AL120 Wafer Loader

低コストのバックエンド検査に最適なAL120-12ウェハローダは、FOUPオープナー（Load Port）とFOSBの両方に対応する半導体検査用顕微鏡です。安全で人間工学に基づく設計により、オペレーターの安全を維持しながら、ウエハ条件（薄ウエハ、反ウエハ）に影響されない搬送を実現し、後工程の本質を追及した高い信頼性と安全性を提供します。