Spezielle Infrarot- (IR)-Objektivlinsen bieten eine Komplettlösung für die digitale Bildgebung im nahen IR-Bereich

Das typische Fehleranalyseprotokoll für die Mikroelektronik setzt die Möglichkeit einer zerstörungsfreien Prüfung von Schaltungsmustern durch Silizium hindurch bei Erhaltung der mechanischen Integrität des Endprodukts voraus. Nichtinvasive Techniken wie die mikroskopische Bildgebung im nahen IR-Spektrum ermöglichen die Prüfung direkt durch Silizium hindurch bei bis zu 650 µm Dicke. Zu den Anwendungen gehört die Prüfung auf Kurzschlüsse in einem Produkt (Brennspuren, Stressindikatoren usw.), die Bonding-Ausrichtung (Analyse von Ausrichtungsmarkierungen zwischen dünn gebondeten Schaltungen), die Prüfung nach der elektrischen Prüfung (jede Art von Versagen) und die Prüfung von Chip-Schäden (Materialfehler, Verschmutzung usw.).

Die Anforderungen der meisten Fehleranalyse- und F&E-Laboratorien an die Messung von Defekten, Erstellung von Berichten und Archivierung von Bildern erfordern eine digitale Lösung. Aufgrund der speziellen Eigenarten dieser Anwendung ist der natürliche Kontrast minimal und muss durch Bildanalyse-Software optimiert werden. Die ungleichmäßige Helligkeitsverteilung der Beleuchtung führt zu Vignettierung, d. h. zur Abdunkelung der Bildecken gegenüber der Bildmitte, die in der Live-Ansicht und im erfassten Bild korrigiert werden muss. Während sich die Auflichtmikroskopie ideal für die Beleuchtung einer Probe von oben eignet, werden bei der IR-Durchlichtmikroskopie Proben durch das Silizium hindurch von unten beleuchtet, was einen höheren Kontrast ergibt.Damit ist die Durchlichtmikroskopie besonders nützlich bei der Prüfung der Musterausrichtung oder von Referenzmarkierungen durch das Silizium hindurch.

Ein komplettes digitales Nah-IR-System

Unsere speziellen IR-Objektivlinsen der Serie UIS2 bieten eine Komplettlösung für die digitale Bildgebung im nahen Infrarotbereich. Die neueste Generation der speziellen UIS2-IR-Nahinfrarot-Objektivlinsen besitzt eine höhere Transmission im nahen IR-Spektrum sowie Korrekturringe (Objektivlinsen 20x, 50x und 100x), die für bestimmte Siliziumdicken eingestellt werden können und so Transmission und Eigenschaften maximieren. Die IR-Digitalkamera XM10-IR von Olympus liefert kontrastreiche Bilder im gesamten Nah-IR-Spektrum bis 1100 nm, wobei dank des großen CCD-Sensors mit 2/3 Zoll Bilddiagonale das weite Sehfeld erhalten bleibt. Die Bildanalyse-Software OLYMPUS Stream ermöglicht im Gegensatz zu anderen IR-Bildgebungslösungen die umfassende Steuerung der XM10-IR-Kamera, einschließlich einer Shadingkorrektur in Echtzeit und damit höchste Bildgleichförmigkeit im gesamten Sehfeld. Außerdem kann der Anwender sowohl in Live-Bildern als auch in IR-Aufnahmen problemlos den Bildkontrast erhöhen. Die OLYMPUS Stream Software erlaubt darüber hinaus die Durchführung genauer Messungen an jedem Punkt des Sehfeldes, die automatische Erstellung von Berichten und die Archivierung von Bildern und relevanten Daten.

Unsere digitale Komplettlösung für den nahen IR-Bereich ist für die qualitativ hochwertige Bildgebung und die direkte Prüfung durch Silizium hindurch konzipiert und umfasst die folgenden Komponenten:

• Aufrechtes, zusammengesetztes IR-Mikroskop der Serie BX oder spezielles zusammengesetztes IR-Wafer-Mikroskop der Serie MX (IR-Mikroskope der Serie MX ermöglichen die gleichzeitige IR-Betrachtung im Auflicht und im Durchlicht)
• IR-Objektivlinsen der Serie UIS2-IR
• Hochempfindliche digitale FireWire IR-Kamera mit 1,4 MP CCD-Sensor
• Bildanalyse-Software OLYMPUS Stream

Ab jetzt Ergebnisse sofort erhalten

Unser digitales Komplettsystem für den nahen IR-Bereich ermöglicht die Aufnahme qualitativ hochwertiger Bilder von Strukturen unter Silizium, die Durchführung genauer Messungen, die Erstellung schlüssiger Berichte und die Archivierung von Bildern – alles ohne Beschädigung des Endprodukts. Außerdem wird durch die Verwendung eines digitalen Sensors für den nahen Infrarotbereich die charakteristische Bildverzögerung und -retention einer Analogkamera mit Bleisulfidröhre eliminiert. Diese umfassende Lösung ist darüber hinaus anwenderfreundlich – Bediener mit einem grundlegenden Verständnis von Mikroskopie und Bildgebung können sofort zufriedenstellende Ergebnisse erzielen.

Mit verschiedenen IR-Objektivlinsen der Serie UIS2-IR, dem aufrechten zusammengesetzten IR-Mikroskop BX2M-IR und der IR-Digitalkamera XM10-IR aufgenommene Bilder: