USPM RU W分光测定仪
Evident的USPM-RU-W NIR显微分光测定仪可在从可见光到近红外的宽广波长范围内进行快速、准确的分光测定。USPM-RU-W能够轻松测量普通分光光度计无法测量的微小区域或曲面的反射率，非常适合分析光学元件或微小的电子部件。
USPM-RU-W 显微镜解决方案
实的测定功能
使用一台即可进行反射率、膜厚、物体颜色、透过率、入射角45度反射率的各种分光测定。
测定反射率
测定以物镜聚光的Φ17~70μm的微小点的反射率。
反射率测定例：镜片
反射率测定例：镜片周边部位
膜厚测定的图例
测定膜厚
活用反射率数据，测定约50nm~约10μm的单层膜、多层膜的膜厚。
物体色的测定图例
测定物体颜色
根据反射率数据显示XY色度图、L*a*b*色度图及相关数值。
测定透过率 (选配)
从受台下部透过Ø2mm的平行光，测定平面样品的透过率。
透过率测定光路图
测定入射角为45度的反射率（选配）
从侧面向45度面反射Ø2mm的平行光，测定其反射率。
45度反射率测定光路图
光学系图
实现高速测定
使用平面光栅及线传感器进行全波长同时分光测定，从而实现高速测定。
反射率测定图例
十分适用于测定细小部件、镜片的反射率
新设计了可以在Ø17~70μm的测定区域中进行非接触测定的专用物镜。通常的分光光度计不能进行测定的细小电子部件或镜片等的曲面，也可以实现再现性很高的测定。
消除背面反射光的原理
测定反射率时，不需要背面防反射处理
将专用物镜与环形照明组合，不需要进行被检测物背面的防反射处理，就可测定最薄0.2mm的反射率*。*使用40×物镜时，在本公司的测定条件下进行测定。
可选择的膜厚测定方法
根据测定的分光反射率数据进行单层膜或多层膜的膜厚解析。可以根据用途选择最佳的测定方法。
峰谷法膜厚解析经过信息图例
峰谷法
这是一种根据测定的分光反射率值的峰值与低谷的周期性计算出膜厚的方法，对于测定单层膜是有效的。不需要复杂的设置，可以简单地求出。
傅里叶转换法膜厚解析经过信息图例
傅里叶转换法
这是一种根据测定的分光反射率值的周期性计算膜厚的方法，对于单层膜及多层膜的测定有效。难以检测出峰值及低谷等时，可以几乎不受噪音的影响进行解析。
曲线调整法膜厚解析经过信息图例
曲线调整法
这是一种通过推算测定的分光反射率值与根据某种膜构造计算的反射率的差达到最小的构造计算出膜厚的方法，对于单层膜及多层膜的测定有效。还可以进行不会出现峰值及低谷的薄膜解析。
多样化应用
高速、高精度地应对多样化测定需求。
通过测定球面、非球面的镜片、滤镜、反射镜等光学元件的反射率，进行涂层评价、物体颜色测定、膜厚测定。
数码相机镜片
投影仪镜片
光读取头镜片
眼镜片
适用于LED反射镜、半导体基板等微小电子部件的反射率测定、膜厚测定。
LED包装
半导体基板
适用于平面光学元件、彩色滤镜、光学薄膜等的反射率测定、膜厚测定、透过率测定。
液晶彩色滤镜
光学薄膜
适用于棱镜、反射镜等45度入射产生的反射率测定。
棱镜
反射镜
技术规格
近红外显微分光测定仪 USPM-RU-W：规格
| 反射率测定 | 透过率测定*1 | 45度反射测定*1 | ||
| 名称 | 近红外显微分光测定仪 | 近红外显微分光测定仪用 透过测定选配件 |
近红外显微分光测定仪用 45度反射测定选配件 |
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| 型号 | USPM-RU-W | |||
| 测定波长 | 380～1050nm | |||
| 测定方法 | 对参照样品的比较测定 | 对参照样品的比较测定 | ||
| 测定范围 | 参照下列对物镜的规格 | 约ø2.0mm | ||
| 测定 再现性（3σ）*2 |
反射率测定 | 使用10×、20×物镜时 | ±0.02[%]以下（430-1010nm）、 ±0.2[%]以下（上述以外） |
±1.25[%]以下（430-1010nm）、 ±5.0[%]以下（左侧记载除外） |
| 使用40×物镜时 | ±0.05[%]以下（430-950nm）、 ±0.5[%]以下（上述以外） |
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| 厚膜测定 | ±1% | - | ||
| 波长显示分解能 | 1nm | |||
| 照明附件 | 专用卤素灯光源 JC12V 55W（平均寿命700h） | |||
| 位移受台 | 承载面尺寸：200(W)×200(D)mm 承重：3 kg 工作范围：(XY) ±40mm, (Z)125mm |
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| 倾斜受台 | － | 承载面尺寸： 140(W)×140(D)mm 承重： 1 kg 工作范围：(XT) ±1°, (YT) ±1° |
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| 装置质量 | 主体：约26 kg（PC除外） | 主体：约31 kg（PC除外）*3 | ||
| 控制电源箱：约6.7kg | ||||
| 装置尺寸 | 主体部位：360(W)×446(D)×606(H)mm | 主体部位：360(W)×631(D)×606(H)mm | ||
| 控制电源箱：250(W)×270(D)×125(H)mm | ||||
| 电源规格 | 输入规格：100-240V (110VA) 50/60Hz | |||
| 使用环境 | 水平无振动的场所 温度：15～30℃ 湿度：15～60％RH（无结露） |
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*1 选件组件 *2 本社测定条件下的测定 *3 装配透过率测定套件与45度反射测定套件的总重量为33kg。
对物镜
*4 点径
软件
使用方便的用户界面的分光解析软件
GUI布局例
易懂的布局显示
各个窗口的布局配置、尺寸变更、窗口的显示/不显示等可以根据测定目的、操作人员的喜好进行自动设置。
反射率/透过率图表、反射率/透过率文本、XY/L*a*b*色度图、膜厚。
多样的测定结果
可以在一个界面中易懂地显示分光反射率/透过率图表、文本、颜色测定（XY色度图、L*a*b*色度图）、膜厚测定值。
位置调整、焦点调整简单
可以在[FOCUS]窗口与[CT]窗口中简单地调整测定样品的焦点与位置。
焦点
位置对准
工作设定工作、层（膜厚）设定、图表设定、参数设定。
充实的设置功能
根据测定样品、测定目的、测定方法，详细地设置测定条件，从而可以进行正确、迅速的测定。
设定规格的反射率测定例
可以简单地设置判定合格与否的规格值
设置规格值，显示OK/NG，合格与否的判定一目了然。