AL120 웨이퍼 로더

Name: Al120-12 웨이퍼 핸들러 | Evident Scientific | Olympus
Brand: Evident
SKU: al120-12
Availability: InStock

저비용 백엔드 검사에 적합한 AL120-12 웨이퍼 핸들러는 FOUP(전면 개방 통합 포드) 및 FOSB(전면 개방 배송 상자)와 호환되는 반도체 검사 현미경입니다. 안전한 인체공학적 설계로 얇은 웨이퍼와 휘어진 웨이퍼 등의 웨이퍼를 효과적으로 이송하고 작업자의 안전을 지킬 수 있습니다.

개요

AL120-12는 웨이퍼 검사를 손쉽고 효율적으로 하기 위한 장비로, FOUP와 FOSB 타입 모두 사용가능하며 마지막 공정 검사에 알맞는 가격대비 높은 효율성을 지닌 장비입니다. 인체공학적인 디자인과 편리성은 오퍼레이터들이 웨이퍼를 교체할 때 안전하고 편리하게 사용할 수 있으며, 휘거나 얇은 웨이퍼도 대응이 가능합니다.

동작하기 쉽고 인체공학적인 디자인

사용자의 의도에 따라 post-process 검사를 할 수 있으며, 특히 인체공학적이고 사용하기 쉽도록 중점을 두어 설계하였습니다.AL120 - 12 시스템은 top 매크로와 back 매크로 및 현미경 검사를 할 수 있습니다.
로봇 진공 pick-up arm 은 현미경 스테이지에서 정확한 배치를 위해 비접촉하여 웨이퍼의 센터링 작업을 수행합니다. 웨이퍼는 현미경 검사를하는 동안 360도 회전할 수 있습니다.
AL120-12는 우수한 해상도와 정밀도를 갖는 고품질의 광학 영상을 제공하는 OLYMPUS MX61L현미경과 호환됩니다.
중앙에 위치한 컨트롤러와 보드위의 매크로 조명장치는 사용자가 오랜 시간 검사하는 동안에도 인체공학적이고 편안한 자세를 유지할 수 있게 합니다.

강력하고 신뢰성 있는 안전 처리

OLYMPUS AL120-12에서도 웨이퍼 처리에서 입증된 전문성을 갖추고 있습니다. 그 강력하고 신뢰할 수있는 설계는 웨이퍼 무결성을 유지하고 300mm 웨이퍼에 대한 안전 처리를 보장합니다.
얇고 뒤틀리는 웨이퍼도 안전하게 AL120 - 12 핸들러를 사용하여 전송할 수 있습니다

사양

300mm 웨이퍼 로더 AL120-12 사양
	AL120-LMB12-LP3	AL120-LMB12-F
웨이퍼 크기	직경 300mm(SEMI M1.15, t=775µm) 옵션 사항: 직경 200mm
카세트	- FOUP(전면 개방 일체식 포드) - SEMI: E47.1-0200 표준 제품 - FIMS-FOSB, FOSB	- FOSB(전면 개방 운반 용기) - SEMI: M31-0999 표준 제품
카세트 수	카세트 한 개(로딩 및 언로딩용)
카세트 배치 높이	900mm
로딩 포트	포함	불포함
운반 순서	상단 매크로 검사, 후면 매크로 검사, 마이크로 검사
검사 모드	모든 웨이퍼 검사, 샘플링 검사
웨이퍼 정렬	비접촉 중앙 배치
웨이퍼 운반 시스템	진공 접촉 기계 암 시스템
사용 가능한 현미경	Olympus 반도체 검사용 현미경 MX61L
유틸리티	AC100V – 120V, 220 – 240V 3.0/1.7A 50/60Hz 진공 -67kPa – -80kPa 청정 건조 공기 0.5MPa – 0.6MPa	AC100V – 120V, 220 – 240V 3.0/1.7A 50/60Hz 진공 -67kPa – -80kPa
스테이지	XY 수동 접촉 스테이지: XY 조동/미세 동작(360° 회전 메커니즘도 포함)
대량(현미경 제외)	약 360kg	약 270kg

자료

제품 리소스

브로슈어

https://evidentscientific.com/ko/downloads/brochures?product=al120-12

설명서

https://evidentscientific.com/ko/downloads/manuals?product=al120-12