Mikroskoplösungen für den Fertigungsprozess von Leistungssteuereinheiten

Prüfung von Leistungssteuereinheiten

Die Leistungssteuereinheit ist eine Vorrichtung, die die elektrische Leistung steuert, die zum Antrieb eines Elektrofahrzeugs verwendet wird. In der Leistungssteuereinheit kommen mehrere Leistungshalbleiter zum Einsatz. Fehler an Halbleiterwafern können durch abgenutzte Fertigungsgeräte, unzureichende Einstellungen, menschliches Versagen oder Verunreinigung auftreten.

Unsere Lösung

Das DSX1000 Digitalmikroskop ist eine vielseitige Lösung für die Prüfung von Wafern. In einem einzigen System lassen sich eine Reihe von Mikroskopieverfahren auswählen, um Fehler mit geringer Vergrößerung zu erkennen und dann die Fehlerarten mit hoher Vergrößerung zu identifizieren.

Die Abmessung von Halbleitermustern muss korrekt gemessen werden, um eine ordnungsgemäße Leistung sicherzustellen. Mit dem OLS5100 Laser-Scanning-Mikroskop werden solche Messungen einfach und präzise durchführen.