USPM RU W 분광광도계

Evident의 USPM-RU-W NIR 마이크로 분광광도계는 가시광선부터 근적외선까지 다양한 파장에서 분광분석을 빠르고 정확하게 수행합니다. 일반적인 분광광도계로는 측정할 수 없는 매우 작은 영역, 곡선 표면의 반사도를 쉽게 측정할 수 있는 USPM-RU-W는 광학 요소 또는 미세한 전자 부품을 분석하는 데 최적입니다.

USPM-RU-W 현미경 솔루션

근적외선 마이크로 분광광도계

■ 수초 내에 측정되는 반사성, 필름 두께, 물체 색깔, 투과성
■ 380nm 부터 1050nm까지의 넓은 파장의 범위
■ 접촉 없이 곡면위의 반사성을 측정합니다.

반사도 측정

17um부터 70um의 반경 범위를 가진 미세 영역의 반사도를 측정하시오.

Optical Path of Reflectivity Measurement, Picture

반사도 측정의 예: 렌즈

반사도 측정의 예: 렌즈

반사도 측정의 예: 렌즈 곡률

반사도 측정의 예: 렌즈 곡률

필름 두께 측정, 스크린 샷

필름 두께 측정, 스크린 샷

필름 두께를 측정하시오.

대략 50nm로 부터 10 um의 단층 또는 복층 필름의 두께를 측정 하려면 반사도 데이터를 사용하시오.

물체 색깔 측정, 스크린 샷

물체 색깔 측정, 스크린 샷

물체 색깔을 측정하시오.

XY 색도 다이어그램, L*a*b*다이어그램, 반사 데이터를 기반으로한 관련된 수치를 구현합니다.

투과 수준을 측정하시오(선택사항).

분광광도계 acceptance elements 샘플을 통해 2mm 평행 빔을 투과 시킴으로서 평평한 샘플의 투과성을 측정합니다.

투과 측정의 광학 경로

투과 측정의 광학 경로

45도 입사각에서 반사성을 측정하시오(선택사항).

분광광도계 acceptance 요소로 향하는 2mm 평행 빔 반사를 통해 45도의 입사각에서 반응성을 측정합니다.

45도 반사성 측정의 광학 경로

45도 반사성 측정의 광학 경로

곡면과 좁은 영역의 빠른 측정

광학 시스템 이미지

광학 시스템 이미지

빠른 속도 측정이 가능

빠르고 높은 반복 측정은 두번째, 평평한 격자와 라인 센서, 그리고 높은 속도의 분광광도법의 두번째 사용에서 얻어집니다.

반사도 측정 이미지

반사도 측정 이미지

극도로 미세한 파트와 렌즈의 반사 측정에 최적화 되었습니다.

올림푸스는 반경 17um 부터 70um의 비접촉 측정을 가능하게 하는 전용 대물렌즈를 제작해왔습니다. 새로운 렌즈는 곡면 또는 미세 전자 파트에서 높은 반복성을 갖게 합니다.

후면 반사 제거 원리

후면 반사 제거 원리

반사 방지 프로세싱은 샘플의 뒷부분에는 필요로 하지 않습니다.

표면 반사의 올바른 측정은 후면 반사를 막는데 필요한 단계적 비용없이 실시됩니다. 후면 반사광은 컨포칼 시스템과 유사한 초점외 out of focus 광 반사를 막는 특별 optics를 수단으로 인해 감소됩니다. 광학 요소들이 구형이든 비구면이든 평평하든, USPM-RU-W는 비반사 처리를 통해서 샘플 준비를 필요로 하지 않게 됩니다.

필름 두께 측정 방법이 가능합니다.

단층 또는 복층의 필름의 두께는 스펙트럼의 반사 데이터를 따라 평가됩니다. 당신은 어플리케이션을 휘해 최적화된 측정 방법을 석택할 수 있습니다 .

Peak valley 필름의 두께는 결과를 평가합니다.

Peak valley 필름의 두께는 결과를 평가합니다.

최고점, 최저점 방법

이 방법은 측정된 스펙트럼 반사 수치의 최고점 최저점 사이의 기간에 기반하여 필름 두께를 측정하는데 사용됩니다. 이는 단층 필름 측정에 효과적입니다. 어떤 복잡한 설정도 필요치 않으므로, 필름 두께 측정이 쉽습니다.

푸리에 변환 필름 두께는 결과를 측정합니다.

푸리에 변환 필름 두께는 결과를 측정합니다.

푸리에 변환 방법

이 방법은 측정된 스펙트럼 반사 수치의 기간에 기반하여 필름 두께를 측정하는데 사용됩니다. 이는 단층 필름 측정에 효과적입니다. 푸리에 변혼 방법은 노이즈를 제거하므로, 최고점과 최저점 수치를 발견하기 어려울 때 평가를 가능하게 합니다.

커브 피팅 필름 두께는 결과를 측정합니다.

커브 피팅 필름 두께는 결과를 측정합니다.

Curve Fit 방법

이 방법은 측정된 스펙트럼 반사성과 구조측정을 위한 반사 사이의 최소의 차이점을 가진 구조를 평가함으로써 필름 두께를 측정하는데 사용됩니다. 또한 이는 단층, 복층 필름 측정에 효과적입니다. 곡면 핏 방법 또한 최고점, 최저점 수치가 명확하지 않은 필름을 평가하는 것을 가능하게 합니다.

다양한 어플리케이션

높은 속도와 정확도는 다양하고 필요한 측정을 만족시킵니다.

반사성, 컬러, 그리고 필름 두께를 위한 렌즈 코팅 평가

반사성, 컬러, 그리고 필름 두께를 위한 렌즈 코팅 평가

휴대폰 카메라 렌즈
프로젝터 렌즈
디지털 카메라 렌즈
안경 렌즈

반사도와 미체 전자 부분의 필름 두께 측정

반사도와 미체 전자 부분의 필름 두께 측정

LED 팩키지
프린트된 서킷 보드

평면 광학 요소의 반사성, 필름 두께, 투과성 측정

평면 광학 요소의 반사성, 필름 두께, 투과성 측정

LCD 컬러 필터
광학 필름

45도의 입사각에서의 광학 원료의 반사성

45도의 입사각에서의 광학 원료의 반사성

프리즘
거울

사양

USPM-RU-W NIR 마이크로 분광 광도계: 사양

반사율 측정 투과율 측정*1 45도 반사율 측정*1
명칭 NIR 마이크로 분광 광도계 NIR 마이크로 분광 광도계용
투과율 측정 세트
NIR 마이크로 분광 광도계용
45도 반사율 측정 세트
모델 USPM-RU-W
측정되는 파장 380-1050nm
측정 기법 측정을 위해 참조 샘플과 비교했습니다 투과율은 기본적으로 100%로 측정됩니다 측정을 위해 참조 샘플과 비교했습니다
측정 범위 아래 나와 있는 대물 렌즈 사양을 참고하십시오 직경 약 2.0mm
측정 반복성(3σ) *2 반사율 측정 10x 및 20x 대물 렌즈 사용 시 ±0.02% 이하(430-1010nm)
±0.2% 이하(앞서 설명된 경우는 제외)
±0.3% 이하(430-1010nm)
±1.0% 이하(앞서 설명된 경우는 제외)
40x 대물 렌즈 사용 시 ±0.05% 이하(430-950 nm)
±0.5% 이하(앞서 설명된 경우는 제외)
필름 두께 측정 ±1% -
파장 디스플레이 해상도 1nm
조명 액세서리 전용 할로겐 광원, JC12V 55W(평균 수명: 700시간)
시프트 스테이지 하중 표면 크기: 200(W) x 200(D)mm
내하중: 3kg
작동 범위: (XY) ±40mm, (Z) 125mm
틸트 스테이지 L 하중 표면 크기: 140(W) x 140(D)mm
내하중: 1kg
작동 범위: (XT) ±1*, (YT) ±1*
무게 본체: 약 26kg(PC 제외) 본체: 약 31kg(PC 제외)*3
제어 전원 박스: 약 6.7kg
치수 본체: 360(W) x 446(D) x 606(H)mm 본체: 360(W) x 631(D) x 606(H)mm
제어 전원 박스: 250(W) x 270(D) x 125(H)mm (돌출된 부품은 제외)
전원 사양 I 입력 사양: AC 100-240V (110V) 50/60Hz
작동 환경 진동이 발생하지 않는 수평 장소
온도: 15ºC-30ºC
습도: 15%-60% RH(결로 없음)

*1 옵션 장치 *2 당사의 측정 조건에 따라 측정. *3 투과율 측정 세트와 45도 반사율 측정 세트를 모두 설치했을 때 총 무게는 약 33kg입니다.

대물 렌즈

모델
USPM-OBL10X
USPM-OBL20X
USPM-OBL40X
배율
10x
20x
40x
측정 NA*4
0.12
0.24
0.24
측정 범위*5
70μm
35μm
17.5μm
동작 거리
14.3mm
4.2mm
2.2mm
동작 거리
±5mm 이상
±1mm 이상
±1mm 이상

*4 대물 렌즈의 NA와는 다릅니다.
*5 스폿 직경

소프트웨어

사용하기 쉬운 사용자 인터페이스와 스펙트럼 분석 소프트웨어

GUI 레이아웃

GUI 레이아웃

사용하고 이해하기 쉬운 화면

측정 목적과 사용자의 필요에 따라 레이아웃과 각 윈도우의 위치, 크기 및 가시성을 변경합니다.

반사율 / 투과율 그래프, 반사율 / 투과율 텍스트, XY / L * a * b * 색도 다이어그램

반사율 / 투과율 그래프, 반사율 / 투과율 텍스트, XY / L * a * b * 색도 다이어그램

다양한 측정 결과

분광 반사율 / 투과율 그래프와 텍스트, 색상 측정 (XY 및 L * a * b * 색도 다이어그램), 및 필름 두께 측정 값은 쉽게 이해하고 한 화면에 표시할 수 있습니다.

쉬운 위치 조정 및 초점 조정

Z 축 정렬 및 X 및 Y 축 정렬을위해 센터링 (CT) 창과 초점 창을 사용하여 간단합니다.

초점

초점

위치 조정

위치 조정

작업 설정, 레이어 설정, 그래프 설정, 파라미터 설정

작업 설정, 레이어 설정, 그래프 설정, 파라미터 설정

모든 응용 프로그램에 대한 유연성

USPM-RU-W 소프트웨어는 특정 시료에 대한 최적의 성능을 달성하도록 구성할 수 있습니다.

공차 설정 기능과 반사율 측정의 예

공차 설정 기능과 반사율 측정의 예

자동의 공차 설정 기능은 합격 / 불량을 결정합니다.

시스템이 자동으로 GOOD/ NO GOOD 상태를 결정할 수 있습니다.

Resources

제품 리소스