Inspection des motifs de circuits sur des échantillons de wafers

Échantillon de wafer

Application

Lorsqu’il est nécessaire d’observer au microscope à la fois le motif du circuit et la couleur d’un échantillon de wafer, la méthode classique fait appel à une illumination sur fond noir pour le premier et à une illumination sur fond clair pour le second, et requiert une permutation répétée entre les deux techniques. Cette méthode d’observation prend du temps, car il faut acquérir les images nécessaires à chaque technique au moment de créer un rapport.

Solution proposée par Olympus

Les microscopes industriels MX63/MX63L pour l’inspection des semi-conducteurs/FPD offrent une solution de rechange efficace aux méthodes d’observation classiques : la fonction d’illumination MIX. Grâce à l’illumination MIX, il est possible d’observer simultanément les motifs de circuits et les informations de couleur des wafers. La netteté et la clarté de l’image MIX permettent d’améliorer l’efficacité du travail et la création de rapports.

Caractéristiques des produits

• Flux de travaux rationalisé
  Les microscopes MX63/MX63L sont équipés de fonctions qui facilitent le flux de travaux d’inspection du début à la fin et assurent un niveau de performance tout aussi efficace dans un environnement de salle blanche.
• Convivialité
  Les paramètres des microscopes MX63/MX63L sont faciles à ajuster grâce aux fonctions qui simplifient le réglage de la mise au point, de l’intensité de la lumière et de l’ouverture. Le fonctionnement simplifié des microscopes MX63/MX63L permet même aux utilisateurs moins expérimentés de réaliser des inspections dans les conditions d’observation appropriées.
• Technologie d’imagerie de pointe
  Reposant sur des décennies d’expérience en optique, les microscopes MX63/MX63L fournissent des images claires et nettes, ce qui contribue à garantir des résultats de mesure fiables.
• Modularité
  La conception modulaire des microscopes MX63/MX63L permet aux utilisateurs de choisir parmi un large éventail de composants optiques pour répondre aux besoins particuliers de leur application. Ils peuvent ainsi créer un système mieux adapté à leurs besoins, sans avoir à débourser des coûts excessifs.

Illumination sur fond clair
La couleur du wafer est visible, mais le motif du circuit n’est pas clair.

Illumination sur fond noir
Le motif du circuit est clair, mais la couleur du wafer est invisible.

Illumination MIX (illumination simultanée sur fond clair et sur fond noir)
Les motifs de circuits et les informations de couleur des wafers peuvent être observés simultanément avec netteté et clarté.