LEXT OLS5100激光显微镜

OLS5100激光显微镜专为失效分析和材料工程研究而设计,将出色的测量精度和光学性能与智能工具相结合,使显微镜使用起来更加方便。 它可以快速高效完成亚微米级形貌和表面粗糙度的精准测量,不仅简化了工作流程,还能提供值得信赖的数据。

LEXT OLS5100 显微镜解决方案

用于材料分析的激光显微镜

智能工作流程,更快地完成实验

OLS5100激光显微镜专为失效分析和材料工程研究而设计,将出色的测量精度和光学性能与智能工具相结合,使显微镜使用起来更加方便。 它可以快速高效完成亚微米级形貌和表面粗糙度的精准测量,不仅简化了工作流程,还能提供值得信赖的数据。

Inserting image..., Picture

https://adobeassets.evidentscientific.com/content/dam/video/videolibrary/videos/ols5100-promotion_ja.mp4

Series of lenses

有保证的测量准确度

LEXT显微镜物镜可提供高度准确的测量数据。 与Smart Lens Advisor(智能镜头顾问)配合使用,可以获得值得信赖的准确数据。

  • 有保证的测量准确度
  • 10倍至100倍物镜可减少405 nm波长的像差,在整个视场中捕捉样品的真实形貌。
  • Smart Lens Advisor(智能镜头顾问)有助于为粗糙度测量选择合适的物镜

Conventional lenses have difficulty making accurate measurements in peripheral areas

传统物镜很难在边缘区域进行准确测量。

Dedicated LEXT objectives accurately measure peripheral areas

专用的LEXT物镜可准确测量边缘区域。

易于操作的激光扫描显微镜

通过精心设计的软件,新手和有经验的用户都可以轻松使用显微镜。

  • 轻松获取准确数据:将样品放在载物台上,然后按下“开始”按钮即可
  • 在客户的实验环境下也能提供有保证的测试结果*。

本网页上的信息(包括保证的准确度)均基于Evident设定的条件。

https://adobeassets.evidentscientific.com/content/dam/video/image/ie/ols5100/overview-easy-laser-scanning-microscopy.mp4
https://adobeassets.evidentscientific.com/content/dam/video/image/ie/ols5100/overview-easier-material-engineering.mp4

材料工程和失效分析实验更轻松

智能实验管理器可将以前耗时的任务自动化,使亚微米级3D观察和失效分析实验工作流程变得更加简单。

  • 利用宏功能实现分析工作流程的自动化
  • 测量数据易于整理
  • 将数据自动填充到实验计划矩阵中,减少了输入错误的几率
  • 测量结果以列表形式显示,一眼就能做出通过/不通过的判断。

可按照您的规格全面定制

利用OLS5100激光扫描显微镜的所有高级功能,对大型和重型样品进行材料分析。

了解更多

Inserting image...

可以信赖的服务和支持

从校准到培训,我们提供各种服务组合,帮助您的设备保持出色的性能。 Evident的服务合同:

了解更多

Inserting image...

优势特性

激光显微镜的优势特性

1. 亚微米级3D观察/测量

Inserting image...

观察纳米范围内的台阶,测量亚微米级的高度差。

2. 符合ISO25178标准的表面粗糙度测量

Inserting image...

可测量从线到面的表面粗糙度

3. 无接触、无损、快捷

Inserting image...

无需制备样品,只需将样品放在载物台上即可开始测量。

只需按一下按钮,即可获得可靠的数据

智能扫描II

无论是经验丰富的用户还是新手,都能使用Smart Scan II(智能扫描II)功能快速轻松地获取数据。只需将样品放在载物台上,按下启动按钮即可,剩下的工作就由显微镜完成。

  • PEAK算法:OLS5100显微镜采用PEAK算法构建3D数据。该算法可获得从低倍率到高倍率的高精度数据,并可缩短数据采集时间。
  • 跳过不必要的扫描:在测量包含几乎垂直平面的样品(如电子元件或MEMS)的台阶形貌时,可以通过跳过Z轴方向上不必要的扫描范围来减少数据采集时间。使用MPLAPON50XLEXT物镜时,约10秒钟就可完成对100 μm台阶的测量,且准确度不会降低。
  • 准确的形貌数据:OLS5100显微镜的自动判断系统可根据每个样品的要求进行调整,而HDR扫描则可通过改变探测灵敏度来获取两组形貌信息,以构建准确的形貌数据。
Inserting image...

为您的运行环境量身定制测量性能保证

Inserting image...
准确度和可重复性均有保证
测量工具的性能通常用准确度和可重复性来表示,准确度表明测量值与真实值的接近程度,可重复性表明重复测量值的变化程度。我们保证显微镜基于可追溯系统的准确性和可重复性,让您对测量结果充满信心。
Inserting image...

视场之外的表面测量
OLS5100显微镜的电动载物台上装有长度测量模块,可以保证拼接图像数据的准确性。以前的激光显微镜根据图案匹配拼接数据,而OLS5100显微镜将从长度测量模块获得的位置信息添加到图案匹配中,以提供具有很高可靠性的拼接数据,并保证准确度。

*仅适用于OLS5100-SAF/EAF

用户友好型高分辨率/高倍率观察

连续自动对焦

在移动载物台或更换物镜时,显微镜的连续自动对焦功能可保持图像的对焦状态,大幅减少了手动调整的需要。持续焦点跟踪功能可使您快速轻松地进行观察。

continuous auto focus
continuous auto focus

用于纳米级实时观察的双重微分干涉(DIC)

通过实时的纳米级观察,检测样品中的微小损伤。微分干涉(DIC)观察可使您观测到激光显微镜通常无法分辨的纳米级表面轮廓。借助DIC激光模式,就是使用5倍或10倍的低倍率物镜,OLS5100显微镜也可以获得与电子显微镜相当的实时图像。

Back surface of wafer

晶片后表面

Hard disk landing zone

硬盘启停区

综合分析

提供多种分析功能。以下仅为示例,详情请下载产品信息说明册或联系您当地的Evident代表。

Inserting image...

符合ISO25178标准的表面粗糙度测量

OLS5100显微镜使用0.4μm直径的激光束扫描样品表面,能够轻松测量接触式表面粗糙度仪无法测量的样品表面粗糙度。 同时还可以获取接触式表面粗糙度仪无法获得的表面彩色图像、激光图像和3D形貌数据,使得更多分析功能得以实现。

Inserting image...

测量表面轮廓上最高点和最低点之间的台阶高差

轮廓测量/测量辅助工具

轮廓测量功能通过在图像中的待测位置上任意绘制测量线的方式显示表面轮廓。它还可以测量任意两个点之间的距离、宽度、横截面积和半径。与接触式测量工具不同,这种测量位置的设置非常简单。 可以在图像上标记测量线和测量点,因此即使是非常小的位点也能准确测量。有了测量辅助工具,就可以使用最高值点、最低值点、中间值点和/或平均值点准确指定待测点。在所获取的数据中指定了一个位点时,可根据指定条件自动提取特征点。

软件

简便的材料工程与失效分析实验管理

测试新材料时,实验条件的管理相当复杂,而OLS5100激光显微镜的智能实验管理器可以通过自动执行关键步骤(如创建实验计划)来简化流程。
Inserting image...

自动化日常工作流程

Inserting image...

Inserting image...

宏功能

您可以使用宏制作工具自动化整个检测工作流程。轻松创建和编辑程序,然后运行已注册的宏文件,即可获得可靠的结果。结合智能实验管理器,只需单击一下,即可做出通过/未通过的判断。

Inserting image...
快速数据排序
即使事先未确定实验条件,也可以在获取数据时确定实验条件。可以在实验过程中更改实验条件,通过拖放方式可轻松添加图像和分析数据。它支持根据用户的工作流程量身定制的灵活实验。
Inserting image...
自动数据输入
软件会自动将值添加到实验计划矩阵中,以尽量减少输入错误的几率。只需点击几下,就可以将数据导出到Excel电子表格。

轻松整理实验条件数据

自动生成文件名

您可以点击实验计划中的每个单元格,软件就会自动生成一个包含评估条件的文件名,以方便记录保存。每个文件都包含相关的图像和数据。

Inserting image...

快速获得测量结果

Inserting image...
公差判断
公差判断功能可使您根据设定的公差一目了然地做出合格/不合格的判断。可以通过根据样品产量更改阈值的方法来验证公差。
Inserting image...
热图
软件的彩色图有助于更好地了解实验过程中收集到的数据。可以轻松更改颜色和热图百分比。直观的图表布局和热图可快速可视化数据,以使您在流程中更早地发现问题。

多数据分析

Inserting image...
数据对比分析
该功能可以并排显示多个获取的数据,并且统一显示比例和3D显示角度设定。图像校正和分析可同时进行。这对于分析不同处理条件下多个样品的形貌或缺陷非常有用。各种图像、配置文件和数值结果都可以导出到Excel,从而可更轻松地快速整理和评估数据。

规格

主机规格

型号
OLS5100-SAF
OLS5100-SMF
OLS5100-LAF
OLS5100-EAF
综合倍率
54x ~ 17280x
视场
16 µm ~ 5,120 µm
测量原理
光学系统
反射型共聚焦激光扫描(激光)显微镜
反射型共聚焦激光扫描(激光-DIC)显微镜
彩色
彩色-DIC
光接收元件
激光:光电倍增管(2通道)
彩色:CMOS彩色相机
高度测量
显示分辨率
0.5 nm
动态范围
16位
可重复性σn-1*1 *2 *5
5X:0.45μm,10X:0.1μm,20X:0.03μm,50X:0.012μm,100X:0.012μm
准确度 *1 *3 *5
0.15 + L/100 μm(L:测量长度[μm])
接图像准确度 *1 *3 *5
10X:5.0+L/100 μm;20X或更高:1.0+L/100 μm(L:拼接长度[μm])
测量噪声(Sq噪声) *1 *4 *5
1 nm(典型值)
宽度测量
显示分辨率
1 nm
可重复性3σn-1 *1 *2 *5
5X:0.4μm,10X:0.2μm,20X:0.05μm,50X:0.04μm,100X:0.02μm
准确度 *1 *3 *5
测量值+/- 1.5%
拼接图像准确度 *1 *3 *5
10X:24+0.5L μm;20X:15+0.5L μm;50X:9+0.5L μm;100X: 7+0.5L μm(L:拼接长度[mm])
单次测量时最大测量点数量
4096 × 4096像素
最大测量点数量
3600万像素
XY载物台配置
长度测量模块
不适用
不适用
工作范围
100 × 100 mm电动
100 × 100 mm 手动
300 × 300 mm 电动
100 × 100 mm 电动
最大样品高度
100 mm
40 mm
37 mm
210 mm
激光光源
波长
405 nm
最大输出
0.95 mW
激光分类
2类(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014*6
彩色光源
白光LED灯
电气功率
240 W
240 W
278 W
240 W
质量
显微镜主体
约重31 kg
约重32 kg
约重50 kg
约重43 kg
控制盒
约重12 kg

*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境中使用时可达到规格要求(温度:20℃±1℃,湿度:50%±10%)。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物镜且放大倍率为20倍或更高时。
*3 在使用专用LEXT物镜测量时。
*4 在使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值,可能与保证值不同。
*5 在Evident认证体系下有保证。
*6 OLS5100是2类激光产品。请勿盯着光束看。

** Evident提供的显微镜控制器已获得Window 10操作系统许可证。因此,Microsoft的许可条款适用,并且您要同意这些条款。请参阅以下Microsoft的许可条款。
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm

物镜

系列
型号
数值孔径(NA)
工作距离(WD)(mm)
UIS2物镜
MPLFLN2.5X
0.08
10.7
MPLFLN5X
0.15
20
专用LEXT物镜(10X)
MPLFLN10XLEXT
0.3
10.4
专用LEXT物镜(高分辨率)
MPLAPON20XLEXT
0.6
1
MPLAPON50XLEXT
0.95
0.35
MPLAPON100XLEXT
0.95
0.35
专用LEXT物镜(长工作距离型)
LMPLFLN20XLEXT
0.45
6.5
LMPLFLN50XLEXT
0.6
5.2
LMPLFLN100XLEXT
0.8
3.4
超长工作距离物镜
SLMPLN20X
0.25
25
SLMPLN50X
0.35
18
SLMPLN100X
0.6
7.6
长工作距离LCD物镜
LCPLFLN20XLCD
0.45
8.3-7.4
LCPLFLN50XLCD
0.7
3.0-2.2
LCPLFLN100XLCD
0.85
1.2-0.9

应用软件

标准软件
OLS51-BSW
标准软件
数据采集应用程序
分析应用程序(简单分析)
电动载物台软件包应用程序*1
OLS50-S-MSP
高级分析应用程序*2
OLS50-S-AA
薄膜厚度测量应用程序
OLS50-S-FT
自动边缘测量应用程序
OLS50-S-ED
颗粒分析应用程序
OLS50-S-PA
实验流辅助应用程序
OLS51-S-ETA
球体/圆柱体表面角度分析应用程序
OLS50-S-SA

*1 包括自动拼接数据采集和多区域数据采集功能。
*2 包括轮廓分析、差值分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、线粗糙度分析、面粗糙度分析和直方图分析。

Evident激光显微镜

Inserting image...

OLS5100-SAF配置示例

  • OLS5100-SAF100 mm手动载物台
  • 最大样品高度:100 mm
OLS5000-SAF
OLS5000-SAF - Dimention
  • OLS5100-EAF100 mm电动载物台
  • 最大样品高度:210 mm
OLS5000-EAF
OLS5000-EAF - Dimention
  • OLS5100-SMF100 mm电动载物台
  • 最大样品高度:40 mm
OLS5000-SMF
OLS5000-SMF - Dimention
  • OLS5100-LAF300 mm电动载物台
  • 最大样品高度:37 mm
OLS5000-LAF
OLS5000-LAF - Dimention

控制单元

Inserting image...

资源库

应用注释

洞见博客

视频

常见问题

产品资源