condizioni specificate da Evident.
Software applicativo LEXT OLS5500
*1 Comprende le funzioni di acquisizione dati auto-stitching e dati multi-area.
*2 Comprende analisi del profilo, analisi della differenza, analisi dell'altezza di passo, analisi della superficie, analisi di volume/area, analisi della rugosità lineare, analisi della rugosità dell'area e analisi dell'istogramma.
Obiettivi LEXT OLS5500
Risorse
Note applicative
Approfondimenti
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