DSX2000 디지털 현미경
완전 전동식 디지털 현미경 DSX2000은 스마트 도구, 올인원 이미징 기능, 맞춤형 인터페이스를 통해 연구원과 품질 관리 연구실 전문가의 작업을 간소화하고 생산성을 높이며 업무 효율을 향상시켜 줍니다. 4K 해상도 이상의 뛰어난 이미지를 캡처하고 빠르고 정확한 결과를 얻을 수 있도록 팀 역량을 강화하십시오.
DSX2000 디지털 현미경
DSX2000 디지털 현미경
단순하게 정밀성 향상
수상 경력을 자랑하는 DSX2000 디지털 현미경은 연구자 및 QC 실험실 전문가의 작업을 간소화하고 생산성을 높이고 업무를 효율화합니다. 스마트 도구, 일체형 이미징, 맞춤화 가능한 인터페이스를 제공하는 DSX2000 시스템은 요구 사항에 맞게 조정 가능합니다. PRECiV™ 소프트웨어가 탑재된 DSX2000 현미경을 사용하면 빠르고 정밀한 결과를 얻고 4K 해상도 이상의 탁월한 이미지를 캡처할 수 있도록 팀의 역량을 강화할 수 있습니다. 이 제품이 제공하는 직관적이고 원활한 경험을 통해 숙련도에 상관없이 모든 사용자가 쉽고 자신 있게 시스템을 작동할 수 있습니다.
원하는 모델을 직접 선택해 보세요
DSX2000 디지털 현미경 시리즈는 전동식, 범용 또는 표준 줌 헤드 옵션을 제공하므로 이미징 및 워크플로 요구 사항에 딱 맞게 시스템을 맞춤화할 수 있습니다. 완전 자동화, 고급 기능 또는 기본 기능 중 무엇이 필요하든 DSX2000 시리즈는 적합한 모델을 제공합니다.
완전 전동식 DSX2000 MZH
완전 전동식 시스템이 작업을 간소화하고 생산성을 높이므로 손쉽게 과제를 해결할 수 있습니다. 자동 회전 노즈피스가 있는 전동식 줌 헤드는 최대 4개의 대물렌즈를 지원하므로 손쉽게 배율을 변경하고 원활하게 매크로-마이크로 검사를 수행할 수 있습니다. 이 모델은 고해상도 관찰과 효율적으로 합격/불합격 결정을 내려야 하는 검사 응용 분야에 적합합니다.
다기능을 하나로, 일체형 DSX2000 UZH/SZH
Evident의 범용 및 표준 줌 헤드 모델은 하나의 시스템으로 원활한 매크로-마이크로 검사를 지원합니다. 슬라이딩 노즈피스는 최대 두 개의 대물렌즈를 지원하므로 원활한 배율 변경이 가능합니다. 이 모델은 매우 긴 작동 거리 옵션을 포함한 매우 다양한 대물렌즈 유형을 통해 유연성을 제공하며 다양한 각도에서 샘플을 촬영할 수 있도록 지원합니다.
일체형 솔루션
일체형 솔루션으로 작동 간소화
DSX2000 디지털 현미경 시리즈는 신뢰할 수 있는 결과를 쉽게 제공하여 귀중한 시간을 절약하고 가장 중요한 작업에 할애할 수 있도록 합니다. 최소한의 교육으로 검사 결과를 얻거나 연구 질문에 대한 정확한 답을 신속하게 얻을 수 있습니다.
거시적 시각에서 관찰
DSX2000 현미경 시리즈는 21배~7,300배의 넓은 배율 범위를 제공하므로 하나의 시스템으로 매크로 및 마이크로 검사를 완료할 수 있습니다. 매우 긴 작동 거리 및 고해상도 옵션을 포함한 20개의 대물렌즈 제품군 덕분에 다양한 샘플과 응용 분야에 맞게 이미징 조건을 쉽게 조정할 수 있습니다.
빠르고 유연한 매크로 이미징
매크로 카메라를 사용하여 샘플의 대략적 이미지를 신속하게 촬영할 수 있습니다. 스테이지에 놓을 수 없는 큰 샘플을 촬영할 때는 이 유연한 액세서리를 분리하여 손으로 잡고 사용할 수 있습니다. 간편하게 소프트웨어의 매크로 카메라 뷰로 전환하여 마이크로 및 매크로 이미징 사이를 쉽게 전환할 수 있습니다. 필요한 개요 이미지와 확대 미미지로 종합 보고서를 더 빨리 생성하세요.
쉽고 빠르게 대물렌즈 변경
어느 DSX2000 모델에서든 대물렌즈는 쉽고 빠르게 변경할 수 있습니다. 교체하기 쉬운 렌즈와 조정 가능한 설정을 제공하는 인체공학적 시스템으로 더 빨리 작업하고 편안함을 유지할 수 있습니다.
자동 변경
전동식 줌 헤드가 있는 시스템의 경우 콘솔이나 컴퓨터를 사용하여 자동 회전 노즈피스를 제어하고 손쉽게 배율을 변경할 수 있습니다.
슬라이더로 변경
표준 및 범용 줌 헤드가 있는 시스템은 또한 슬라이딩 노즈피스를 통해 원활한 배율 변경을 지원합니다. 여기에는 최대 두 개의 대물렌즈를 동시에 부착할 수 있습니다. 렌즈를 밀기만 하면 배율을 변경하여 매크로-마이크로 이미징을 간편하게 수행할 수 있습니다. 이 시스템의 경우 렌즈 유형을 쉽게 변경할 수 있으므로 다양한 검사 요구 사항을 위한 유연성을 제공합니다.
원클릭 정보 확인
DSX2000 현미경은 버튼 클릭으로 사용 가능한 7가지 관찰 방법을 제공합니다. 명시야(BF), 경사(OBQ), 암시야(DF), MIX(DF 및 BF), 편광(PO), 미분간섭대비*(DIC) 또는 Evident 고유의 Shaded Relief(SR) 방법을 사용하여 관찰 조건을 찾아 보세요.
*SZH 모델에서는 사용할 수 없음.
실시간 결함 확인
shaded relief 관찰은 후처리 지연 없이 실시간으로 매우 미세한 결함을 포착합니다. 스테이지를 이동하고 샘플을 원활하게 스캔하여 음영 양각 이미지를 즉시 확인하고 빠르고 철저한 검사를 수행할 수 있습니다.
최적의 이미지를 더 빠르게 획득
최적의 이미징 모드는 클릭 한 번으로 확인이 필요한 사항을 드러내는 최적의 이미징 모드를 찾아냅니다.
왼쪽: SZX2-CPO 편광 플레이트 카트리지를 사용하여 투과광으로 촬영한 플라스틱 금형 제품.
오른쪽: SZX2-CDF 암시야 카트리지를 사용하여 투과광으로 촬영한 파이버.
샘플에 맞는 조명
다양한 투과광 및 대비 옵션으로 투명, 반투명 또는 얇은 샘플의 내부를 자세히 관찰해 보세요. 샘플 유형과 목적에 따라 카트리지를 선택하기만 하세요.
샘플 위치 조정 가능
확장된 스테이지(최대 200 × 100mm) 덕분에 여러 개의 샘플이나 대형 샘플을 놓을 수 있으며, 틸팅 프레임과 회전식 스테이지를 통해 샘플을 최적의 관찰 조건으로 배치할 수 있습니다.
스마트 소프트웨어
더 스마트한 작업을 위한 기술
DSX2000 현미경과 함께 PRECiV 이미지 분석 소프트웨어를 사용하여 효율성을 극대화하세요. DSX2000 디지털 현미경의 맞춤화된 워크플로와 AI 기능은 더 스마트하게 일하는 역량을 부여하여 더 효율적으로 일상적 검사를 수행하거나 복잡한 분석을 수행하는 방법을 제시합니다.
워크플로 맞춤화를 통한 빠른 작동
EZ 모드는 필수적인 기능만을 포함하여 인터페이스를 단순화합니다. 맞춤형 워크플로를 사용하면 사용 가능한 버튼을 제한하여 일관성과 사용 편이성을 향상하는 동시에 오류 가능성을 줄일 수 있습니다.
1. 워크플로 정의
2. 아이콘 배열
3. 워크플로 활성화
AI를 활용하여 효율성 향상
PRECiV 소프트웨어는 DSX2000 현미경에 Evident 고유의 Live AI를 제공합니다. 이 강력한 도구는 숨겨진 세부 정보를 즉각적으로 드러내고 추가적인 처리 없이 실시간 이미지의 주요 특성을 부각시킵니다. AI 기반 의사 결정 덕분에 전문가는 이미지를 이중으로 확인할 필요가 없습니다.
1. 실시간 이미지 생성
2. Neural network 훈련(5분)
통합 소프트웨어로 작업 간소화
PRECiV 소프트웨어는 Evident의 모든 산업 현미경에서 같은 방식으로 작동하여 디지털(DSX 시리즈) 및 일반 현미경(BX™ 및 SZX™ 시리즈)에서 모두 통일성 있는 분석 환경을 조성합니다. 2D/3D 측정, 이미지 개선, 매크로 레코딩, AI 지원 분석 등을 위한 도구를 활용해 보세요.
클릭 몇 번으로 측정 표준 준수
표준을 준수하는 자동 워크플로로 일상적인 재료 분석 작업을 간소화하세요. 결정립 크기 측정, 주철 분석, 위상 분석, 비금속 개재물 평가 등을 위한 여러 가지 옵션 중에서 선택할 수 있습니다.
원활한 네트워크 통합
IT 규정 준수와 간편한 이미지 공유를 위해 DSX2000 현미경을 회사 네트워크에 쉽게 연결할 수 있습니다.
처리량 극대화
PRECiV 소프트웨어가 설치된 어느 PC에서나 이미지를 분석할 수 있습니다. 따라서 이미지 획득에 DSX2000 현미경을 더 많이 사용하여 워크플로 효율성을 높일 수 있습니다.
준수 보고서를 손쉽게 작성
Microsoft 365용 플러그인을 사용하여 Microsoft Word, Excel 또는 PowerPoint로 보고서를 작성할 수 있습니다.
청결도 분석
기술적 청정도 작업을 단순화하세요
제조에서 청결은 필수적입니다. 마이크로 크기의 오염물은 결함을 유발할 수 있으므로, 오늘날의 기준에서는 입자의 수, 크기, 특성을 명확히 파악해야 합니다. PRECiV ADM* 소프트웨어를 통해 DSX2000은 이러한 입자 정보를 하나의 사용하기 쉬운 플랫폼에서 제공합니다. 규정 준수 결과는 ISO 16232 및 VDA 19를 포함한 회사 및 산업 표준에 맞춰 단 한 번의 클릭으로 맞춤 설정됩니다.
*PRECiV ADM은 MZH 모델에서만 사용 가능합니다.
안내형 청정도 분석 워크플로
DSX2000은 자동화된 기술적 청정도 검사의 요구를 충족하도록 설계된 턴키 솔루션입니다. 최적화된 이미지 촬영, 정밀한 검출, 안내 단계가 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하며, 수작업과 오염 위험을 줄여줍니다.
직관적이고 클릭하기 쉬운 워크플로 단계: 샘플 장착 → 설정 편집 → 검사 실행 → 결과 검토 → 보고서 작성.
선택한 썸네일이 자동으로 시스템을 이 오염물질로 유도합니다.
입자 분석 결과를 자신 있게 검토
빠르고 직관적인 입자 검토는 원클릭 재분류와 측정이 연결된 썸네일 이미지로 지원됩니다. 모든 뷰에서 업데이트가 자동으로 적용되어, 적은 노력으로도 명확하고 일관된 결과를 제공합니다.
일반 샘플링 방법을 위한 다재다능성
다양한 홀더가 원형 및 직사각형 검사 영역을 지원하며, 서로 다른 필터 크기, 테이프 리프트 샘플, 평면 금속 표면, 입자 트랩 옵션을 포함합니다. 소프트웨어가 홀더 유형과 검사 영역을 자동으로 인식하여 일관된 결과를 보장하는 데 도움을 줍니다.
*테이프 리프트 홀더의 가용성은 지역에 따라 다를 수 있습니다.
정밀 이미징
신뢰할 수 있는 이미지와 측정 결과
DSX2000 디지털 현미경은 엄격한 품질 관리, 결함 분석 및 R&D 요구 사항을 충족하는 탁월한 이미지와 정밀한 측정 결과를 제공하므로 결과에 확신을 가질 수 있습니다.
유연한 광학 제품
100년의 혁신을 바탕으로 Evident는 정밀 광학 기술 분야에서 풍부한 전문성을 갖추고 있습니다. Evident의 광범위한 전용 대물렌즈 제품군은 사용자가 결함의 원인을 조사하건, 일상적인 품질 검사를 수행하건, 넓은 배율 범위(21X~7,300X)와 검사에 필요한 작동 거리를 제공합니다.
4K 이상의 고해상도 이미징
DSX2000 현미경은 표준 4K 해상도*를 능가하는 이미지 품질로 검사를 지원하여 샘플 유형이나 크기, 두께, 거칠기, 반사 여부 또는 투명성에 상관없이 선명도와 검사 범위를 향상합니다. 예를 들어, 시스템을 32인치 4K 모니터와 함께 사용하면 샘플을 더욱 자세히 관찰하고 분석할 수 있습니다.
* SZH 모델에서는 4K 이상의 해상도를 구현할 수 없습니다.
연속 자동 초점
대상의 불균일한 표면에 맞춰 대물렌즈가 자동으로 위아래로 움직이면서 관찰 위치가 변경되어도 항상 초점이 맞은 실시간 이미지를 제공합니다. DSX2000 현미경은 초점을 수동으로 조정하지 않아도 되므로 실험실에서 분석 및 검사 효율성을 높일 수 있습니다.
고급 3D 측정
복잡한 검사를 위한 정밀 3D 분석으로 표면 높이와 특성을 상세히 파악하세요.
무제한 이미지 크기
원활한 스티칭을 통해 대규모 매크로 이미지를 간편하게 생성하여 더 짧은 시간으로 대규모 샘플을 분석할 수 있습니다. 원하는 크기로 매크로 이미지를 만들 수 있습니다. 유일한 제한 사항은 하드 드라이브 공간과 스테이지 이동 범위뿐입니다.
관찰 설정 저장 및 불러오기
캡처된 이미지는 설정을 자동으로 기록합니다. 클릭 한 번으로 조건을 재사용하여 일관성과 반복성을 유지하세요.
정확성 및 반복성 보증*
텔레센트릭 광학 장치와 Evident 기술자가 제공하는 추적 가능한 시간 기록 캘리브레이션으로 정밀한 측정을 수행하고 쉽게 측량 표준을 준수할 수 있습니다. 전문 현장 캘리브레이션과 서비스 플랜을 통해 예측 가능한 비용으로 DSX2000 현미경의 규정 준수를 지원할 수 있습니다. 특히 새로운 시스템과 함께 최고의 경제성을 구현하도록 묶인 다년 플랜을 구입할 경우 유용합니다.
*장치를 제조사 사양에 따라 보정했고 결함이 없는 경우에만 정확성 및 반복성 보증이 적용됩니다. 반드시 Evident 기술자 또는 Evident 공인 전문가가 보정을 수행해야 합니다.
사양
DSX2000 사양
| 줌 헤드 | Standard(DSX20-SZH) | Universal(DSX20-UZH) | Motorized(DSX20-MZH) | |||||
| 광학 시스템 | 광학 시스템 | 텔레센트릭 광학 시스템 | 텔레센트릭 광학 시스템 | 텔레센트릭 광학 시스템 | ||||
| 광학 줌 비율 | 1X~10X | 1X~10X | 1X~10X | |||||
| 광학 줌 배율 방법 | 전동 | 전동 | 전동 | |||||
| 캘리브레이션 | 자동 | 자동 | 자동 | |||||
| 노즈피스 | 수동 슬라이딩 노즈피스 | 수동 슬라이딩 노즈피스 | 전동식 회전 노즈피스 | |||||
| 부착 가능한 대물렌즈 수 | 최대 2개 | 최대 2개 | 최대 4개 | |||||
|
정확성 및 반복성(X-Y 평면) |
정확성 *1 | ±3% | ±3% | ±3% | ||||
| 반복성 3 σn-1 | 2% | 2% | 2% | |||||
| 반복성(Z축)*2 | 반복성 σn-1 | 1μm | 1μm | 1μm | ||||
| 카메라 | 이미지 센서 | 1.1인치 12.37메가픽셀 컬러 CMOS 이미지 센서, 글로벌 셔터 | 1.1인치 12.37메가픽셀 컬러 CMOS 이미지 센서, 글로벌 셔터 | 1.1인치 12.37메가픽셀 컬러 CMOS 이미지 센서, 글로벌 셔터 | ||||
| 냉각 | 펠티에 냉각 | 펠티에 냉각 | 펠티에 냉각 | |||||
| 프레임률 | 60fps(최대) | 60fps(최대) | 60fps(최대) | |||||
| 울트라(픽셀 이동 모드) | 사용할 수 없음 |
6000 × 6000(1:1), 8192 × 6000(4:3) |
6000 × 6000(1:1), 8192 × 6000(4:3) |
|||||
| 매우 높음(3CMOS 모드) | 사용할 수 없음 |
3000 × 3000(1:1), 4096 × 3000(4:3) |
3000 × 3000(1:1), 4096 × 3000(4:3) |
|||||
| 매우 높음 |
3000 × 3000(1:1), 4096 × 3000(4:3) |
3000 × 3000(1:1), 4096 × 3000(4:3) |
3000 × 3000(1:1), 4096 × 3000(4:3) |
|||||
| 4K 모드 | 3840 × 2160(16:9) | 3840 × 2160(16:9) | 3840 × 2160(16:9) | |||||
| 높음 |
1500 × 1500(1:1), 2048 × 1500(4:3) |
1500 × 1500(1:1), 2048 × 1500(4:3) |
1500 × 1500(1:1), 2048 × 1500(4:3) |
|||||
| 높음(비닝 2 × 2) |
1500 × 1500(1:1), 2048 × 1500(4:3) |
1500 × 1500(1:1), 2048 × 1500(4:3) |
1500 × 1500(1:1), 2048 × 1500(4:3) |
|||||
| Full HD 모드 | 1920 × 1080(16:9) | 1920 × 1080(16:9) | 1920 × 1080(16:9) | |||||
| 조명 | 컬러 광원 | LED | LED | LED | ||||
| 수명 | 60,000시간(설계 값) | 60,000시간(설계 값) | 60,000시간(설계 값) | |||||
| 관찰 | BF(명시야) | 사용 가능 | 사용 가능 | 사용 가능 | ||||
| OBQ(경사) | 사용 가능 | 사용 가능 | 사용 가능 | |||||
| DF(암시야) |
사용 가능 4개 부분으로 나누어진 LED 링 |
사용 가능 4개 부분으로 나누어진 LED 링 |
사용 가능 4개 부분으로 나누어진 LED 링 |
|||||
| MIX(명시야+암시야) |
사용 가능 BF + DF 동시 관찰 |
사용 가능 BF + DF 동시 관찰 |
사용 가능 BF + DF 동시 관찰 |
|||||
| PO(편광) | 사용 가능 | 사용 가능 | 사용 가능 | |||||
| DIC(미분 간섭 대비) | 사용할 수 없음 | 사용 가능 | 사용 가능 | |||||
| SR(shaded relief) | 사용 가능 | 사용 가능 | 사용 가능 | |||||
| 대비 설정을 위한 기계식 조리개 | 사용 가능 | 사용 가능 | 사용 가능 | |||||
| 초점 심도를 위한 기계식 조리개 | 사용할 수 없음 | 사용 가능 | 사용 가능 | |||||
| 초점 | 초점 조절 | 전동 | 전동 | 전동 | ||||
| 스트로크 | 101mm(전동식) | 101mm(전동식) | 75mm(전동식) | |||||
| *1 Evident 또는 판매처 서비스 기술자에 의한 캘리브레이션이 필요합니다. XY 정확성을 보장하려면, DSX-CALS-HR(캘리브레이션 샘플)을 사용한 캘리브레이션이 필요합니다. | ||||||||
| *2 20배율 이상의 대물렌즈 사용 시. | ||||||||
| 대물렌즈 | DSX10-SXLOB | DSX10-XLOB | UIS2 | |||||
| 대물렌즈 | 최대 샘플 높이 | DSX20-UZH, DSX20-SZH | 50 mm | 115 mm | 145 mm | |||
| DSX20-MZH | 71 mm | 101 mm | ||||||
|
최대 샘플 높이 (자유각 관찰) |
50 mm | 50 mm | 50 mm | |||||
| 동초점 거리 | 140 mm | 75 mm | 45 mm | |||||
| 총 배율*3 | 20.9X–1461X | 43.8X–5845X | 26.1X–7307X | |||||
| 실제 FOV |
18182 × 13317μm – 260 × 190μm |
8658 × 6341μm ~ 65 × 48μm | 14546 × 10654μm ~ 52 × 38μm | |||||
| *3 27인치 4K 모니터, 배율 설정: 175%, 진동 방지 모드 꺼짐, 전체 화면 모드에서 | ||||||||
| 스테이지 | DSX20-TMTS | DSX20-RMTS | DSX20-LMTS | U-SIC4R | ||||
| 스테이지 | XY 스테이지: 전동식/수동 | 전동 | 전동 | 전동 | 수동 | |||
| XY 스트로크 | 100 × 100mm |
스트로크 우선 모드: 100mm × 100mm 회전 우선 모드: 50 mm × 50 mm |
200 × 100mm | 100 × 105mm | ||||
| 투과광 | 통합(PO, DF, BF, OBQ 모드는 선택 사항) | 사용할 수 없음 | 사용할 수 없음 | 사용할 수 없음 | ||||
| 회전 각도 | 사용할 수 없음 |
사용 가능 스트로크 우선 모드: ±20° 회전 우선 모드: ±90° |
사용할 수 없음 | 사용할 수 없음 | ||||
| 회전 각도 표시 | 사용할 수 없음 | GUI | 사용할 수 없음 | 사용할 수 없음 | ||||
| 최대 하중 용량 | 5kg(11lb) | 5kg(11lb) | 5kg(11lb) | 1kg(2.2lb) | ||||
| 프레임 | DSX20-UF | DSX20-TF | ||||||
| 프레임 | Z축 스트로크 | 50mm(수동) | 50mm(수동) | |||||
| 틸팅 관찰 | 사용할 수 없음 | 사용 가능: ±90° | ||||||
| 틸팅 각도 표시 | 사용할 수 없음 | GUI | ||||||
| 틸팅 각도 방법 | 사용할 수 없음 | 수동, 고정/릴리스 핸들 | ||||||
| 매크로 카메라 | ||||||||
| 매크로 카메라 | 이미지 센서 | 1/2.5인치 컬러 CMOS 이미지 센서, 롤링 셔터 | ||||||
| 이미지 크기 | 1:1 디스플레이, 1944 × 1944 4:3 디스플레이, 1944 × 1458 Full HD 디스플레이, 1920 ×1458 |
|||||||
| 관측 시야 크기(수평) | 81mm ~ ∞ | |||||||
| 디스플레이 | ||||||||
| 디스플레이 | 화면 크기 | 27인치/32인치 | ||||||
| 해상도 |
Full HD: 1920 × 1080 4K: 3840 × 2160 |
|||||||
| 시스템 전체 | 정립 프레임 시스템 | 틸팅 프레임 시스템 | ||||||
| 시스템 전체 | 무게(프레임, 헤드, 전동식 스테이지, 디스플레이 및 콘솔) | 54.7kg(120lb) | 51.7 kg(113 lb) | |||||
| 전력 소비 | 100–120V / 220–240 V, 1.1/0 .54A, 50 Hz/60 Hz | 100–120V / 220–240 V, 1.1/0 .54A, 50 Hz/60 Hz | ||||||
| 소프트웨어 | ||||||||
| PRECiV DSX PRECiV ADM |
포함됨: 장치 제어, 비디오 녹화, 타임랩스 촬영, 대형 파노라마 촬영, 확장된 초점 촬영, 3D 이미지 촬영, Z-스택 촬영, 위치 목록 탐색, 최적 이미지 기능, 확장된 2D 측정, 3D 측정, 보고 도구, 신경망 처리, 매크로 레코더, 기술적 청결 분석 (PRECiV ADM이 탑재된 MZH 모델에서만 사용 가능) | |||||||
| 운영 체제 | Windows 11-64비트 | |||||||
| 네트워크 연결 | 대부분의 주요 백신 프로그램과 호환됨, Windows 보안 업데이트 허용, 이미지를 OneDrive에 직접 저장할 수 있음. | |||||||
| 보고 애플리케이션 | Microsoft 365/Microsoft Office 365, Office 2024, Office 2021, Office 2019 | |||||||
| 옵션 소프트웨어 | 3D 분석 애플리케이션, 계수 및 측정, Neural Network 훈련, 재료 솔루션(결정립 크기, 주철, 위상 분석, 다공성, 입자 크기 분포, 비금속 개재물, 층 두께, 코팅 두께), 측정 시퀀스. | |||||||
| 맞춤화 |
포함 사항: 사전 정의된 워크플로 생성을 위한 맞춤형 사용자 인터페이스 선택 사항: 웨이퍼 탐색, 특정 샘플에 대한 자동 분석 |
|||||||
DSX2000 대물렌즈
| 대물렌즈 모델 | 모니터의 배율 | 작동 거리(mm) | NA | 시야*1(μm) | |
|
매우 긴 작동 거리 대물렌즈 렌즈와 샘플 사이의 작동거리가 긺 |
DSX10-SXLOB1X *2
|
20.9–146.1X | 51.7 | 0.03 | 18182 × 13317μm ~ 2597 × 1902μm |
|
DSX10-SXLOB3X *2
|
43.8–438.4X | 66.1 | 0.09 | 8658 × 6341μm ~ 866 × 634μm | |
|
DSX10-SXLOB10X *2
|
146.1–1,461X | 41.1 | 0.20 | 2597 × 1902μm ~ 260 × 190μm | |
|
고해상도, 긴 작동 거리 대물렌즈 고해상도와 긴 작동 거리 제공 |
DSX10-XLOB3X *2
|
43.8–438.4X | 30.0 | 0.09 | 8658 × 6341μm ~ 866 × 634μm |
|
DSX10-XLOB10X
|
146.1–1,461X | 30.0 | 0.30 | 2597 × 1902μm ~ 260 × 190μm | |
|
DSX10-XLOB20X
|
292.3–2,923X | 20.0 | 0.40 | 1299 × 951μm ~ 130 × 95μm | |
|
DSX10-XLOB40X
|
584.5–5,845X | 4.5 | 0.80 | 649 × 476μm ~ 65 × 48μm | |
|
고성능, 높은 개구수 대물렌즈 나노 단위로 고성능 제공 |
MPLFLN1.25X *4
|
26.1–182.7X | 3.5 | 0.04 | 14546 × 10654μm ~ 2078 × 1522μm |
|
MPLFLN2.5X *4
|
39.1–365.3X | 10.7 | 0.08 | 9697 × 7102μm ~ 1039 × 761μm | |
|
MPLFLN2.5XBD *5
|
39.1–365.3X | 8.7 | 0.08 | 9697 × 7102μm ~ 1039 × 761μm | |
|
MPLFLN5XBD
|
73.1–730.7X | 12.0 | 0.15 | 5195 × 3805μm ~ 519 × 380μm | |
|
MPLFLN10XBD
|
146.1–1,461X | 6.5 | 0.30 | 2597 × 1902μm ~ 260 × 190μm | |
|
MPLFLN20XBD
|
292.3–2,923X | 3.0 | 0.45 | 1299 × 951μm ~ 130 × 95μm | |
|
MPLFLN50XBD
|
730.7–7,307X | 1.0 | 0.80 | 519 × 380μm ~ 52 × 38μm | |
|
MPLAPON50X *3
|
730.7–7,307X | 0.35 | 0.95 | 519 × 380μm ~ 52 × 38μm | |
|
LMPLFLN10XBD
|
146.1–1,461X | 10.0 | 0.25 | 2597 × 1902μm ~ 260 × 190μm | |
|
LMPLFLN20XBD
|
292.3–2,923X | 12.0 | 0.40 | 1299 × 951μm ~ 130 × 95μm | |
|
LMPLFLN50XBD
|
730.7–7,307X | 10.6 | 0.50 | 519 × 380μm ~ 52 × 38μm | |
|
MXPLFLN20XBD
|
292.3–2,923X | 3.0 | 0.55 | 1299 × 951μm ~ 130 × 95μm | |
|
MXPLFLN50XBD
|
730.7–7,307X | 3.0 | 0.80 | 519 × 380μm ~ 52 × 38μm |
*1 배율 및 관측 시야는 27인치 4K 모니터 기반임, 배율 설정: 175%, 진동 방지 모드: 꺼짐, 전체 화면 모드, 이미지 종횡비: 4:3.
*2 DSX10-SXLOB1X, 3X, 10X 및 DSX10-XLOB3X는 PO 관찰을 지원하지 않습니다.
*3 MPLAPON50X는 DF, MIX 또는 SR 관찰을 지원하지 않습니다.
*4 MPLFLN1.25X 및 2.5X는 DF, MIX, PO, DIC 또는 SR을 지원하지 않습니다.
*5 MPLFLN2.5XBD는 PO 또는 DIC 관찰을 지원하지 않습니다.