LEXT OLS5100 레이저 현미경
결함 분석 및 재료 공학 연구를 위해 설계된 OLS5100 레이저 현미경은 탁월한 측정 정확성과 광학 성능을 현미경 사용 용이성을 향상하는 스마트한 도구와 결합합니다. 미크론 단위 미만의 수준에서 형태와 표면 거칠기를 신속하고 효율적으로 정밀하게 측정하여 신뢰할 수 있는 데이터로 워크플로를 간소화하세요.
LEXT OLS5100 현미경 솔루션
재료 분석용 레이저 현미경
스마트 워크플로 구현, 실험 속도 향상
결함 분석 및 재료 공학 연구를 위해 설계된 OLS5100 레이저 현미경은 탁월한 측정 정확성과 광학 성능을 현미경 사용 용이성을 향상하는 스마트한 도구와 결합합니다. 미크론 단위 미만의 수준에서 형태와 표면 거칠기를 신속하고 효율적으로 정밀하게 측정하여 신뢰할 수 있는 데이터로 워크플로를 간소화하세요.
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측정 정확도 보장LEXT 현미경 대물렌즈는 매우 정확한 측정 데이터를 제공합니다. Smart Lens Advisor를 함께 사용하면, 신뢰할 수 있는 정확한 데이터를 얻을 수 있습니다.
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기존 렌즈는 주변 영역에서 정확한 측정을 수행하는 데 어려움이 있습니다. |
전용 LEXT 대물렌즈는 주변 영역을 정확하게 측정합니다. |
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손쉬운 레이저 스캐닝 현미경 검사
신중하게 설계된 소프트웨어 덕분에 초보자와 숙련된 사용자 모두 현미경을 쉽게 사용할 수 있습니다.
- 정확한 데이터를 손쉽게 획득—스테이지에 샘플을 놓고 시작 버튼만 누르면 끝
- 작동 환경에 맞는 맞춤형 측정 성능 보증*.
보장된 정확도를 포함하여 이 웹 페이지에 제공된 정보는 Evident가 설정한 조건을 기반으로 합니다.
쉬워진 재료 공학 및 결함 분석 실험
Smart Experiment Manager는 이전에 시간이 많이 소요되었던 작업을 자동화하여 서브미크론 3D 관찰 및 오류 분석 실험 워크플로를 더욱 간단하게 만듭니다.
- 매크로 기능을 사용하여 분석 워크플로 자동화
- 측정 데이터를 손쉽게 정리
- 실험 계획 매트릭스에 데이터를 자동으로 채워 입력 오류 발생 가능성 감소
- 측정 결과가 목록으로 표시되므로 한눈에 통과/실패 여부를 판단할 수 있습니다.
신뢰할 수 있는 서비스와 지원
보정부터 교육까지, Evident는 최적의 장치 성능을 유지할 수 있는 광범위한 서비스 포트폴리오를 제공합니다. Evident 서비스 계약의 특징:
- 간단함—고객은 비즈니스의 핵심 요소에 집중할 수 있습니다.
- 효율적—고객을 대신하여 보정을 포함한 예방적 유지보수를 예약해 드릴 수 있습니다.
- 비용 효과적—계약 유효 기간 동안 비용을 절감할 수 있습니다.
이점
레이저 현미경 이점
1. 서브미크론 수준에서 3D 관찰/측정
나노미터 범위의 단차를 관찰하고 서브미크론 수준에서 높이 차이를 측정합니다.
2. ISO25178에 준거한 표면 거칠기 측정
선형에서 평면까지 표면 거칠기를 측정합니다.
3. 비접촉, 비파괴, 고속
샘플 준비가 필요하지 않습니다. 샘플을 스테이지에 놓기만 하면 측정을 시작할 수 있습니다.
버튼을 눌러 신뢰할 수 있는 데이터 제공
스마트 스캔 II
숙련된 사용자와 초보 사용자 모두 스마트 스캔 II 기능을 사용하여 빠르고 쉽게 데이터를 수집할 수 있습니다. 샘플을 스테이지에 놓고 시작 버튼을 누르면 현미경이 나머지 작업을 수행합니다.
- PEAK 알고리즘: OLS5100 현미경에는 3D 데이터 구성을 위한 PEAK 알고리즘이 통합되어 있습니다. 이 알고리즘은 저배율에서 고배율까지 매우 정확한 데이터를 제공하고 데이터 수집 시간을 단축합니다.
- 불필요한 스캔 건너뛰기: 전자 부품이나 MEMS 등 수직에 가까운 평면이 포함된 샘플에서 단차의 형태를 측정할 때 Z 방향의 불필요한 스캔 범위를 건너뛰어 데이터 수집 시간을 단축할 수 있습니다. 100μm 단차는 정확도 저하 없이 약 10초 안에 측정할 수 있습니다(MPLAPON50XLEXT 대물렌즈 사용 시).
- 정확한 형태 데이터: OLS5100 현미경의 자동 판정 시스템은 각 샘플의 요구 사항에 맞게 조정되는 반면, HDR 스캔은 검출 감도를 변경하여 두 세트의 형태 정보를 획득하여 정확한 형태 데이터를 구축합니다.
작동 환경에 맞는 맞춤형 측정 성능 보증
측정 도구의 성능은 일반적으로 측정 값이 실제 값에 얼마나 가까운지를 나타내는 정확도와 반복된 측정 값의 변동 정도를 나타내는 반복성으로 표현됩니다. Evident는 추적 가능한 시스템을 기반으로 현미경의 정확성과 반복성을 보장하므로 측정 결과를 신뢰할 수 있습니다.
관측 시야를 넘어서는 표면 계측
OLS5100 현미경의 전동 스테이지에는 길이 측정 모듈이 통합되어 있어 스티칭된 이미지 데이터의 정확성이 보장됩니다. 기존 레이저 현미경이 패턴 매칭을 기반으로 데이터를 스티칭했다면, OLS5100 현미경은 길이 측정 모듈의 위치 정보를 패턴 매칭에 추가하여 정확도가 보장된 신뢰성 높은 스티칭 데이터를 제공합니다.
*OLS5100-SAF/EAF만 해당
사용자 친화적인 고해상도/고배율 관찰
연속 자동 초점
현미경의 연속 자동 초점 기능은 스테이지를 이동하거나 대물렌즈를 변경할 때 이미지의 초점을 유지하여 수동 조정의 필요성을 최소화합니다. 영구 초점 추적을 사용하면 빠르고 쉽게 관찰을 수행할 수 있습니다.
나노 규모의 실시간 관찰을 위한 듀얼 DIC
나노미터 규모에서 실시간 관찰을 통해 샘플의 미세한 손상을 감지합니다. 미분 간섭 대비(DIC) 관찰을 통해 일반적으로 레이저 현미경의 분해능을 넘어서는 나노미터 규모로 표면 윤곽을 시각화할 수 있습니다. DIC 레이저 모드를 사용하는 경우 OLS5100 현미경은 5x or 10x 저배율 대물렌즈를 사용하는 경우에도 전자 현미경과 비슷한 실시간 이미지를 얻을 수 있습니다.
웨이퍼의 뒷면
하드 디스크 랜딩존
종합적인 분석
다양한 분석 기능을 사용할 수 있습니다. 다음은 예시일 뿐이므로, 자세한 내용은 브로슈어를 다운로드해 참고하거나 Evident 담당자에게 문의하시기 바랍니다.
ISO25178 준거한 표면 거칠기 측정
OLS5100 현미경은 직경 0.4μm의 레이저 빔으로 샘플 표면을 스캔하여 접촉식 표면 거칠기 계측기로 측정할 수 없는 샘플의 표면 거칠기를 쉽게 측정할 수 있습니다. 접촉식 표면 거칠기 계측기에서는 측정할 수 없는 표면의 컬러 이미지, 레이저 이미지, 3D 형상 데이터를 동시에 획득할 수 있어 분석 범위가 확장됩니다.
표면 프로파일의 최고점과 최저점 사이의 단차 측정
프로파일 측정/측정 지원 도구
프로파일 측정 기능은 이미지에서 측정할 위치에 임의로 측정 라인을 그려 표면 프로파일을 표시합니다. 또한 임의의 두 점 사이의 간격, 너비, 단면적 및 반경을 측정합니다. 접촉식 측정 도구와 달리 측정 위치를 설정하는 작업은 간단합니다. 측정 라인과 측정 지점을 이미지에서 확인할 수 있어 아주 작은 사이트라도 정확하게 측정할 수 있습니다. 측정 보조 도구를 사용하면 최고점, 최저점, 중간점 및/또는 평균점을 사용하여 측정할 지점을 정확하게 지정할 수 있습니다. 획득한 데이터에 사이트를 지정하면 지정된 조건에 따라 특징점이 자동으로 추출됩니다.
소프트웨어
간단한 재료 공학 및 불량 분석 실험 관리
일상적인 워크플로 자동화
매크로 기능
매크로 제작 도구를 사용하여 전체 검사 워크플로를 자동화할 수 있습니다. 프로시저를 쉽게 생성 및 수정한 후 등록된 매크로 파일을 실행하여 신뢰할 수 있는 결과를 얻을 수 있습니다. Smart Experiment Manager와 결합하면 단 한 번의 클릭으로 합격/불합격 판정을 내릴 수 있습니다.
일상적인 워크플로 자동화
실험 조건이 사전에 결정되지 않은 경우에도 데이터를 수집하는 동시에 조건을 결정할 수 있습니다. 실험 중에 조건을 변경할 수 있으며, 드래그 앤 드롭 방식으로 이미지와 분석 데이터를 쉽게 추가할 수 있습니다. 사용자의 워크플로에 맞게 유연한 맞춤형 실험을 지원합니다.
소프트웨어에서 자동으로 실험 계획 매트릭스에 값을 추가하여 입력 오류 발생 가능성을 최소화합니다. 단 몇 번의 클릭만으로 데이터를 Excel 스프레드시트로 내보낼 수 있습니다.
간단한 실험 조건 데이터 조직
자동 파일 이름 생성
실험 계획의 각 셀을 클릭하면 소프트웨어에서 기본 보관을 위해 평가 조건이 포함된 파일 이름을 자동으로 생성합니다. 각 파일에는 관련 이미지와 데이터가 포함되어 있습니다.
빠른 측정 결과
허용 오차 판정 기능을 사용하면 설정된 공차에 따라 합격/불합격을 한 눈에 확인할 수 있습니다. 허용 오차는 샘플 수율에 따라 임계값을 변경하여 확인할 수 있습니다.
소프트웨어의 색상 맵은 실험 중에 수집한 데이터를 더 정확하게 이해하는 데 도움이 됩니다. 색상과 히트맵 비율은 쉽게 변경할 수 있습니다. 직관적인 차트 레이아웃과 히트맵을 사용하면 데이터를 빠르게 시각화할 수 있으므로 프로세스 초기에 문제를 발견할 수 있습니다.
다중 데이터 분석
디스플레이 배율과 3D 디스플레이 각도가 통합되어 획득한 여러 데이터 세트를 나란히 분석할 수 있습니다. 이미지 보정과 분석을 동시에 수행할 수 있습니다. 이는 처리 조건이 다른 여러 샘플의 형태를 분석하거나 결함을 분석하는 데 유용합니다. 다양한 이미지, 프로파일, 수치 결과를 Excel로 내보낼 수 있어 데이터를 더 쉽게 정리하고 평가할 수 있습니다.
사양
메인 유닛
반사형 컨포컬 레이저 스캐닝 레이저-DIC 현미경
컬러
컬러-DIC
컬러: CMOS 컬러 카메라
*1 ISO554(1976), JIS Z-8703(1983)에 규정된 항온 항습 환경(온도: 20˚C±1˚C, 습도: 50%±10%)에서 사용 시 보장됩니다.
*2 20x 이상의 경우 MPLAPON LEXT 시리즈 대물렌즈로 측정 시.
*3 전용 LEXT 대물렌즈로 측정 시.
*4 MPLAPON100XLEXT 대물렌즈로 측정한 경우의 대표값이며 보증값과 다를 수 있습니다.
*5 Evident 인증 시스템에 따라 보장됩니다.
*6 OLS5100은 Class 2 레이저 제품입니다. 빔을 응시하지 마십시오.
** Evident에서 제공하는 현미경 컨트롤러에 대해 Window 10의 OS 라이선스가 인증되었습니다. 따라서 Microsoft의 라이선스 조건이 적용되며, 사용자는 이 조건에 동의하게 됩니다. Microsoft 라이선스 조건을 다음을 참조하시기 바랍니다.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm
대물렌즈
애플리케이션 소프트웨어
*1 자동 스티칭 데이터 획득 및 다중 영역 데이터 획득 기능 포함.
*2 프로파일 분석, 차이 분석, 단차 분석, 표면 분석, 면적/부피 분석, 선 거칠기 분석, 면적 거칠기 분석 및 히스토그램 분석 포함.
Evident 레이저 현미경
OLS5100-SAF 설정 예시
- OLS5100-SAF100mm 전동식 스테이지
- 최대 샘플 높이: 100mm(3.9인치)
- OLS5100-EAF100mm 전동식 스테이지
- 최대 샘플 높이: 210 mm(8.3인치)
- OLS5100-SMF100mm 수동 스테이지
- 최대 샘플 높이: 40 mm(1.6인치)
- OLS5100-LAF300 mm 전동식 스테이지
- 최대 샘플 높이: 37 mm(1.5인치)
제어 장치
자료실
어플리케이션 노트
인사이트
비디오
OLS5100 - Smart Experiment Manager Tolerance Judgement
OLS5100 - Smart Experiment Manager Change Your Workflow On the Fly
OLS5100 - Workflow Automation with the Macro Function
LEXT™ OLS5100 레이저 컨포컬 스캐닝 현미경은
OLS5100 실험 전체 지원
OLS5100 스마트 스캔 II
