白色干渉対物レンズ
白色光干渉法における基準を確立
当社の白色干渉（WLI）ミラウ対物レンズは、正確な3D表面測定のための信頼性の高い高解像度データキャプチャを提供します。委託者ブランド製造業者（OEM）および研究者のニーズを考慮して設計されたこれらの光学系は、光学形状測定における幅広い用途にわたって、インライン測定とオフライン測定の両方に対応しています。
当社の白色干渉対物レンズの主な利点
- 広範囲な視野（FOV）でより多くのデータを取得
- 高い開口数（NA）による詳細な解像度
- 工場試験により一貫した性能を実現
高精度エンジニアリングや製造現場での作業で、これらの利点が効率を最大化して結果を加速させます。
従来のWLI 20X対物レンズ（NA 0.4）とEvidentの20X WLI対物レンズ（NA 0.6）で撮影した、Frensnelレンズサンプルの比較画像
従来のWLI 50X対物レンズ（NA 0.55）とEvidentの50X WLI対物レンズ（NA 0.8）で撮影した、Frensnelレンズサンプルの比較画像
複雑なサンプルの表面を正確に測定
滑らかな表面上の急こう配を正確に測定することは、従来の白色干渉法や共焦点光学系にとっての課題です。
最大0.8までのより高いNAを備えた当社のWLIミラウ型光学系は、より多くの光とより微細なディテールを捉えます。 このより高い開口数により、光学形状測定機が表面の変動や微細な特徴の精密な3D幾何学的測定を行うことが可能となります。
高精度3D測定の処理能力を向上
高精度測定領域を高解像度で拡張します。
当社の開口数の高い20Xと50Xモデルは、従来の50Xおよび100X WLI対物レンズと同じ表面勾配測定機能とラテラル分解能を備えており、これらと比較してそれぞれ最大6倍と4倍の視野を提供します。この広い視野により、画像を貼り合わせる必要性が減り、垂直走査干渉法（VSI）と段差測定の速度が向上します。
左：従来の50X対物レンズ（NA 0.55）で取得した2×2の貼り合わせ画像。右：EvidentのWLI 20X対物レンズ（NA 0.6）で取得した単一画像。
EvidentのWLI対物レンズ（左）には、固定ねじ（中央）と調節リング機構（右）が含まれています。
白色干渉法における変化する条件の常に一歩先を行く
測定精度は、温度による焦点ずれの影響を受ける可能性があります。当社の内蔵型干渉計パターン用温度補正調節リングは、温度変動時においても干渉縞のコントラストを維持し、これにより、より精密で信頼性が高く感度の高い表面計測が可能になります。
リングを縞コントラストの最も高い位置に調整するだけで、簡単に一貫した測定結果を得ることができます。
手間をかけずに精度を維持
振動が要因となる場合でも、作業を中断することなくストレスフリーで行うことができます。
4つの固定ねじ*が対物レンズの調節リングを所定の位置に固定することで、頻繁な微調整を行うことなく、精度の高い測定の実施に集中することができます。
各ねじは90度間隔で配置され、いずれもリングを固定するために使用することができます。外側のねじをスクリュードライバーで素早く締めるだけで、隣接する対物レンズを取り外す必要はありません。
*固定ねじは現在、10X、20X、50X対物レンズに取り付けられています。
信頼性の高い一貫した光学性能
各WLI対物レンズはセミアポクロマート式で、高品質な参照鏡により強力な縞コントラストと最小限の波面収差を実現します。各本体は工場試験済みであり、参照鏡の品質と波面性能を記録した2種類の詳細なデータシートが付属しています。
左：熱変化を調節前は縞なし。中央：リングを調節すると縞コントラストが生成。右：リング調節後の最大の縞コントラスト。
仕様
| 対物レンズ名称 | WLI10XMRTC | WLI20XMRTC | WLI50XMRTC | WLI100XMRTC |
| 補正 | 無限遠補正 | 無限遠補正 | 無限遠補正 | 無限遠補正 |
|
倍率 （焦点距離180 mmの結像レンズ付） |
10X | 20X | 50X | 100X |
| 開口数（NA） | 0.3 | 0.6 | 0.8 | 0.8 |
| 作動距離（WD）[mm] | 8.2 | 1.0 | 1.0 | 0.7 |
| 焦点距離 [mm] | 18 | 9.0 | 3.6 | 1.8 |
| 対物レンズ視野数（OFN） | 22 | 22 | 22 | 22 |
| イマージョン媒体 | 空気/乾燥式 | 空気/乾燥式 | 空気/乾燥式 | 空気/乾燥式 |
| スプリング式 | 該当なし | 該当なし | 該当なし | 該当なし |
| 干渉計パターン用温度補正調節リング | あり | あり | あり | あり |
| 調節リング固定ねじ | あり | あり | あり | なし |
| 色収差補正レベル | セミアポクロマート（FL） | セミアポクロマート（FL） | セミアポクロマート（FL） | セミアポクロマート（FL） |
| 同焦距離 [mm] | 45 | 45 | 45 | 45 |
| 後焦点面（BFP）[mm] | −3.2 | −8.8 | −4.8 | −3.0 |
| 外径（幅×高さ） | Φ 29.7 mm × 36.8 mm | Φ 29.8 mm × 44.0 mm | Φ 31.5 mm × 44.0 mm | Φ 29.0 mm × 44.3 mm |
| ねじ山サイズ | W 20.32 mm × 0.706 mm（RMS） | W 20.32 mm × 0.706 mm（RMS） | W 20.32 mm × 0.706 mm（RMS） | W 20.32 mm × 0.706 mm（RMS） |
| 保証された測定温度 | 23 °C ±1 °C | 23 °C ±1 °C | 23 °C ±1 °C | 23 °C ±1 °C |
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気温/湿度（保管時） （結露しない環境であること） |
0 °C ～ 40 °C / 20%～80% | 0 °C ～ 40 °C / 20%～80% | 0 °C ～ 40 °C / 20%～80% | 0 °C ～ 40 °C / 20%～80% |
| 使用可能な温度 | 15 °C ～ 30 °C | 15 °C ～ 30 °C | 15 °C ～ 30 °C | 15 °C ～ 30 °C |
| 使用目的 | 屋内使用 | 屋内使用 | 屋内使用 | 屋内使用 |