웨이퍼 샘플의 회로 패턴 검사

웨이퍼 샘플

어플리케이션

웨이퍼 샘플의 회로 패턴과 색상을 모두 현미경으로 관찰해야 하는 경우, 일반적인 방법에서 전자의 경우 암시야 조명이 필요하고 후자의 경우 명시야 조명이 필요하여 두 방법을 반복적으로 전환해야 합니다. 이 관찰 방법은 보고서를 생성할 때 각 방법에 필요한 이미지를 획득해야 하므로 시간이 많이 소요됩니다.

올림푸스 솔루션

반도체/FPD 검사를 위한 MX63/MX63L 산업 현미경은 기존의 관찰 방법인 MIX 조명 기능의 효율적인 대안입니다. MIX 조명을 사용하면 웨이퍼의 회로 패턴과 웨이퍼의 색상 정보를 동시에 관찰할 수 있습니다. MIX 이미지의 선명도와 명확성을 통해 작업 효율과 보고서 생성을 개선할 수 있습니다.

제품의 특징

• 간소화된 워크플로우
  MX63/MX63L 현미경에는 클린룸 환경에서도 효율적인 성능을 발휘하며 검사 워크플로우를 처음부터 끝까지 보다 쉽게 진행할 수 있도록 다양한 기능이 장착되어 있습니다.
• 사용자 친화성
  초점, 광도, 개구 조절에 도움이 되는 여러 기능 덕분에 MX63/MX63L 현미경 설정을 쉽게 조정할 수 있습니다. MX63/MX63L 현미경은 조작이 단순하여 경험이 적은 작동자도 적절한 관찰 조건에서 검사를 수행할 수 있습니다.
• 고급 이미징 기술
  광학 분야에서 수십 년 간 쌓은 경험을 바탕으로 제작한 MX63/MX63L 현미경은 명확하고 선명한 이미지를 제공하므로 안정적인 측정 결과를 보장할 수 있습니다.
• 모듈화
  MX63/MX63L 현미경의 모듈식 설계를 통해 사용자는 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 다양한 광학 컴포넌트 중에서 선택할 수 있습니다. 원하는 시스템을 과도한 투자 비용 없이 구축할 수 있습니다.

명시야 조명
웨이퍼 색상은 보이지만 회로 패턴은 불확실합니다.

암시야 조명
회로 패턴은 분명하지만 웨이퍼 색상은 보이지 않습니다.

MIX 조명(명시야 및 암시야 조명)
웨이퍼 회로 패턴 및 색상 정보를 선명하고 명확하게 동시에 관찰할 수 있습니다.