Microscopio laser LEXT OLS5100
Progettato per l'analisi dei guasti e la ricerca industriale dei materiali, il microscopio laser OLS5100 combina una precisione di misura e delle prestazioni ottiche eccezionali con delle funzionalità efficienti che rendono il microscopio facile da utilizzare. Misura con precisione la forma e le irregolarità superficiali a un livello submicrometrico in modo veloce e efficiente per semplificare il flusso di lavoro mediante dati affidabili.
LEXT OLS5100 Soluzioni per Microscopia
Microscopio laser per l'analisi di materiali
Flusso di lavoro efficiente, esperimenti più veloci
Progettato per l'analisi dei guasti e la ricerca industriale dei materiali, il microscopio laser OLS5100 combina una precisione di misura e delle prestazioni ottiche eccezionali con delle funzionalità efficienti che rendono il microscopio facile da utilizzare. Misura con precisione la forma e le irregolarità superficiali a un livello submicrometrico in modo veloce e efficiente per semplificare il flusso di lavoro mediante dati affidabili.
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Precisione delle misure garantitaGli obiettivi del microscopio LEXT assicurano l'acquisizione di dati di misura precisi. In combinazione con la funzionalità Smart Lens Advisor è possibile acquisire dei dati precisi e affidabili.
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Le lenti convenzionali hanno difficoltà a effettuare delle misure precise nelle aree periferiche |
Obiettivi LEXT dedicati in grado di misurare con precisione le aree periferiche |
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Microscopia a scansione laser di facile uso
L'uso del microscopio è semplice sia per operatori inesperti che esperti grazie al software progettato con attenzione.
- Facile acquisizione di dati precisi: posizionamento del campione sul tavolino e pressione del pulsante di avvio
- Prestazioni di misura che garantiscono l'adattabilità all'ambiente operativo dell'utente*.
Le informazioni (inclusa la precisione garantita) riportate in questa pagina web sono basate sulle condizioni definite da Evident
Semplificazione degli esperimenti relativi alla scienza dei materiali e all'analisi dei guasti
La funzionalità Smart Experiment Manager semplifica i flussi di lavoro delle osservazioni 3D submicrometriche e degli esperimenti di analisi dei guasti automatizzando le operazioni che risultavano precedentemente dispendiose in termini di tempo.
- Automatizzazione del flusso di lavoro dell'analisi mediante le funzioni macro
- Dati di misura facili da organizzare
- Compila automaticamente i dati nella matrice del piano di esperimenti, riducendo le probabilità di errori
- I risultati di misura sono visualizzati in un elenco, permettendo un'immediata valutazione di tipo pass/fail (idoneo/non idoneo).
Completamente personalizzabile in base alle proprie esigenze
Integrazione di tutte le funzionalità avanzate del microscopio a scansione laser OLS5100 per l'analisi di materiali e di campioni pesanti e di grandi dimensioni.
Assistenza affidabile
Dalla taratura alla formazione offriamo un'ampia gamma di servizi per mantenere le prestazioni ottimali del dispositivo. I contratti di assistenza Evident sono:
- Facilmente applicabili, in modo da poter concentrarsi sulla propria attività principale
- Efficienti, in modo da programmare una manutenzione preventiva (incluse le tarature), in sostituzione dell'utente
- Convenienti, in modo da risparmiare per la durata del contratto
Vantaggi
Vantaggi del microscopio laser
1. Osservazione e misura 3D al di sotto del micron
Osservazione di rilevi nell'intervallo nanometrico e misurazione delle differenze di altezza a un livello al di sotto del micron.
2. Misura delle irregolarità della superficie in conformità alla norma ISO25178
Misura delle irregolarità della superficie da un sistema lineare a uno planare
3. Senza contatto, non distruttivo e veloce
Preparazione dei campioni non richiesta: posizionare semplicemente il campione sul tavolino e si è pronti a effettuare la misura.
Dati affidabili con la pressione di un pulsante
Smart Scan II
Sia nel caso di utenti inesperti che esperti, i dati possono essere acquisiti in modo veloce e facile con la funzionalità Smart Scan II. Posizionare il campione sul tavolino, premere il pulsante di avvio e il microscopio si occupa del resto.
- Algoritmo PEAK： Il microscopio OLS5100 integra un algoritmo di PICCO per la costruzione di dati 3D. Questo algoritmo fornisce dati estremamente precisi da ingrandimenti bassi a elevati e riduce il tempo di acquisizione dei dati.
- Salta scansioni non necessarie: Quando si misura la forma dei rilievi su un campione contenente dei piani quasi verticali, come un componente elettronico o MEMS, il tempo di acquisizione dei dati può essere ridotto saltando le scansioni non necessarie nella direzione Z. Un rilievo di 100 μm può essere misurato in circa 10 secondi senza influenzare la precisione (quando si usa un obiettivo MPLAPON50XLEXT).
- Precisione dei dati di forma： Il sistema di valutazione automatico del microscopio OLS5100 si regola in base ai requisiti di ogni campione, mentre la scansione HDR acquisisce due serie di informazioni di forme variando la sensibilità di rilevamento per produrre dei precisi dati relativi alle forme.
Prestazioni di misura che garantiscono l'adattabilità all'ambiente operativo dell'utente
Le prestazioni di uno strumento di misura viene in genere espresso mediante la precisione, la quale indica la prossimità di un valore di misura al suo valore reale, e la ripetibilità, la quale indica il grado di variazione per i valori di misura ripetuti. La precisione e la ripetibilità del microscopio sono garantiti in base a un sistema di tracciabilità, in modo da poter considerare affidabili i propri risultati di misura.
Metrologia superficiale oltre il campo visivo
Il microscopio OLS5100 integra un modulo di misura della lunghezza nel tavolino motorizzato e garantiamo la precisione dei dati delle immagini sottoposti a stitching. Sebbene i dati sottoposti a stitching dei microscopi laser passati erano basati sulla corrispondenza dei pattern, il microscopio OLS5100 aggiunge le informazioni di posizione dal modulo di misura della lunghezza alla corrispondenza dei pattern, in modo da fornire dei dati sottoposti a stitching molto affidabili con una precisione garantita.
*Solo per OLS5100-SAF/EAF
Osservazione a alta risoluzione e alto ingrandimento di facile applicazione
Messa a fuoco automatica continua
L'autofocus continuo del microscopio mantiene le immagini a fuoco quando si sposta il tavolino o si cambiano gli obiettivi, minimizzando la necessità di regolazioni manuali. La costante tracciatura della messa a fuoco permette di eseguire delle osservazioni in modo facile e veloce.
DIC doppia per osservazione in tempo reale con scala nanometrica
Permette di rilevare piccole alterazioni nel proprio campione mediante un'osservazione in tempo reale a una scala nanometrica. L'osservazione a contrasto interferenziale (DIC) permette di visualizzare i contorni superficiali a una scala nanometrica che in genere non sono rilevabili da un microscopio laser. Con la modalità laser DIC, il microscopio OLS5100 può ottenere delle immagini live paragonabili a quelle di un microscopio elettronico, anche quando si utilizza un obiettivo 5X o 10X.
Superficie posteriore di un wafer
Zona di posizionamento di un disco rigido
Analisi completa
Sono disponibili numerose funzioni di analisi Di seguito viene riportato solo un esempio perciò per maggior informazioni scaricare la brochure o contattare il proprio rappresentante Evident.
Misura delle rugosità della superficie in conformità alla norma ISO25178
Il microscopio OLS5100 scansiona la superficie del campione con un fascio laser di 0,4 μm, permettendo di misurare facilmente la rugosità superficiale dei campioni che non possono essere misurati con misuratori di rugosità superficiali a contatto. La capacità di acquisire contemporaneamente l'immagine a colori, l'immagine laser e i dati della forma 3D di una superficie, non misurabili con un misuratore di rugosità superficiali a contatto, ottimizza l'analisi.
Misura di un rilievo tra il punto più alto e più basso in un profilo superficiale
Funzione di misura del profilo e strumento di assistenza alla misura
La funzione di misura del profilo visualizza il profilo della superficie tracciando in modo discrezionale una linea di misura sulla posizione che deve essere misurata su un'immagine. Inoltre misura il rilievo tra due punti, larghezze, aree a sezione trasversale e raggi discrezionali. Diversamente dagli strumenti di misura a contatto, la definizione delle posizioni di misura risulta semplice. Le linee e i punti di misura possono essere verificati sull'immagine, pertanto può essere misurata con precisione anche un'area molto piccola. Con lo strumento di assistenza alla misura, il punto da misurare può essere specificato correttamente mediante il punto più alto, più basso, mediano e/o medio. Quando viene specificata un'area nei dati acquisiti, i punti inclusi sono automaticamente estratti in base a condizioni specificate.
Software
Semplificazione della gestione degli esperimenti relativi alla scienza dei materiali e all'analisi dei guasti
Flussi di lavoro di routine automatizzati
Funzione macro
È possibile automatizzare l'intero flusso di lavoro di ispezione mediante lo strumento di produzione macro. Permette di creare e modificare facilmente le procedure, e successivamente esegue il file macro registrato per ottenere dei risultati affidabili. Combinato con il Smart Experiment Manager è possibile effettuare delle valutazioni di tipo pass/fail (idoneo/non idoneo) con un solo clic.
Semplice organizzazione dei dati
Anche se le condizioni sperimentali non sono state determinate in anticipo, possono essere determinate durante l'acquisizione dei dati. Le condizioni possono essere modificate durante l'esperimento, inoltre le immagini e i dati di analisi possono essere aggiunti facilmente con la funzione Trascina. Supporta degli esperimenti flessibili adattati al flusso di lavoro dell'utente.
Il software aggiunge automaticamente i valori acquisiti alla matrice del piano di esperimenti in modo da minimizzare la possibilità di errori di inserimento dati. Attraverso appena un paio di click è possibile esportare i dati in un documento Excel.
Facile organizzazione dei dati delle condizioni degli esperimenti
Automatica generazione del nome dei file
È possibile cliccare su ogni cella del piano degli esperimenti e il software genererà automaticamente un nome del file contenente le condizioni di valutazione per un'archiviazione dei dati semplificata. Ogni file contiene i dati e le immagini associate.
Veloce ottenimento dei risultati di misura
La funzione di valutazione della tolleranza permette di confermare immediatamente l'approccio pass/fail in base a una serie di tolleranze. La tolleranza può essere verificata modificando il valore della soglia basato sulle caratteristiche del campione.
La mappa di calore del software facilita la comprensione dei dati acquisiti durante l'esperimento. I colori e le percentuali della mappa di calore sono facilmente modificabili. Gli intuitivi diagrammi e mappe di calore permettono una veloce visualizzazione dei dati in modo da rilevare tempestivamente delle anomalie.
Analisi multidati
È possibile analizzare in parallelo diverse serie di dati con scale e angoli 3D di visualizzazione integrati. La correzione e l'analisi delle immagini può essere effettuata contemporaneamente. Questo è utile per l'analisi della forma di diversi campioni con diverse condizioni di elaborazione o per l'analisi dei difetti. Diverse immagini, profili e risultati numerici possono essere esportati in Excel, facilitando e velocizzando l'organizzazione e la valutazione dei dati.
Specifiche tecniche
Unità principale
Microscopio confocale a scansione laser-DIC a riflessione
Colore
Colore-DIC
Colore: Fotocamera CMOS a colori
*1 Garantito quando usato a temperatura costante e in ambiente a temperatura costante (temperatura: 20˚C±1˚C, umidità: 50%±10%) come specificato nelle norme ISO554(1976) e JIS Z-8703 (1983).
*2 Per 20x o superiore, se la misurazione avviene con obiettivi della serie MPLAPON LEXT.
*3 Quando misurato con l'obiettivo dedicato LEXT.
*4 Valore tipico se la misurazione avviene con l'obiettivo MPLAPON100XLEXT, può differire dal valore garantito.
*5 Garantito dal sistema di certificazione Evident.
*6 OLS5100 è un prodotto laser di Classe 2. Non guardare il raggio laser.
** La licenza del sistema operativo Windows 10 è stata certificata per il controller del microscopio fornito da Evident. Pertanto, si applicano e si accettano le condizioni di licenza di Microsoft. Per le condizioni di licenza di Microsoft, fare riferimento a quanto segue.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm
Obiettivi
Software applicativo
*1 Comprende le funzioni di acquisizione dati auto-stitching e dati multi-area.
*2 Comprende analisi del profilo, analisi della differenza, analisi dell’altezza di passo, analisi della superficie, analisi di volume/area, analisi della rugosità lineare, analisi della rugosità dell’area e analisi dell’istogramma.
Microscopi laser Evident
Esempio di configurazione di OLS5100-SAF
- OLS5100-SAFTavolino motorizzato 100 mm
- Altezza massima del campione: 100 mm
OLS5100-EAF
- Tavolino motorizzato 100 mm
- Altezza massima del campione: 210 mm
- OLS5100-SMFTavolino manuale 100 mm
- Altezza massima del campione: 40 mm
- OLS5100-LAFTavolino motorizzato 300 mm
- Altezza massima del campione: 37 mm
Unità di controllo
Risorse
Note delle applicazioni
Insight
Video
OLS5100 - Smart Experiment Manager Tolerance Judgement
OLS5100 - Smart Experiment Manager Change Your Workflow On the Fly
OLS5100 - Workflow Automation with the Macro Function
Il microscopio a scansione laser LEXT™ OLS5100
OLS5100 Experiment Total Assist
OLS5100 Smart Scan II
OLS5100 Real-time Macro Mapping
