USPM RU W分光測定機
EvidentのUSPM-RU-W NIRマイクロ分光測定機は、可視光から近赤外線まで幅広い波長領域にわたって高速かつ正確な分光測定を行います。通常の分光測定機では測定できないごく狭い領域や曲面の反射率を簡単に測定できることから、USPM-RU-Wは光学素子や微小な電子部品の分析に最適です。
USPM-RU-W 工業用顕微鏡
充実の分光測定機能
反射率、膜厚、物体色、透過率、入射角45度の反射率といった様々な分光測定をこの一台で可能とします。
反射率測定
対物レンズで集光したø17～70μmの微小スポットの反射率を高速・高精度に測定するため、微細な電子部品やレンズなどの曲面測定に最適です。回転ステージを使用すると、レンズ周辺部の反射率測定も簡単にできます。
反射率測定例：レンズ
反射率測定例：レンズ周辺部
膜厚測定の画面例
膜厚測定
反射率データを活用して、約50nm～約10μmの単層膜、多層膜の膜厚測定を行います。
物体色の測定画面例
物体色測定
反射率データからXY色度図、L*a*b*色度図、および関連する数値を表示します。
透過率測定 (オプション)
ステージ下部からφ2mmの平行光を透過させることで、平面サンプルの透過率を測定します。偏光素子ユニットをつけるとP偏光・S偏光測定にも対応します。
透過率測定光路イメージ
入射角45度の反射率測定（オプション）
φ2mmの平行光を、側面から45度面に反射させ、反射率を測定します。偏光素子ユニットをつけるとP偏光・S偏光測定にも対応します。
45度反射率測定光路イメージ
曲面・微小エリアの高速・高精度測定を実現
光学系イメージ
高速測定を実現
フラットフィールドグレーティング及びラインセンサを用いた全波長同時分光測定により、高速測定を実現します。
反射率測定イメージ
微細部品、レンズの反射率測定に最適
ø17～70μmの測定エリアで非接触測定を可能にする専用対物レンズを新たに設計しました。通常の分光光度計では測定できない、微細な電子部品やレンズなどの曲面でも、再現性の高い測定を実現します。
裏面反射光カットの原理
反射率測定時の裏面反射防止処理は不要
専用対物レンズと輪帯照明の組み合わせにより、被検物裏面の反射防止処理を行わずに最薄0.2mmの反射率*を測定します。
*40×対物レンズ使用時、当社測定条件での測定。
選べる膜厚測定方法
測定された分光反射率データから単層膜や多層膜の膜厚解析を行います。用途に応じて最適な測定法を選択できます。
ピークバレー法膜厚解析経過情報例
ピークバレー法
測定された分光反射率値のピーク及びバレーの周期性から膜厚を算出する方法で、単層膜測定に有効です。複雑な設定が不要のため、簡単に求めることができます。
フーリエ変換法膜厚解析経過情報例
フーリエ変換法
測定された分光反射率値の周期性から膜厚を算出する方法で、単層膜及び多層膜測定に有効です。
ピーク及びバレーの検出が困難な場合などに、ノイズの影響をほとんど受けずに解析できます。
カーブフィット法膜厚解析経過情報例
カーブフィット法
測定された分光反射率値と、ある膜構造で計算された反射率の差が最小となる構造を推定することにより膜厚を算出する方法で、単層膜及び多層膜測定に有効です。
ピーク及びバレーの現れない薄い膜の解析もできます。
多様なアプリケーション
多様化する測定ニーズに高速、高精度にお応えします。
球面・非球面のレンズ、フィルタ、ミラーなどの光学素子の反射率測定によるコーティング評価、物体色測定、膜厚測定に。
デジタルカメラレンズ
プロジェクタレンズ
ピックアップレンズ
メガネレンズ
LEDリフレクタ、半導体基板などの微小電子部品の反射率測定、膜厚測定に。
LEDパッケージ
半導体基板
平面光学素子、カラーフィルタ、光学フィルムなどの反射率測定、膜厚測定、透過率測定に。
液晶カラーフィルタ
光学フィルム
プリズムやミラーなどの45度入射による反射率測定に。
プリズム
ミラー
仕様
近赤外線顕微分測定機 USPM-RU-W：仕様
| 反射率測定 | 透過率測定*1 | 45度反射測定*1 | ||
| 名称 | 近赤外顕微分光測定機 | 近赤外顕微分光測定機用 透過測定セット |
近赤外顕微分光測定機用 45度反射セット |
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| 型式 | USPM-RU-W | |||
| 測定波長 | 380～1050nm | |||
| 測定方法 | リファレンス試料に対する比較測定 | 100%の基準に対する透過率測定 | リファレンス試料に対する比較測定 | |
| 測定範囲 | 下記対物レンズ仕様を参照 | 約φ2.0mm | ||
| 測定再現性(3σ) *2 | 反射率測定 | 対物レンズ10x、20x 使用時 | ±0.02[%]以下（430-1010nm） ±0.2[%]以下（上記以外） |
±0.3[%]以下（430-1010nm） ±1.0[%]以下（上記以外） |
| 対物レンズ40x 使用時 | ±0.05[%]以下（430-950nm） ±0.5[%]以下（上記以外） |
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| 膜厚測定 | ±1% | - | ||
| 波長表示分解能 | 1nm | |||
| 照明アクセサリー | 専用ハロゲン光源 JC12V 55W （平均寿命700h） | |||
| シフトステージ | 積載面サイズ ： 200（W）×200(D）mm 耐荷重 ： 3 kg 動作範囲 ： (XY) ±40mm, (Z) 125mm |
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| チルトステージ | － | 積載面サイズ ： 140（W）×140(D）mm 耐荷重 ： 1 kg 動作範囲 ： (XT) ±1°, (YT) ±1° |
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| 装置重量 | 本体：約26 kg（PCを除く） | 本体：約31 kg（PCを除く）*3 | ||
| コントロール電源ボックス：約6.7kg | ||||
| 装置寸法 | 本体部：360(W)×446(D)×606(H)ｍｍ | 本体部：360(W)×631(D)×606(H)mm | ||
| コントロール電源ボックス：250(W)×270(D)×125(H)mm | ||||
| 電源仕様 | AC100-240V (110VA) 50/60Hz | |||
| 使用環境 | 水平で振動がない場所 温度：15～30℃ 湿度：15～60％RH（結露なきこと） |
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*1 オプションユニット *2 弊社測定条件下での測定 *3 透過率測定セットと45度反射率測定を両方搭載した総重量は33kgです。
**「弊社より提供する顕微鏡コントローラー（PC）はWindow10のOSライセンスが認証済みとなりますので、Microsoft社のライセンス条項が適用され、当該条項に同意頂くことになります。Microsoft社のライセンス条項は以下をご参照ください」
対物レンズ
*4 測定NAのため、対物レンズのNAとは異なります
*5 スポット径
ソフトウエア
使いやすいユーザインターフェイスの分光解析ソフトウエア
GUIレイアウト例
分かりやすいレイアウト表示
各ウィンドウのレイアウト配置、サイズ変更、ウィンドウの表示/非表示などが、測定目的と、オペレータの好みに応じて自由に設定が可能です。
反射率/透過率グラフ、反射率/透過率テキスト、XY/L*a*b*色度図、膜厚。
多様な測定結果
分光反射率/透過率グラフ・テキスト、色測定（XY色度図、L*a*b*色度図）、膜厚測定値を1つの画面に分かりやすく表示できます。
位置調整、フォーカス調整が簡単
[LIVE]ウィンドウで、測定サンプルのフォーカスや位置が簡単に調整できます。
フォーカス(Z軸)調整画面
センタリング(X軸・Y軸)調整画面
ワーク設定、レイヤ(膜厚)設定、グラフ設定、パラメータ設定。
充実した設定機能
測定サンプル、測定目的、測定方法に応じて測定条件を詳細に設定することで、正確で迅速な測定を可能にします。
規格設定をした反射率測定例
簡単に合否判定ができる規格値設定機能
規格値を設定し、OK/NGを表示させることで、合否判定が一目瞭然です。