白光干涉测量物镜
白光干涉测量技术树立新标杆
我们的白光干涉测量（WLI）Mirau物镜可提供可靠的高分辨率数据采集，实现精准的3D表面测量。这些光学元件专为满足原始设备制造商（OEM）和研究人员的需求而设计，支持在线与离线计量应用，广泛适用于光学轮廓测量领域的各类场景。
白光干涉测量物镜的主要优势
- 宽广视野（FOV）可捕捉更多数据
- 高数值孔径（NA）可实现精细分辨率
- 出厂测试可确保性能稳定
无论您从事精密工程还是制造行业，这些优势都能助您提升效率、加速成果。
采用传统WLI 20X物镜（NA 0.4）与Evident 20X WLI物镜（NA 0.6）拍摄的菲涅尔透镜样本对比图。
采用传统WLI 50X物镜（NA 0.55）与Evident 50X WLI物镜（NA 0.8）拍摄的菲涅尔透镜样本对比图。
精准测量复杂样本表面
在光滑表面上精确测量陡坡对传统白光干涉测量法和共聚焦光学技术而言是一项挑战。
凭借高达0.8的高数值孔径，我们的WLI Mirau型光学系统能捕捉更多光线与更精细的细节。 更高数值孔径使光学轮廓仪能够对表面变化和微小特征进行精确的3D几何测量。
提升高精度3D计量效率
在高分辨率下扩展您的高精度测量区域。
我们的高数值孔径20X和50X物镜，在保持同等表面斜率测量能力与横向分辨率的前提下，其视野范围分别达到传统50X和100XWLI物镜六倍和四倍更宽广的视野减少了图像拼接的需求，并加速了垂直扫描干涉测量（VSI）和阶高测量。
左图：采用传统50X物镜（数值孔径0.55）获取的2×2拼接图像。右图：采用Evident公司WLI 20X物镜（数值孔径0.6）获取的单张图像。
在白光干涉测量中应对变化条件
测量准确度可能受到温度引起的焦距偏移影响。我们的集成式热补偿调节环可在温度波动时维持干涉条纹对比度，支持更精准、可靠且灵敏的表面测量。
只需将调节环调整至条纹对比度最高的位置，即可轻松获得稳定的测量结果。
轻松保持精度
工作不受干扰，毫无挫折感——即使存在振动因素也不在话下。
四颗固定螺钉*将物镜调节环牢牢锁定，让您专注于执行精密测量，而非频繁进行微调。
每颗固定螺钉间隔90度排列，任意一颗均可用于锁定物镜环。使用螺丝刀快速拧紧外侧螺钉——无需拆卸相邻物镜。
*目前10X、20X和50X物镜均配备固定螺钉。
值得信赖的光学性能始终如一
每款WLI物镜均采用半复消色差设计，并配备高品质基准镜，可实现高干涉条纹对比度与最小波前像差。每台设备均通过工厂测试，附有两份详细数据表，其中记录了基准镜质量与波前性能参数。
左：调整热变化前的无干涉条纹。中：调整环形结构时产生的干涉条纹对比度。右：环形结构调整后达到的最高干涉条纹对比度。
技术规格
| 物镜名称 | WLI10XMRTC | WLI20XMRTC | WLI50XMRTC | WLI100XMRTC |
| 校正 | 无限远校正 | 无限远校正 | 无限远校正 | 无限远校正 |
|
放大倍率 （配备焦距180毫米的镜筒透镜） |
10X | 20X | 50X | 100X |
| 数值孔径（NA） | 0.3 | 0.6 | 0.8 | 0.8 |
| 工作距离(WD) [mm] | 8.2 | 1.0 | 1.0 | 0.7 |
| 焦距 [mm] | 18 | 9.0 | 3.6 | 1.8 |
| 物镜视场数（OFN） | 22 | 22 | 22 | 22 |
| 浸泡介质 | 空气/干燥 | 空气/干燥 | 空气/干燥 | 空气/干燥 |
| 装有弹簧 | N/A | N/A | N/A | N/A |
| 干涉测量图案用热补偿调节环 | 有 | 有 | 有 | 有 |
| 调节环固定螺钉 | 有 | 有 | 有 | 无 |
| 色差校正水平 | 半复消色差（FL） | 半复消色差（FL） | 半复消色差（FL） | 半复消色差（FL） |
| 齐焦距离 [mm] | 45 | 45 | 45 | 45 |
| 后焦面（BFP）位置 [mm] | −3.2 | −8.8 | −4.8 | −3.0 |
| 外部尺寸（W × H） | Φ 29.7 mm × 36.8 mm | Φ 29.8 mm × 44.0 mm | Φ 31.5 mm × 44.0 mm | Φ 29.0 mm × 44.3 mm |
| 螺纹尺寸 | W 20.32 mm × 0.706 mm（RMS） | W 20.32 mm × 0.706 mm（RMS） | W 20.32 mm × 0.706 mm（RMS） | W 20.32 mm × 0.706 mm（RMS） |
| 保证测量温度 | 23 °C ±1 °C | 23 °C ±1 °C | 23 °C ±1 °C | 23 °C ±1 °C |
|
存放温度/湿度 （非冷凝环境） |
0 °C 至 40 °C / 20%～80 % | 0 °C 至 40 °C / 20%～80 % | 0 °C 至 40 °C / 20%～80 % | 0 °C 至 40 °C / 20%～80 % |
| 适用温度 | 15 °C 至 30 °C | 15 °C 至 30 °C | 15 °C 至 30 °C | 15 °C 至 30 °C |
| 预期用途 | 室内使用 | 室内使用 | 室内使用 | 室内使用 |