LEXT OLS5500 Profilometro Ottico 3D
Superfici infinite, risultati affidabili
Un profilometro ottico 3D ibrido che unisce in un'unica piattaforma microscopia a scansione laser (LSM), interferometria a luce bianca (WLI) e microscopia a variazione di fuoco (FVM), fornendo dettagli precisi della superficie, accuratezza tracciabile e una user experience intuitiva per semplificare i flussi di lavoro, dalla scoperta alla decisione.
- Product Status: Questo prodotto sostituisce il LEXT OLS5100 e i precedenti sistemi della serie OLS.
LEXT OLS5500 Profilometro Ottico 3D
Applicazioni industriali
Ambito accademico
Semiconduttore
Componenti elettroniche
Metalli e materiali
Imaging di precisione eccezionale
Superfici infinite, risultati affidabili
Il pluripremiato LEXT™ OLS5500 consente di identificare caratteristiche appena percettibili e variazioni superficiali con una chiarezza senza pari: utilizza LSM, WLI e FVM per rilevare difetti, convalidare progetti e prendere decisioni sicure.
Precisione su tutte le superfici
Le lenti obiettivo progettate internamente mantengono la nitidezza e la fedeltà morfologica su tutto il campo visivo, anche con campioni molto inclinati, riflettenti o complessi. A differenza delle lenti convenzionali che distorcono ai margini, le lenti LEXT forniscono misurazioni accurate dal centro ai bordi.
Obiettivi interferometrici a luce bianca
Ideale per superfici lisce e inclinate, il sistema misura passi su scala nanometrica con prestazioni affidabili a quota costante a qualsiasi ingrandimento dell'obiettivo.
Immagini comparative di un campione di lente di Fresnel acquisite con un obiettivo WLI 20x convenzionale (a sinistra, NA 0,4) e con un obiettivo WLI 20x di Evident (a destra, NA 0,6).
"Con il LEXT™ OLS5500, possiamo acquisire immagini ottiche 3D ad alta risoluzione ed estrarre dettagli superficiali significativi da strutture delicate, riducendo al minimo la manipolazione del campione e il rischio di danni".
Dott. Elliot Cheng, Centro di Microscopia e Microanalisi, Università di Queensland
Nitidezza su campioni complessi
L'imaging 4K, un filtro di rilevamento della superficie superiore, il CID laser, l'ottica a doppio foro stenopeico e un sensore ad alta sensibilità lavorano insieme per offrire una chiarezza, un contrasto e una fedeltà cromatica eccezionali, anche sui campioni più complessi.
Immagini di confronto di un film polimerico. A sinistra: immagine laser senza DIC. A destra: immagine laser con CID.
Senza laser DIC
Con laser CID
Confronto tra le immagini mosaicate di un wafer. A sinistra: senza correzione intelligente dell'ombreggiatura. A destra: con correzione intelligente dell'ombreggiatura.
Senza ombreggiatura intelligente
Con ombreggiatura intelligente
Imaging di grandi aree senza soluzione di continuità
Ottieni immagini di aree estese pulite e affidabili, con artefatti di giunzione minimi, anche su superfici a basso contrasto o irregolari. L'unione intelligente di più immagini e il controllo preciso del tavolo motorizzato garantiscono risultati su aree estese che rimangono accurati, coerenti e pronti per la presentazione.
Misurazioni affidabili
Misurazioni accurate e affidabili
Meno test ripetuti, rilavorazioni e scarti grazie a misurazioni LSM, WLI e FVM verificate. L’OLS5500 è il primo profilometro ottico 3D al mondo che garantisce precisione e ripetibilità* sia per le misurazioni LSM che per le misurazioni WLI.
*Dati basati sulla ricerca interna condotta da Evident fino a ottobre 2025. La precisione e la ripetibilità garantite si applicano solo se il dispositivo è stato tarato in base alle specifiche del fabbricante ed è privo di difetti. La taratura deve essere eseguita da un tecnico Evident o da uno specialista autorizzato Evident.
Illustrazione che mostra la differenza tra accuratezza e ripetibilità.
Precisione garantita delle immagini mosaicate
Per le misurazioni su aree estese, l’OLS5500 offre dati affidabili di immagini mosaicate combinando un tavolino motorizzato con un modulo integrato di misurazione della lunghezza e una combinazione avanzata dei pattern. Questo approccio consente di ottenere dati di immagini mosaicate tracciabili e di elevata affidabilità sia in LSM che in WLI, in condizioni specificate del tavolino.
Servizio e supporto che ti mettono in condizione di avere successo
Quando si tratta di proteggere il tuo investimento e l'integrità della tua ricerca, le tue esigenze vengono prima di tutto. Sosteniamo i nostri prodotti con un impegno per un servizio rapido e supporto tecnico per aiutarti a raggiungere i tuoi obiettivi.
Assicura la conformità e la continuità operativa del sistema grazie alla nostra calibrazione in loco, alla rete di assistenza globale e al supporto remoto, supportati da oltre 100 anni di esperienza nella microscopia.
Workflow intelligente
Automazione intelligente per una precisione senza sforzo
Gli strumenti intelligenti di automazione e del flusso di lavoro dell'OLS5500 sono progettati per rendere l'analisi delle superfici più semplice e veloce per utilizzatori di tutti i livelli. Con Tilt Adjustment Assistance, la correzione dell'inclinazione diventa semplice. Con un solo clic, il software indica l'esatta quantità di regolazione necessaria per livellare la superficie del campione.
L'interferometria a luce bianca (WLI) migliora la produttività fino a 42 volte
La WLI dell’OLS5500 migliora la produttività fino a 42 volte rispetto ai sistemi LSM convenzionali. Misura le texture superficiali su scala nanometrica, tradizionalmente visibili solo con elevati ingrandimenti di un LSM, senza le limitazioni dell'ingrandimento dell’obiettivo.
Campione. Dislivello di 60 nm, area di misurazione: 1.280 µm. LSM. Tempo di acquisizione dati: 630 s; immagine mosaicata 6×6 acquisita con obiettivo LSM 50x (NA 0,95). WLI: Tempo di acquisizione dati: 15 s; singola immagine acquisita con obiettivo WLI 10x (NA 0,3).
Campione VLSI standard con altezza di 83 nm (MPLFLN10LEXT).
Algoritmo PEAK per una ricostruzione 3D rapida e precisa
L'algoritmo PEAK fornisce dati di superficie 3D estremamente precisi a ingrandimenti da bassi ad alti, accelerando significativamente l'acquisizione. Per le misurazioni dell'altezza dei gradini e della forma, salta in modo intelligente le scansioni non essenziali dell'intervallo Z per acquisire risultati precisi più rapidamente.
Rilevamento intelligente dei dati
Smart Judge rileva automaticamente tutti i dati affidabili, garantendo misurazioni accurate senza perdita di dati sulle micro-irregolarità dell'altezza.
A sinistra: Smart Judge disattivato: A destra: Smart Judge attivo.
Smart Judge disattivato
Smart Judge attivo
Applicazioni
Risorse
Risorse dei prodotti
Video
OLS5100 - Valutazione della tolleranza con "Smart Experiment Manager"
OLS5100 - Smart Experiment Manager modifica istantaneamente il flusso di lavoro
OLS5100 - Automazione del flusso di lavoro con la funzione Macro
OLS5100 Video promozionale
OLS5100 Assistenza totale per esperimenti
OLS5100 Smart Scan II
OLS5100 Messa a fuoco automatica continua
OLS5100 Mappatura Macro in tempo reale
