Inspección de patrón de circuito en muestras de obleas

Muestra de una oblea

Aplicación

Cuando se debe observar el patrón de circuito y el color de una muestra de oblea, el método convencional a emplear es la iluminación de campo oscuro como primer requisito seguido por la iluminación de campo claro, mediante un intercambio repetido entre dos técnicas. Este método de observación necesita bastante dedicación debido a que la adquisición de imágenes tiene que ejecutarse con cada técnica a la hora de crear un informe.

Solución Olympus

Los microscopios industriales MX63/MX63L para la inspección de semiconductores/FPD proporcionan una alternativa eficiente a los métodos de observación convencionales: la función de iluminación MIX. Con la iluminación MIX, los patrones de circuito y la información sobre el color de las obleas pueden observarse simultáneamente. La nitidez y la claridad de la imagen MIX ayudan a mejorar la eficacia de trabajo y la creación de informes.

Características de los productos

• Proceso de trabajo racionalizado
  Los microscopios MX63/MX63L están equipados con funciones que facilitan el flujo de trabajo de inspección de principio a fin, con un nivel de rendimiento que sigue siendo igual de eficiente en un entorno de sala limpia.
• Facilidad de uso
  Los parámetros de los microscopios MX63/MX63L pueden ajustarse fácilmente gracias a las funciones de asistencia en cuanto a enfoque, intensidad de la luz y control de apertura. El funcionamiento simplificado de estos microscopios permiten que incluso los operadores menos experimentados lleven a cabo las inspecciones bajo condiciones de observación adecuadas.
• Tecnología avanzada para procesamiento de imágenes
  Basados en décadas de experiencia óptica, los microscopios MX63/MX63L proporcionan imágenes claras y nítidas para ayudar a garantizar resultados de medición fiables.
• Modularidad
  El diseño modular de los microscopios MX63/MX63L permite a los usuarios optar por una selección dentro de un amplio abanico de componentes ópticos para cubrir las necesidades específicas de su aplicación. El sistema requerido puede componerse sin incurrir en costos (Esp. costes) de inversión excesivos.

Iluminación de campo claro
El color de la oblea es visible, pero el patrón de circuito es poco claro.

Iluminación de campo oscuro
El patrón de circuito es claro, pero el color de la oblea nada claro.

Iluminación MIX (iluminación combinada de campo claro y campo oscuro)
La información de color y los patrones de circuito de la oblea pueden observarse simultáneamente con nitidez y claridad.