表面粗さ測定ーパラメーターを選ぶ

工業用顕微鏡

概要

凹凸の大きさを評価したい（Sq、Sa、Sz、Sp、Sv）
高さの分布を評価したい（Ssk、Sku、ヒストグラム）
目の細かさを評価したい（Sal、Sdq、Sdr）
方向性を評価したい（Std、Str、方向プロット）
周期性を評価したい（PSD）
支配的な形状成分を評価したい（PSD）
突起の数やその先端形状を評価したい（Spd、Spc）
摩耗前後の変化量を評価したい（Sk、Spk、Svk）

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