コンタミネーション解析専用システムCIX100：

顕微鏡検査のワークフローを工業規格に沿ってトータルにサポート

自動車などの安全性や耐久性、品質向上に伴いコンタミ管理の重要度が増しています。フィルターでろ過した付着異物を従来の計量 (重量法) のみで評価するだけでは、製品の機能や性能、信頼性のキーとなるパーツやユニット、液体の品質を管理することは難しくなってきています。

最近は顕微鏡などで捉えた微小異物を粒子としてカウントし、クラス分類の結果を基に分析する『顕微鏡法』の必要性が高まっています。この手法は既に各種の工業規格で、検査条件やクラス分類の方法が明示されており、検出粒子の数などによって工程管理が行えます。さらに、より厳密なコンタミネーション管理や問題の原因特定には、粒子サイズの分布や組成などの解析も求められます。高い信頼性と高速性を両立したCIX100を使えば工業規格に沿った顕微鏡検査や検査結果のレビュー、レポート出力が、オペトレ不要な簡単操作で行えます。さらにディープラーニングAI技術を活用した画像解析により粒子分類の機能を拡張します。

コンタミネーション解析の標準プロセス：準備（ステップ1～3）および調査（ステップ4～6）

操作性

検査プロセスに特化したユーザーインターフェース。サンプルをセットしたら顕微鏡に触れる必要がなく、検査開始から異物のレビュー、レポート出力までソフトウェアだけで最小限の操作で行えます。

• 検査プロセスに特化したユーザーインターフェース
• 電動ユニットを採用し操作のすべてが画面上で完結
• 対象の規格を選択するだけで検査条件の設定が完了
• マテリアルソリューションを備えた顕微鏡モード（オプション）による機能拡張が可能
• 画像解析にディープラーニング技術を活用したCIX100 TruAIソリューション

レビュー

CIX100でスキャンしたサンプルはデータに自動保存され検出したコンタミネーションをライブラリ表示、結果のレビューを行うができます。また、同じサンプルを別の工業規格で評価したい場合は、画面上で規格を変更するだけで結果出力が可能です。

• ライブラリから検出したコンタミネーションが選択可能
• 規格で決められた粒子サイズのランク別に一覧表示可能
• 選択した粒子解析は高さ測定などで詳細解析が可能

1. 保護カバー

カメラをカバーで保護することにより、位置ズレを防止。セットアップ時の調整状態を維持します。

2. 当社独自の特殊な偏光観察モード

1回のスキャンで金属粒子と非金属粒子を同時に検出します。

3. 電動ユニット

電動フォーカスユニットで高い位置決め再現性を実現します。

4. 耐久性（ステージ／ステージインサート）

ステージ上の専用サンプルホルダーで決まった位置に検査サンプルのメンブレンフィルターを固定できます。

5. UIS2対物レンズ

光学性能で最も重要な収差のバラつきが少ないUIS2対物レンズを搭載。

6. ユーザーインターフェース

ユーザーインターフェースはワークフローに応じて必要な機能だけを表示するように階層化されています。オペレーターは知識や経験がなくても操作で迷ったりミスすることはありません。

7. 専用ソフトウェア

画像貼り合わせや粒子検出、分類などの画像処理で先進のソフトウェア技術を駆使し信頼性の高い検査結果を得ることができます。

高い再現性と繰り返し性を実現

CIX100システムは使い方が簡単なので、経験の浅い検査官でも信頼性の高いデータが得られます。

設定済みで最適化されたハードウェアと専用のシステムソリューションにより、ユーザーは正しく設定することができ、再現可能な検査結果が得られます。

この図は、工程性能指数（PPk）を使用して測定安定性と繰り返し性を検証することで、CIX100の精度を示します。同一サンプルを5倍と10倍の倍率で10回測定し、標準サイズクラスの粒子数を抽出しました。図は、クラスE（50～100 μm）に対するCpkとPpkの評価を示します。

高い光学性能

CIXが採用した工業顕微鏡の筐体は実体顕微鏡とは異なり、計測に適した高解画像の撮像が可能なだけでなく、ピント位置がずれた時に測定結果がばらつかない光学系を搭載しています。さらに、高品質UIS2対物レンズや高解像度カメラ、光学コンポーネントなどの組み合わせによって高品質の検査画像を得られます。

検査結果の安定性を実現

ステージ上にセットできる粒子標準デバイスを用いた定期確認で検査結果の安定性を実現します。

検査条件の設定ミスを防止

光路の補正、電動レボルバー、そしてカメラをカバーで保護することにより、望ましくないズレを防止します。保護カバーによってシステム間で機差がない調整されたカメラに触れることがないため、誤った補正を防止して高い再現性を維持します。

ウィンドウにタスクバーのないフルスクリーン表示により、最大スペースが得られることでオペレーターの操作効率が高まります。

検査プロセスに特化したユーザーインターフェース

コンタミ解析専用システムのCIX100は検査プロセスの検査前準備～検査～結果レビューといったワークフロー全体で快適な操作環境を提供することが出来ます。サンプルをセットした後は、本体に触れることなく画面のガイダンスに従って操作するだけでフィルター全体の検査が完了します。

検査プロセスに特化したユーザーインターフェース

電動ユニットを採用し操作のすべてが画面上で完結

対象の規格を選択するだけで検査条件の設定が完了

マテリアルソリューションを備えた顕微鏡モード（オプション）による機能拡張が可能

直感的なインターフェース

説明なしでも使いやすいユーザーインターフェースにより、不慣れなオペレーターでも数クリックで完全な検査が可能。毎日の検査と処理の時間を最小限に抑えられます。

キャリブレーション

必要最小限の設定で定期校正を実施することができます。また、前回の実施時期が表示されているので、定期校正を忘れることを防止します。

ディープラーニング技術による画像解析

TruAIディープラーニング

CIX100は、TruAIディープラーニング技術を活用した、従来のアルゴリズムを越えた画像解析が可能です。学習データを測定したい画像に適用することで、より検出安定性の高い解析が可能になります。CIX100 TruAIソリューションでは、検出された粒子を粒子タイプ（反射と非反射など）で区別できます。

TruAIディープラーニングの詳細はこちら

保存と共有

すべてのデータは自動的に保存されます。アーカイブされたすべての標本、その関連データ、レポートに直接アクセスして、編集や情報の配布ができます。

左：システムを熟知したパワーユーザー向け設定例（ハードウェア再調整、ユーザー権限設定以外の操作が可能）

右：ルーチン作業を行うオペレーター向けの設定例

必要な作業に集中できるユーザー管理機能

CIX100では３つレベルのユーザー権限を管理できます。システム管理者はオペレーターレベルに応じて必要な機能を自由に割り当てることができます。パワーユーザーにはほぼすべてのシステム設定にアクセスできる権限を持たせたり、経験の少ないユーザーには基本的なワークフローにしかアクセスさせない、といったことも可能です。オペレーターは迷ったり、誤っりすることなく必要な機能の操作に集中できるので、検査作業自体の生産性が高められるだけでなく、作業者のレベルによらず信頼性のに高い検査結果を得ることができます。

タッチパネルに対応

CIX100ソフトウェアはボタンが大きく、効率的なタッチパネルでの作業に適しています。

検査条件の設定ミスを防止

検査で使用するすべてのパラメーターを指定します。このパラメーターには、粒子の特徴づけのルールや粒子群とタイプの設定などが含まれます。

検査領域全体のオーバービューや判定結果の表示など検査中に必要な情報が一目瞭然に確認できます。

圧倒的なスピードで高感度検出

CIX100は高い光学技術とハイスピードな電動ステージ、コンタミネーション解析専用のアルゴリズムなどにより、検査基準の厳しい工業規格でも高速かつ安定した検査結果を得ることができます。さらに検査によるステージ動作中でも、コンタミ解析結果がリアルタイムで反映されます。そのため検査の途中にNGとなった場合は途中で検査を終了し、次のサンプルに交換することで検査全体の効率化を図ることが可能です。

金属異物と非金属異物を1度のスキャンで検出

観察視野からはみ出す粒子は自動貼り合わせ機能により1つの粒子としてカウント

オーバービュー機能によりフィルター全体のコンタミネーション結果がマッピング表示可能

工業規格・社内規格に基づいた検査結果の確認が可能

検出および解析時に表示される粒子。

青い色はこの粒子が、反射を起こす金属であることを示します。

レビューモード中に見られる粒子。

U-ANTフィルターと色補正モードにより、実際の色合いに近い表示が行え、粒子の種類の判断に役立ちます。

オーバービュー表示で検出粒子を確認

標本のオーバービュー画像は、その標本の検査開始時に作成され、フィルター全体が低い倍率で表示されます。オーバービュー画像により、検査の開始前にフィルターのカバレージや粒子のクラスタリングを識別できます。

フィルターの割り当てが必要以上に高い場合、ユーザーに自動的に通知されます。

検査条件の表示

工業規格や社内の業務標準などを含めた検査条件を表示します。

検査結果表示

クラス分類ごとに検出した粒子が設定した合否判定閾値を超えているか検査中に確認できます。

CIX100 v. 1.6ソフトウェアでは、電気自動車や医療機器業界で必要とされる個々の粒子タイプの承認限界を評価することができます。

CIX100は大きな粒子の画像を自動的に再構築できます。

スキャン範囲を超えた粒子も検出可能

工業規格に準拠して2.5μm～最大42mmの範囲で、最小および最大粒子をライブで処理およびクラス分類します。

検査の残り時間

検査処理の終了までの残り時間を表示します。

粒子と分類テーブル、全体のCCC (Component Cleanliness Code) コード、粒子の位置、使用されている規格が 1つのビューに表示されます。

直感操作と多彩な機能で効率的にレビューできます

CIX100でスキャンしたサンプルはデータに自動保存され検出したコンタミネーションをライブラリ表示、結果のレビューを行うができます。また、同じサンプルを別の工業規格で評価したい場合は、画面上で規格を変更するだけで結果出力が可能です。

• ライブラリから検出したコンタミネーションが選択可能
• 規格で決められた粒子サイズのランク別に一覧表示可能
• 選択した粒子解析は高さ測定などで詳細解析が可能

例えば反射する粒子や反射しない粒子など、あらゆる種類の粒子を大きい順に並べて表示します。

詳細な解析が可能

検査処理で取得した各粒子の画像を選択するだけで、高さ計測結果が分かる自動計測モードやフィルターの基準面からフォーカス移動を行い粒子のピント位置を指定するマニュアル計測モードでも計測可能です。

スピーディーな解析

粒子の位置、サムネイル、データが相互にリンクしているため、さまざまな角度からアプローチできます。

統計解析

検査データを基に統計管理を行うことで分析結果の傾向把握ができます。

スナップショットと簡易計測

任意の粒子の画像を撮影することができ、画面内で簡易計測ができます。

あらゆる種類の粒子（反射粒子や非反射粒子）を大きい順に並べて、画像を表示できます。

簡単なデータレビュー

コンタミネーションのサムネイル画像は、それぞれの位置や寸法にリンクしているため便利です。サムネイルを選択すると、自動的にそのコンタミネーションに飛ぶことができます。

選択した規格に応じて、クラス分類と粒子の表に結果が一覧表示されます。

信頼性の高い結果

選択した規格と粒子データに応じて、クラス分類と粒子の表に結果がそれぞれ一覧表示されます。

レビュー結果表示

選択した規格に準拠してライブで計算され、全体のコンタミネーション解析結果が表示されます。

必要に応じて、粒子タイプを限定することができます。

レビュー条件の選択

結果はマウスをクリックするだけで、あらゆる規格に合わせて再計算できます。

迅速で簡単な画像編集機能

オペレーターは自分の検査データを簡単に編集できます。削除、分割、統合などのパワフルなソフトウェアツールにより、簡単にデータの編集ができます。

高さ計測でさらに詳細な解析が可能

検査処理で取得した各粒子の画像を選択するだけで、高さ計測結果が分かる自動計測モードやフィルターの基準面からフォーカス移動を行い粒子のピント位置を指定するマニュアル計測モードでも計測可能です。

工業規格や社内の業務標準に準拠したレポート

規格に準拠したレポート出力や先進のデータ共有

CIX100はドイツ、フランスを含めた各種グローバルな工業規格に対応したレポート作成が可能です。社内の業務標準に対応するためのカスタマイズや多拠点の共有だけでなくなども容易なテンプレートを利用したレポート作成も可能です。また、過去に検査した結果データの検索、再レビューやそれに伴うレポートの再編集なども簡単な操作で行うことができます。

• コンタミ解析に関する、ISO、NF、VDAなどの規格に対応
• レポートテンプレートはMS-Word形式
• レポート出力はMS-Word/PDF形式を選択可能
• データ容量を最適化する専用のデータストレージ搭載

既に作成済みの添付テートリストから選択するだけ

工業規格や社内の業務標準に準拠したレポート

CIX100のスマートで洗練されたレポート作成ツールでは、初期設定のテンプレートを利用することによって経験の浅いオペレーターでも短時間でプロ仕様のレポートを作成できます。利用可能なすべてのテンプレートが明確に表示されます。

効率的なレポート作成

従来、レポート作成には、画像の撮像や測定より手間が掛かることがありました。CIX100でレポート作成するには画面に表示されるリストから必要な工業規格のテンプレートを選択するだけ。特に知識や経験がなくてもスマートで洗練されたレポートを迅速、簡単に繰り返し作成できます。編集も簡単で、レポートはMS WordやPDFに保存できます。

サポートされる出力フォーマットには、MS Word、PDF、Excelなどがあります。

複数の出力フォーマットを選択可能

レポートのエクスポートもマウスをクリックするだけで簡単です。オペレーターは用途や必要性に合わせて、MS WordやPDFのフォーマットなどレポートのエクスポートを選べます。

プロセスモニタリングにも利用

プロセスのモニタリングや結果の再確認など検査データやレポートは一定期間、保存する必要があります。CIX100はこれらのデータを圧縮して保存できるのでより長い期間システム内にデータを保持できます。

サンプル情報

レポートには検査条件やサンプルの情報など必要なデータを出力することができます。

工業規格に準拠

レポートには、工業規格に準拠したクラス分類に基づいた検出粒子数など詳細結果の出力も可能です。

見やすいページレイアウト

直観的なページレイアウトで印刷や電子データのレビューも効率的です。検出した粒子は大きい順に並べて出力されます。