STM7 Measuring Microscope
STM７は様々な用途に対応する3軸の高性能測定機です。機械部品や電子部品などをサブミクロンレベルで測定します。測定サンプルが小さくても、大きくても。測定内容がシンプルでも、複雑でも。測定者が初めて使う人でも、使いなれた人でも。"あなた"の測定に“フィット”する測定顕微鏡。それがエビデントのSTM7シリーズです。
STM7
概要
目的に合わせてフィットする
測定顕微鏡
測定サンプルが小さくても、大きくても。測定内容がシンプルでも、複雑でも。測定者が初めて使う人でも、使いなれた人でも。「あなた」の測定に「フィット」する測定顕微鏡。それが当社のSTM7シリーズです。
顕微鏡としての観察性能
最先端の光学顕微鏡に搭載されるUIS2無限遠補正光学系を採用。高解像・高コントラスト、収差を徹底的に排除した観察像が微細で高精度な測定をサポートします。
STM7-LF FEM解析
測定値の信頼性を高める石定盤ベースの台座
ステージには測定精度を追究した、石定盤ベースの高剛性・高耐震性台座を採用しました。重量のある安定したフレームボディが、誤差の少ないサブミクロンの高精度測定を実現しています。
使い易く高精度な3軸測定を提供
モノづくりの微細化・精密化が進むなか、XYの平面測定にとどまらず、高精度なZ測定が必要とされています。測定顕微鏡のために追従式によるオートフォーカスを実現した当社は、高さ測定のパイオニアとして、その性能にさらに磨きをかけています。
- オリンパス（株）試験評価センターではILAC-MRA校正認定機関（JCSS, JAB）から認定された校正証明書を発行しています。
- トレーサビリティー体系図は発行時の状況および、国や地域によって記載内容が変わります。また、STM7の校正作業に使用するサンプルはそれぞれの国や地域で校正されます。詳細については当社にお問い合わせ下さい。
国際規格のトレーサビリティ体系
当社の測定顕微鏡は厳格なトレーサビリティーの基に精度管理されています。設置場所での校正についても、当社がサポートいたします。 当社ではILAC-MRA校正認定機関（JCSS、JAB）から認証された校正証明書を発行しています。
推奨モデル
全機種最小分解能0.1μmの3軸測定に対応した
5つのモデル
| STM7-SF | STM7-MF | STM7-LF | STM7-MFA | STM7-LFA | |
| Z軸駆動方式 | 手動 | 手動 | 電動 | ||
| 標準 | BF または BF / DF | BF または BF / DF | BF または BF / DF | ||
| オプション | DIC / POL | DIC / POL | DIC / POL | ||
| 測定対物レンズ 明視野 |
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| フォーカスナビゲーター STM7-FN |
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| オートフォーカス STM7-AF |
－ | － |
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| 測定支援ソフトウェア STM7-BSW |
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| 測定支援ソフトウェア （貼合わせ・拡張焦点） STM7-ASW-ME |
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観察方法
BF: 明視野
DF: 暗視野
DIC: 微分干渉
POL: 偏光
操作性
サンプルにフィットするステージ
従来のお困り事
- 測長ストロークが足りないので、大型サンプルを測定することができない
- Y方向の測長ストロークがX方向よりも短いためにサンプルを回転させて測定しなければならず、手間がかかる
- 測長可能範囲が狭いため、複数のサンプルをステージに並べて一度に測定することができない
STM7が解決します
- 正方形のステージを3タイプ用意しました。小型から大型サンプルまで、大きさに合わせて選択できます。クラッチ方式の採用により粗微動をすばやく切り換えることができます
- Ｘライン上やＹライン上のスピーディなステージ送り、ＸＹ平面上の自在なステージ送りが可能になります
- 正方形の300mmステージなら、300mmウエハやプリント基板などの大型サンプルも、X軸とY軸の測長ストロークが同じなので向きを変えずに測定できます
最大測長ストローク300mm x 300mm
正方形のステージを3タイプ用意しました。小型から大型サンプルまで、大きさに合わせて選択できます。
STM7-CS100
100 mm x 100 mm
STM7-CS200
200 mm x 200 mm
STM7-CS300
300 mm x 300 mm
一台の顕微鏡で測定対物レンズ、金属対物レンズに対応
従来のお困り事
- ほとんどの測定顕微鏡は測定対物レンズ専用、もしくは金属対物レンズ専用で、1台で幅広い観察の要求に応えてくれる測定顕微鏡がなかった
STM7が解決します
- 測定対物アダプタで測定対物レンズ、レボルバで金属対物レンズの使用が可能。一台の測定顕微鏡で測定対物光学系、金属対物光学系に対応できます。段差の大きな測定か、広範囲か微小領域の測定か、観察方法をどうするかなど様々なニーズにSTM7が柔軟に対応します
測定対物レンズ
サンプルと対物レンズの接触を気にせずに、凹凸の大きいサンプルも安心してピント合わせができる作動距離が極めて長い対物レンズです。倍率が低いので、一度に広い範囲を観察することができます。
明視野画像
暗視野画像
金属対物レンズ
光学顕微鏡と同様の高倍率・高解像度観察が可能になります。明視野のほかに暗視野、微分干渉、偏光観察に対応できます。
操作性を大きく向上させる革新的なオペレーションユニット
従来のお困り事
- 機能を追加すると操作部が転々と散らばって、効率的な測定ができない。操作にも迷う
- 操作部や電源部が本体周辺に散らかっていて、貴重な作業空間が確保できない
STM7が解決します
- ほとんどの測定顕微鏡の操作は手元のオペレーションユニットで完結するため効率的な測定が可能になります
- 様々な機能を追加しても本体の周辺には1つの操作部と1つの電源部。机上の作業空間も広く確保できます
オペレーションユニット
STM7は様々な機能を追加しても、１つのオペレーションユニットで、カウンタリセット、調光、焦準、AFなど測定顕微鏡のほとんどの操作が可能になります。自由に配置して片手で快適に操作してください。
手動操作用ハンドスイッチ：STM7-HS
電動操作用コントローラ：STM7-MCZ
コントロールユニット
各ユニットの電源、通信を1台のコントロールボックスに集約できます。フォーカスナビゲータなど様々なオプション機能を追加しても広い作業空間を確保できます。
Z軸は手動タイプと電動タイプをラインアップ
ピント合わせのための上下動操作は、手動タイプと電動タイプが用意されています。ステージサイズに左右されることなく、サンプルや測定内容に応じて好みのモデルを選択できます。すべてのフレームにZ軸のリニアスケールが内蔵され、3軸測定に対応します。
手動Z軸タイプ
コストパフォーマンスに優れたスタンダードタイプ。使い慣れたハンドル操作で、スピーディに上下動作を行うことができます。様々な高さのサンプルを測定するユーザーに向いています。
電動Z軸タイプ
手元のオペレーションユニットでピント合わせや高さ測定が行えるため、操作性が大幅に向上し、作業時の疲労も大幅に軽減されます。手動同様の粗微動ハンドルにより、使い慣れた感触で操作ができます。 電動Z軸タイプはオートフォーカスユニットの搭載が可能です。
観察・測定の効率性を大きく向上する ライトマネージャー
従来のお困り事
- 従来の測定顕微鏡に採用のアナログのボリューム調整では、設定した明るさを定量的に把握できなかった。同じ照明条件での測定ができないため、測定値のバラツキに繋がることもあった
- 従来の測定顕微鏡では、対物レンズを切り換えるたびに照明の明るさを調整する必要があるため、非効率であった
STM7が解決します
- STM7は明るさを定量的に把握できるので、常に同じ条件で観察・測定できます
- コードレボルバと組み合わせてライトマネジャーを用いれば、対物レンズを切り換える毎に設定しておいた照明方法や明るさに自動調整されます。都度の手間がかからず効率的です
明るさを定量的に把握できるデジタル表示
STM7は、測定値のバラツキに繋がる照明の明るさをデジタルに表示します。明るさを定量的に把握することができるので、常に同じ照明条件で観察することが可能です。
対物切換時の明るさ調整不要
コードレボルバとの組合せではライトマネージャーが使用できます。対物レンズ毎に照明の方法と明るさを登録でき、測定時は対物レンズの切り換えに連動して自動的に照明方法・明るさが調整されます。倍率を切り換える度に行っていた明るさ調整をする必要がなくなります。
5x 明るさ50
20x 明るさ70
100x 明るさ120
使いやすい位置にカウンタを配置して、測定結果や装置の状態を素早くチェック
従来のお困り事
- 照明などの状態や測定数値は、個別のユニットを確認しなければならず、作業が煩雑になっていた
STM7が解決します
- STM７のカウンタ表示部は、設定した顕微鏡状態を測定値と一緒に表示。状態を一目で把握できます
現在の設定状態が一目で確認できるカウンタ
カウンタには装置の状態を示すインジゲータが付属しているので、現在の装置の設定状態を簡単に認識することができます。 0.1μm/1μmの最少表示桁数の切り換えやmm、μm、inch、milの表示単位切り換えが行えます。
本体取付時
机上配置時
カウンタは取り外して自由に配置可能
カウンタは本体に設置することも、机上に配置することもでき、状況に応じて自由な配置が可能になりました。立ったまま測定する場合は本体側面の観察位置とほぼ同じ高さの見やすい位置にカウンタを配置。デジタルカメラを介したモニタ上での観察・測定を行う場合や、Z電動モデルを使用する場合は、カウンタやオペレーションユニットを机上において、椅子に座りながら作業することができます。
高さ測定
目視での高さ測定を素早く、シンプルに、より正確に行えるフォーカスナビゲータ
従来のお困り事
- 目視による高さ測定では、オペレータレベルでのバラツキが結果に現れる。測定に時間もかかり、非効率である
STM7が解決します
- オペレータによる高さ測定結果のバラツキを抑えることができるフォーカスナビゲータは測定時間も短縮でき、効率的な高さ測定を行うことができます
再現性に優れたシンプルで精確なフォーカスシステム
視野内にパターンを投影し、上下パターンのズレを合わせることで、繰り返し性の良い高さ測定が可能になります。通常の目視による高さ測定では、ピントが合っているように見えても僅かな誤差が生じます。フォーカスナビゲータは指標を合わせる測定をするので、オペレータによる測定結果のバラツキを抑えることができます。STM7はプリズムによる上下の像がズレる方式ではなく投影された指標のみがズレるので、見やすくピント合わせが容易です。
より高速で正確な高さ測定に貢献するオートフォーカスユニット
従来のお困り事
- 目視による測定では、高さ測定の結果がオペレータによってバラつく
- マニュアルでの高さ測定では「ステージを動かしハンドルでピントを合わせる」の繰り返し作業が必要。測定時間が掛かり非効率
- ボンディング用ワイヤのように微細な対象物の場合、ピント合わせが難しい
STM7が解決します
- オートフォーカスユニットを使用する事で、誰が測定しても精度が高い値が得られます
- 常に自動でピントを合わせてくれるTRACKモードを選択すれば、短時間で効率的な高さ測定を実現します。またXY測定の際もピント合わせが不要になるので効率的に作業ができます
- 100×対物レンズ使用時でのレーザーのスポット径がø1μmと小さいため、極めて微細なものに局所的にオートフォーカスすることができます
再現性、合焦スピードに優れた 専用オートフォーカスユニット
STM7専用オートフォーカスユニットの開発により、オペレータの経験に関わらず、短時間で高精度な高さ測定が可能になります。反射アクティブﾞ・共焦点方式は、サンプルの傾き・表面の粗さ等に対しても安定した合焦が得られます。レーザーのスポットが小さいので、ボンディングワイヤのような極めて微細なものや微小領域に局所的にオートフォーカスすることができます。
ラフなピント状態からオートフォーカス実行で視野中心に瞬時にピントを合わせます。
ステージを動かしてもサンプルの凹凸にオートフォーカスが自動で追従し、ピントの合った状態を常にキープするTRACK（追従）モードを搭載。X・Yハンドルから手を離さずに観察できるなど、Ｚ軸測定の効率を大幅に向上させます。大きい段差などで追従の捕捉範囲を超えても、手でピントを捕捉範囲内に戻せば、再び自動でピント合わせを開始します。
計測支援システム
複雑な形状の測定もより正確に、より高速に、より簡単に
測定支援システム
測定顕微鏡のアウトプットを表示する部分だからこそ、より見やすく、より使いやすく。より高精度、より複雑な測定をサポートする測定支援ソフトウェアSTM7-BSWとSTM-ASW-ME、そしてデジタルカメラを用意しました。
観察・測定の幅を広げるアクセサリ
コード機能付きレボルバ
対物レンズの倍率に連動してキャリブレーション値の読み出しや明るさ調整が可能です。明視野対物レンズ専用と明暗視野対物レンズ専 用の2種類をご用意しています。
STM7-FS/フットスイッチ
ハンドフリーでデータ転送を行えます。
SZ-LW61/白色LED照明ユニット
チラツキや明るさの変動が無く長寿命・省電 力・小型軽量、コストパフォーマンスの高い白色LED光源ユニット。
SZX2-ILR66+SZX-RHS/4分割LED照明装置
高い色温度でクリアな画像を提供する落射 LEDリング照明（SZX2-ILR66）を、4分割に独立して点灯可能。13パターンから、最適な照明を選ぶことができます。
回転ステージ
微動回転つまみによりサンプルの平行出しを正確に行なえます。
STM7-RS100
(STM7-CS100用)
STM7-RS200
(STM7-CS200用)
STM7-RS300
(STM7-CS300用)
仕様
STM7仕様（手動モデル）
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※1 大型本体STM7-LF/STM7-LFA使用時、光軸から180mm以上奥まった位置では高さ100mm以下の測定物が搭載可能
対物レンズ作動距離
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測定支援システム仕様
| コントローラ | オペレーティングシステム | Microsoft Windows 10 Pro/Pro for Workstations（64bit） | ||
| ソフトウェア | 測定支援ソフトウェア STM7-BSW （貼合わせ・拡張焦点オプションソフトウェア STM7-ASW-ME） |
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| 動作確認済みアプリケーション※1 | Microsoft Office 32bit（STM7-BSW Ver.1.3.3 以前） Microsoft Office 64bit（STM7-BSW Ver.1.4.1 以降） 2013/2016/2019/2021/365(SAC) |
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| モニタ | WUXGA（1980 x 1080）LCDモニタ | |||
| 対応カメラ | 型式 | DP28 | DP23 | STM7-CU |
| 撮像素子 | 1型カラーCMOS | 1/1.8型カラーCMOS | 1/2型カラー CMOS | |
| 画像サイズ | 4104 x 2174 | 3088 x 2076 | 2048 x 1536 | |
| フレームレート | 15fps（最大） | 25fps（最大） | 11.2fps（最大） | |
| インターフェイス | USB3.1 Gen1 | USB3.1 Gen1 | USB2.0 | |
| カメラヘッド質量 | 約380g | 約380g | 約41g | |
※1 Microsoft Office 2013/2016/2019/2021/365(SAC) は別途ご用意ください。
STM7仕様（電動モデル）
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※1 大型本体STM7-LF/STM7-LFA使用時、光軸から180mm以上奥まった位置では高さ100mm以下の測定物が搭載可能
オプション
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※1 ソフトウェアのバージョンによってサポートしているカメラが異なります。
STM7-BSW Ver1.3.3以前：STM7-CU
STM7-BSW Ver1.4.1.以降：DP23/DP28