Prüfgeräte für Halbleiter-Wafer und Bildschirme
Mikroskope von Evident zur Prüfung von Halbleiter-Wafern und Flachbildschirmen bieten ein Höchstmaß an Effizienz und ermöglichen eine schnelle Inbetriebnahme, einfache Bedienung, Fehleranalyse und Erweiterbarkeit.
Unsere Auswahl an Mikroskopen zur Prüfung von Halbleitern ist für einen sicheren Transfer von Wafern ausgelegt und ideal für die Fehlerprüfung von Halbleitern. Zusätzlich zu automatisierten Wafer-Handlingsystemen kann ein digitales Mikroskop zur detaillierten Analyse von kleinen Fehlern in Halbleitern eingesetzt werden.
Entdecken Sie im Folgenden unser komplettes Sortiment an Mikroskopen zur Prüfung von Flachbildschirmen und Halbleitern.
Mikroskop zur Prüfung von Halbleiterwafern
AL120
Die AL120 Wafer-Handler-Serie besteht aus einem Mikroskop zur Prüfung von Halbleitern, das den einfachen Transfer von Silizium- und Verbindungshalbleiter-Wafern, wie Siliciumcarbid (SiC) und Galliumarsenid (GaAs), von der Kassette auf den Mikroskoptisch mit verbesserten Möglichkeiten und Flexibilität ermöglicht und sich durch ein ergonomisches und bedienerfreundliches Design auszeichnet.
AL120-12
Der AL120-12 Wafer-Handler ist ein Mikroskop zur Prüfung von Halbleitern, der mit FOUP- (Front Opening Unified Pod) und FOSB-Boxen (Front Opening Shipping Box) kompatibel ist und sich für kostengünstige Back-End-Prüfungen eignet. Das sichere und ergonomische Design gewährleistet die Sicherheit des Bedieners beim effizienten Transfer von Wafern, einschließlich dünner und verformter Wafer.
MX63 / MX63L
Die Mikroskopsysteme MX63 und MX63L sind für hochqualitative Prüfungen von Wafern bis zu einer Größe von 300 mm optimiert. Sie sind mit Flachbildschirmen, Leiterplatten und anderen großen Mustern kompatibel und dank der modularen Bauweise können die benötigten Komponenten ausgewählt werden, um das System an die Anwendung anzupassen.
Geräte für die Prüfung von Halbleitern und Flachbildschirmen
Digitalkameras für Mikroskope
Mit den digitalen Mikroskopkameras von Evident können hochwertige Bilder von Proben aufgenommen werden. Mit ihrer hohen Auflösung und hervorragenden Farbtreue ermöglichen unsere Kameras die Anzeige von gestochen scharfen Live-Bildern mit hoher Auflösung, die eine klare Betrachtung und Fokussierung in Echtzeit ermöglichen.
Objektive zur Prüfung von Halbleiterwafern
Die Objektive der MXPLFLN-Serie von Evident wurde entwickelt, um eine hohe Auflösung und einen großen Arbeitsabstand gleichzeitig zu liefern. Sie eignet sich für die Prüfung von Halbleiter-Wafern.
Verwandte Anwendungen
Schaltkreisstruktur-Prüfung bei Wafer-Proben
Wenn sowohl die Schaltkreisstruktur als auch die Farbe einer Wafer-Probe mikroskopisch untersucht werden sollen, ist bei der konventionellen Methode eine Dunkelfeldbeleuchtung für die erste und eine Hellfeldbeleuchtung für die zweite Untersuchung erforderlich, wobei wiederholt zwischen den beiden Verfahren umgeschaltet werden muss. Dieses Mikroskopieverfahren ist zeitaufwendig, da bei der Erstellung eines Berichts für jedes Verfahren eine Bilderfassung erforderlich ist.
Defekterkennung auf geätzten Siliziumkarbid-Wafern (SiC)
Siliziumkarbid (SiC) ist ein wichtiges Material in der Halbleiterindustrie, da es aufgrund seiner technischen und physikalischen Eigenschaften in modernen Schaltungen eingesetzt wird. SiC-Bauelemente revolutionieren die Leistungselektronik in allen Branchen aufgrund ihrer höheren Effizienz, Leistungsdichte und Zuverlässigkeit in Anwendungen wie Elektrofahrzeugen, Systemen für erneuerbare Energien und industriellen Antrieben.
Mikroskopie in vollautomatischen Fertigungsprozessen
Mikroelektronische Bauelemente als Bestandteil von Elektronik sind Teil unseres täglichen Lebens geworden - ob in Smartphones, Smart Homes oder Smart Cars mit intelligenten optischen Sensoren und Emittern, sowie entsprechenden Logik- und Speicherbausteinen. Fortschrittliche Bauelemente dieser Art erfordern hochentwickelte Fertigungsanlagen und besondere Sorgfalt in der Handhabung, auch während der anschließenden Qualitätsprüfung. Daher ist die Halbleiter-Wafer-Herstellung hochautomatisiert. Sie wird aber punktuell durch gezielte manuelle Prüfprozesse ergänzt, wobei die meisten Vorgänge in einer Reinraumumgebung durchgeführt werden.
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