AL120 Wafer Loader
低コストのバックエンド検査に最適なAL120-12ウェハローダは、FOUPオープナー（Load Port）とFOSBの両方に対応する半導体検査用顕微鏡です。安全で人間工学に基づく設計により、オペレーターの安全を維持しながら、ウエハ条件（薄ウエハ、反ウエハ）に影響されない搬送を実現し、後工程の本質を追及した高い信頼性と安全性を提供します。
概要
AL120-12はFOUPオープナー（Load Port）対応とFOSB対応の2種類をラインアップに持つ300mmウェハローダです。ウェハ条件（薄ウェハ、反ウェハ）に影響されない搬送を実現し、後工程の本質を追及した高い信頼性と安全性を提供します。
イージーオペレーション
- 自由に設定できる検査モード、後工程向け専用に操作性を考慮した装置デザインなど、使い勝手を重視しました。
- FOUPオープナー（Load Port）対応とFOSB仕様の2機種をラインアップしています。
- 半導体顕微鏡MX61Lと組み合わせで高分解能、高品質の観察を実現します。
- 検査装置中心に配置した操作ユニがエルゴノミーで快適な操作が可能です。
高い信頼性、操作性能の継承
- 前機種で得た信頼性と安全性を継承し、安全に300mmウエハの自動検査が可能です。
- ウエハ条件（薄ウエハ・反ウエハ）に影響されない搬送系を実現しました。
仕様
| 300mmウエハローダ AL120-12 仕様 | ||
| AL120-LMB12-LP3 | AL120-LMB12-F | |
| ウエハサイズ | 300mm（SEMI M1.15 t=775μm）オプション：200mm | |
| カセット | ●FOUP（Front Opening Unified Pods） ●SEMI：E47.1-0200 規格品 ●FIMS-FOSB, FOSB |
●FOSB（Front Opening Shipping Box） ●SEMI：M31-0999規格品 |
| カセット数 | 1カセット（ロード、アンロード兼用） | |
| カセット設置高さ | 900 mm | |
| ロードポート | あり | なし |
| 搬送シーケンス | 表面マクロ、裏面マクロ、顕微鏡検査 | |
| 検査モード | 全数検査、抜取検査 | |
| ウエハアライメント | 非接触センタリング | |
| ウエハ搬送方式 | 真空吸着メカニカル搬送 | |
| 適合顕微鏡 | 半導体検査顕微鏡MX61L | |
| ユーティリティ | AC100V-120V, 220-240V 3.0/1.7A 50/60Hz 真空-67kPa ～-80kPa 圧空0.5MPa～0.6MPa |
AC100V-120V, 220-240V 3.0/1.7A 50/60Hz 真空-67kPa ～-80kPa |
| ステージ | ＸＹ手動吸着ステージXY粗微動、360度回転機構付き | |
| 質量（顕微鏡を除く） | 約360kg | 約270ｋg |
カタログ･ビデオ･その他資料
カタログ・マニュアル
カタログ
https://evidentscientific.com/ja/downloads/brochures?product=al120-12
マニュアル
https://evidentscientific.com/ja/downloads/manuals?product=al120-12