Überblick

Primäre Profilkurve

Die Kurve, die durch Anwendung eines Tiefpassfilters mit einem Cutoff-Wert λs für das gemessene Primärprofil ermittelt wird. Der aus dem Primärprofil berechnete Oberflächentexturparameter wird als Primärprofilparameter (P-Parameter) bezeichnet.

Rauheitsprofil

Das aus dem Primärprofil durch Unterdrückung der langwelligen Komponente unter Verwendung des Hochpassfilters mit einer Eckfrequenz λc abgeleitete Profil. Der aus dem Rauheitsprofil berechnete Oberflächentexturparameter wird als Rauheitsprofilparameter (R-Parameter) bezeichnet.

Welligkeitsprofil

Das Profil, das durch sequenzielle Anwendung von Profilfiltern mit den Cutoff-Werten λf und λc für das Primärprofil ermittelt wird. λf entfernt die langwellige Komponente, Filter λc die kurzwellige Komponente. Der aus dem Welligkeitsprofil berechnete Oberflächentexturparameter wird als Welligkeitsprofilparameter (W-Parameter) bezeichnet.

Profilfilter

Das Filter zur Isolierung der im Profil enthaltenen langwelligen und kurzwelligen Komponenten. Es sind drei Arten von Filtern definiert:

• λs-Filter: Filter zur Bestimmung der Schwelle zwischen der Rauheitskomponente und kurzwelligeren Komponenten
• λc-Filter: Filter zur Bestimmung der Schwelle zwischen der Rauheitskomponente und den Welligkeitskomponenten.
• Filter: Filter zur Bestimmung der Schwelle zwischen der Welligkeitskomponente und längerwelligen Komponenten

Grenzwellenlänge

Schwellenwert-Wellenlänge für Profilfilter Wellenlänge, bei der der Transmissionsfaktor für eine gegebene Amplitude 50 % beträgt.

Einzelmessstrecke

Die Länge in Richtung der X-Achse, mit der die Profileigenschaften bestimmt werden.

Beurteilungsmessstrecke

Länge in Richtung der X-Achse, mit der das zu bewertende Profil beurteilt wird.

^{Übersichtszeichnung zum Profilverfahren}

S-L-Oberfläche

Die Oberflächendaten dienen als Grundlage für die Berechnung von flächenhaften Oberflächentexturparametern (S-F-Oberfläche oder S-L-Oberfläche). Dies wird manchmal auch einfach als „Oberfläche“ bezeichnet.

Flächenfilter

Das Filter zur Trennung der lang- und kurzwelligen Komponenten, die in den S-L-Oberflächen enthalten sind. Es werden je nach Funktion drei Arten von Filtern definiert:

• S-Filter: Das Filter eliminiert kurzwellige Komponenten aus S-L-Oberflächen.
• L-Filter: Das Filter eliminiert langwellige Komponenten aus S-L-Oberflächen.
• F-Operation: Zuordnung oder Filter zur Eliminierung bestimmter Formen (Kugeln, Zylinder usw.).

Hinweis: Gaußsche Filter werden im Allgemeinen als S- und L-Filter angewendet, für die F-Operation wird die Gesamtzuordnung der kleinsten Quadrate angewendet.

Gaußscher Filter

Eine Art Flächenfilter, das normalerweise bei der Flächenmessung verwendet wird. Die Filterung erfolgt durch Faltung mit Gewichtungsfunktionen, die aus einer Gaußschen Funktion abgeleitet sind. Der Wert des Verfeinerungsindexes ist die Wellenlänge eines sinusförmigen Profils, bei dem 50 % der Amplitude übertragen werden.

Spline-Filter

Eine Art Flächenfilter mit geringerer Verzerrung am äußeren Rand als Gaußscher Filter.

Verfeinerungsindex

Der Index für die Schwellenwellenlänge eines Flächenfilters. Der Verfeinerungsindex für die Anwendung von flächenhaften Gaußschen Filtern wird in Längeneinheiten angegeben und entspricht dem Cutoff-Wert des Profilverfahrens.

S-F-Oberfläche

Die Oberfläche, die durch Eliminierung kurzwelliger Komponenten mit dem S-Filter und anschließender Bearbeitung durch Entfernen von bestimmten Formkomponenten mit der F-Operation entsteht.

S-L-Oberfläche

Die Oberfläche, die durch Eliminierung kurzwelliger Komponenten mit dem S-Filter und anschließender Eliminierung von langwelligen Komponenten mit L-Filterung entsteht.

Beurteilungsbereich

Ein rechteckiger Teil der Oberfläche, dessen Merkmale beurteilt werden sollen. Der Beurteilungsbereich ist ein Quadrat (falls nicht anders angegeben).

^{Konzeptdarstellung für das flächenhafte Verfahren}

* Theoretischer Wert.
** Standardwert bei Verwendung des OLS5000.

◎ : Am besten geeignet
○ : Geeignet
△ : Je nach Anwendung akzeptabel
X : Nicht geeignet

Eine Beschreibung der Funktionalität der jeweiligen Filter, der Filterkombinationen und Filtergrößen zur Analyse von Oberflächenmerkmalen finden Sie hier:

Die Filterbedingungen werden entsprechend den Messobjektiven der Analyse festgelegt.

Filterfunktionen

Bei der parametrischen Analyse von Oberflächenmerkmalen sollten drei Arten von Filtern (F-Operation, S-Filter und L-Filter) für die erfassten Oberflächentexturdaten in Übereinstimmung mit den Messobjektiven in Betracht gezogen werden.

F-Operation	S-Filter (Hochpassfilter)	L-Filter (Tiefpassfilter)
Nennformkomponenten von Proben (Kugeln, Zylinder, Kurven usw.) werden eliminiert.	Messrauschen und kleine Merkmale werden eliminiert.	Welligkeitskomponenten werden eliminiert.