Profilomètre optique 3D LEXT OLS5500
Le profilomètre optique hybride 3D LEXT™ OLS5500 réunit la microscopie à balayage laser (LSM), l’interférométrie à lumière blanche (WLI) et la microscopie à variation de mise au point (FVM) dans une plateforme primée. Conçu pour les équipes de R&D, d'assurance qualité et de contrôle qualité, il offre des détails de surface précis, une précision traçable pour des mesures fiables, et une expérience utilisateur intuitive pour rationaliser les flux de travail. Des données fiables, grâce à une optique de précision, un étalonnage vérifiable et une automatisation intelligente, permettent aux laboratoires de passer sans difficulté de la première découverte à la décision finale.
- Product Status: Ce produit remplace le LEXT OLS5100 et les systèmes de la série OLS antérieurs.
Profilomètre optique 3D LEXT OLS5500
Surfaces sans limite, résultats fiables
En intégrant la microscopie confocale à balayage laser (LSM), l’interférométrie en lumière blanche (WLI) et la microscopie à variation de mise au point (FVM) dans une seule plateforme, le profilomètre optique 3D LEXT™ OLS5500 primé garantit que chaque surface peut être mesurée de façon claire et précise.
La solution d’imagerie complète pour une mesure de surface précise
- LSM : résolution latérale exceptionnelle pour les textures rugueuses, les microstructures et les pentes abruptes.
- Interférométrie à lumière blanche : précision verticale nanométrique pour les surfaces lisses ou inclinées et les films minces.
- FVM : couverture macro-micro pour les zones vastes ou irrégulières requérant un contexte plus large.
Chaque méthode complète les autres, offrant ainsi le mode d’imagerie adapté à chaque surface. Générez des données de surface complètes et conformes à la topographie réelle, du nanomètre au millimètre et des pentes plates aux pentes abruptes, le tout dans un seul système.
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Imagerie du boîtier RF réalisée à l'aide de trois techniques de métrologie de surface.
Imagerie d'une précision exceptionnelle
À gauche : Avec des objectifs conventionnels, la distorsion augmente en périphérie et affecte la précision des mesures. À droite : Avec les objectifs LEXT, la périphérie est reproduite sans distorsion pour des mesures précises.
Précision sur l’ensemble des surfaces
Que vous travailliez avec des échantillons très inclinés, des surfaces réfléchissantes ou des géométries complexes, les objectifs conçus en interne conservent une clarté et une fidélité de forme optimales sur l'ensemble du champ de vision.
Objectifs de microscopie laser
Les objectifs LEXT dédiés mesurent avec précision les zones périphériques, surmontant ainsi les difficultés de mesure des objectifs conventionnels.
Objectifs LEXT, de gauche à droite : longue distance de travail (20X, 50X, 100X), hautes performances (20X, 50X, 100X), et faible grossissement (10X).
Objectifs d’interférométrie à lumière blanche
Les objectifs WLI à ouverture numérique élevée (jusqu'à 0,8 NA) produisent des franges d'interférence nettes et une stabilité de phase exceptionnelle, même sur des surfaces abruptes ou texturées.
Images de comparaison d’un échantillon de lentille de Fresnel obtenues avec un objectif WLI 20X conventionnel (gauche, NA 0,4) et avec l’objectif WLI 20X d’Evident (droite, NA 0,6).
Images de comparaison d’un échantillon de lentille de Fresnel obtenues avec un objectif WLI 50X conventionnel (gauche, NA 0,55) et avec l’objectif WLI 50X d’Evident (droite, NA 0,8).
Images de comparaison d’un échantillon d’étalonnage obtenues avec un objectif WLI 50X conventionnel (gauche, NA 0,55) et l’objectif WLI 50X d’Evident (droite, NA 0,8).
Clarté qui révèle l'invisible
Accélérez la validation en révélant des caractéristiques critiques invisibles aux systèmes conventionnels. Des structures fines et d'une topographie subtile aux surfaces transparentes et aux caractéristiques à faible contraste, l'OLS5500 offre de multiples options d'amélioration du contraste pour révéler des détails cachés ou subtils.
- L'imagerie 4K avec un capteur haute sensibilité offre un contraste précis et une reproduction fidèle des couleurs.
- Le CID laser et le CID couleur révèlent le relief de surface et les limites des matériaux avec une clarté exceptionnelle.
- Le filtre de détection de surface supérieure isole la surface réelle, éliminant les interférences des couches sous-jacentes.
Images comparatives d'un film polymère. À gauche : image laser sans CID À droite : Image laser avec CID.
Images comparatives de la zone d'atterrissage d'un disque dur. À gauche : Image en couleur sans CID. À droite : Image en couleur avec CID
Comparaison d’images assemblées d’une plaquette. À gauche : Sans correction intelligente de l'ombrage. À droite : Avec correction intelligente de l'ombrage.
Imagerie de grande surface sans discontinuité
Inspectez des zones plus étendues, sans perte de détails ni d'intégrité de l'image. La correction intelligente de l'éclairage minimise les artefacts et équilibre l'éclairage sur les images fusionnées, garantissant des résultats sans couture, même sur des surfaces peu contrastées ou irrégulières. Cette netteté d'un bord à l'autre permet des analyses cohérentes.
Mesures de confiance
Mesures précises et fiables
Moins de réexamens, de retouches et de rejets—grâce à des mesures fiables en LSM, WLI et FVM que vous pouvez vérifier et prouver.
Exactitude et répétabilité garanties
Obtenez des mesures cohérentes et de haute précision dans toutes les applications — l’OLS5500 est le premier profilomètre optique 3D au monde qui garantit l’exactitude et la répétabilité* des mesures LSM et WLI.
L’étalonnage sur site par les techniciens d’Evident garantit des mesures précises et répétables, avec des relevés horodatés permettant de s’aligner sur les normes métrologiques internationales.
Chaque valeur que vous mesurez est validée par notre processus d'étalonnage traçable, vous offrant des résultats que vous pouvez défendre lors d'audits, de rapports et de contrôles de production.
*D'après les recherches internes menées par Evident en octobre 2025. L’exactitude et la répétabilité garanties ne s’appliquent que si l’appareil a été étalonné conformément aux spécifications du fabricant et qu’il est exempt de tout défaut. L’étalonnage doit être effectué par un technicien d’Evident ou un spécialiste agréé par Evident.
Exemple pour la norme AIST
Module de mesure de la longueur
Niveau de bruit de mesure garanti
Faites confiance à vos mesures de hauteur, même à l'échelle nanométrique. L'OLS5500 garantit des niveaux de bruit de mesure* conformes à la norme ISO 25178-700:2022 :
· 1 nm avec objectifs MPLAPON 100X LEXT
· 0,08 nm avec objectifs WLI
Cela assure une détection haute résolution des variations topographiques les plus subtiles, des films minces aux surfaces à micro-motifs.
*Vous recevrez un certificat de garantie de bruit de mesure. Il s’agit d’une valeur représentative mesurée dans les conditions spécifiées par Evident et différente de la valeur garantie.
Précision garantie pour les images assemblées
L’OLS5500 intègre un module de mesure de longueur dans sa platine motorisée, garantissant* la précision des données d’images assemblées. Alors que les systèmes conventionnels reposent uniquement sur la correspondance de motifs, l’OLS5500 combine cette méthode avec un retour d’information positionnel, fournissant des images assemblées très fiables pour les techniques LSM et WLI.
*La précision garantie pour les images assemblées s'applique uniquement à la platine motorisée de 100 mm. (OLS5500-SAF est disponible pour LSM et WLI, et OLS5500-EAF est disponible uniquement pour LSM).
Service et support qui vous donnent les moyens d'agir
Lorsqu'il s'agit de protéger votre investissement et l'intégrité de vos recherches, vos besoins passent avant tout. Parce que nous assumons la qualité de nos produits, nous nous engageons à fournir un service et un soutien technique rapides qui vous aideront à atteindre vos objectifs.
Assurez la conformité et la disponibilité de vos systèmes grâce à notre service d'étalonnage sur site, notre réseau de service mondial et notre assistance à distance, forts de plus de 100 ans d'expertise en microscopie.
Flux de travail optimisé
Flux de travail plus intelligent, débit optimisé
Les outils d'automatisation et de flux de travail intelligents de l'OLS5500 sont conçus pour rendre l'analyse de surface plus facile et plus rapide pour les utilisateurs de tous niveaux. Obtenez des résultats cohérents et fiables du premier coup en LSM, WLI et FVM pour maximiser l'efficacité et le débit d'inspection.
Observations sans interruption
L’OLS5500 génère automatiquement une macro-carte au fur et à mesure que la scène se déplace, permettant de suivre et de documenter chaque zone pour une navigation sans effort. Grâce à la mise au point automatique continue, la netteté reste optimale tout au long du mouvement : pas de mise au point manuelle, pas d’interruptions.
Automatisation intelligente pour une précision sans effort
L'OLS5500 automatise les principaux processus de mesure afin que vous puissiez vous concentrer sur l'analyse et non sur le réglage.
Acquérez rapidement et facilement des données avec Smart Scan II pour LSM. Placez l’échantillon sur la platine, appuyez sur le bouton de démarrage, et le système s’occupe du reste.
L’algorithme PEAK fournit des données très précises, quel que soit le grossissement, et réduit le temps d’acquisition de données. Lors de la mesure de la forme des paliers sur un échantillon, le temps d’acquisition des données peut être réduit en sautant la plage de balayage inutile selon l’axe Z.
Étalon VLSI de 83 nm de hauteur (MPLFLN10LEXT).
Motif de résiste sur une surface de silicium. Avec l’aimable autorisation du centre des nanotechnologies de l’Université de Kyoto.
À gauche : Fonction Smart Judge désactivée : À droite : Smart Judge activé.
Une constance sur laquelle vous pouvez compter
Automatisez les inspections grâce aux macros : créez, modifiez et exécutez des procédures pour des résultats fiables. Associez-le au Smart Experiment Manager pour prendre des décisions de réussite/échec en un seul clic. Enregistrez les rapports en tant que modèles afin d’optimiser les mesures répétées et de garantir la cohérence des résultats pour toutes les analyses et tous les utilisateurs.
L'intégration du logiciel PRECiV™ pour la métallographie de routine, les flux de travail améliorés par l'IA et l'analyse 2D avancée prend en charge des applications spécialisées et des environnements de production à haut débit.
Mesure 40 fois plus rapide sans compromis
L'OLS5500 offre à la fois vitesse et précision. Son mode avancé d'interférométrie à lumière blanche (W.L.I.) accélère les mesures de surface jusqu'à 40 fois par rapport à la microscopie à balayage laser (L.S.M.) conventionnelle, sans perte de précision ni de traçabilité.
- Idéal pour la validation rapide des processus, la vérification de la conception et l'échantillonnage de la production.
- Maintient une précision constante, même sur des échantillons volumineux et complexes.
Échantillon : Hauteur de marche de 60 nm, zone de mesure : 1,280 µm.
LSM : Durée d’acquisition des données : 630 s ; image assemblée 6×6 acquise avec un objectif LSM 50X (NA 0,95).
Interférométrie à lumière blanche : Durée d’acquisition des données : 15 s ; image unique acquise avec un objectif WLI 10X (NA 0,3).
Champ de vision élargi, flux de travail accéléré
Gagnez du temps en imagerie d'échantillons volumineux ou complexes. Les objectifs Mirau WLI à ouverture numérique élevée de l’OLS5500 élargissent le champ de vision mesurable tout en préservant la précision verticale.
· Objectif 20X : Couverture jusqu'à 6 fois plus large que les objectifs WLI 50X classiques.
· Objectif 50X : Couverture jusqu'à 4 fois plus large que les objectifs WLI 100X classiques.
Moins d'images par zone impliquent moins d'étapes d'assemblage d'images, ce qui améliore l'efficacité tout en maintenant des données traçables et de haute fidélité.
Caractéristiques techniques
Caractéristiques techniques de l’unité principale LEXT OLS5500
| Modèle | OLS5500-SAF | OLS5500-EAF | OLS5500-LAF | ||
| Grossissement total | de 54X à 17 280X | ||||
| Champ de vision | De 16 µm à 5,120 µm | ||||
| Principe de mesure | Système optique |
Microscopie confocale à balayage laser en réflexion Microscopie CID en réflexion, confocale à balayage laser Microscopie à variation de la mise au point, couleur, CID en couleur |
|||
| Interférométrie à lumière blanche | - | ||||
| Élément de réception de la lumière | Laser : Photomultiplicateur (2 ch), Couleur : Caméra couleur CMOS | ||||
| LSM | Hauteur | Répétabilité σn-1 *1 *2 *5 | x5 : 0,45 μm ; x10 : 0,1 μm ; x20 : 0,03 μm ; x50 : 0,012 μm ; x100 : 0,012 μm | ||
| Précision *1 *3 *5 | 0,15 + L/100 μm (L : longueur de mesure [μm]) | ||||
| Bruit de mesure*1 *4 *5 | 1 nm (typique) | ||||
| Longueur | Répétabilité 3σn-1 *1 *2 *5 | x5 : 0,4 μm ; x10 : 0,2 μm ; x20 : 0,05 μm ; x50 : 0,04 μm ; x100 : 0,02 μm | |||
| Exactitude *1 *3 *5 | Valeur de mesure +/- 1,5 % | ||||
| Nombre maximal de points de mesure dans une seule mesure | 4096 × 4096 pixels | ||||
| Nombre maximal de points de mesure | 400 mégapixels | ||||
| Configuration de la platine XY | Plage de fonctionnement | 100 mm × 100 mm (3,9 × 3,9 po) motorisé | 300 mm × 300 mm (11,8 × 11,8 po) motorisé | ||
| Hauteur maximale de l’objet | 100 mm (3,9 po) | 210 mm (8,3 po) | 37 mm (1,5 po) | ||
| Source de lumière laser | Longueur d’onde | 405 nm | |||
| Puissance maximale | 0,95 mW | ||||
| Classe laser | Classe 2 (JIS C 6802:2018, IEC60825-1:2014, EN60825-1:2014/A11:2021, GB/T 7247.1-2024） | ||||
| Source de lumière en couleurs | LED blanche | ||||
| Puissance électrique | 240 W | 278 W | |||
| Poids | Corps du microscope | 31 kg (68,3 lb) (Env.) | 43 kg (94,8 lb) (Env.) | 50 kg (110,2 lb) (Env.) | |
| contrôle à ultrasons | 12 kg (26,5 lb) (Env.) | ||||
LEXT OLS5500 WLI Caractéristiques techniques
Hauteur maximale de l’objet
Colspan=2
*1 Garantis pour une utilisation dans un environnement à température et taux d’humidité constants (température : 20 °C ±1 °C, humidité : 50 % ± 10 %) selon les spécifications ISO554(1976) et JIS Z-8703(1983).
*2 Pour un grossissement de 10× ou plus, lorsque mesuré avec un objectif LEXT dédié.
*3 Si la mesure est prise avec un objectif LEXT dédié.
*4 Valeur habituelle si la mesure est prise avec l’objectif MPLAPON100XLEXT. Peut différer de la valeur garantie.
*5 Garantis par le système de certificat Evident.
*6 Il s'agit d'une valeur représentative mesurée à l'aide de standards de hauteur d'étape de 83 nm, traçables aux étalons nationaux dans des conditions spécifiées par Evident, et elle diffère de la valeur garantie. La valeur garantie est de 0,15 + L/100 μm.
*7 Équivalent au bruit de mesure. *8 Vérifié dans les conditions spécifiées par Evident.
Logiciel d’application LEXT OLS5500
*1 Inclut les fonctions d’acquisition de données par assemblage automatique et d’acquisition de données sur plusieurs zones.
*2 Inclut l’analyse de profil, l’analyse de différence, l’analyse de la hauteur d’un incrément, l’analyse de surface, l’analyse de surface/volume, l’analyse de rugosité de ligne, l’analyse de rugosité de surface et l’analyse d’histogramme.
Lentilles objectives du LEXT OLS5500
Ressources
Note d’application
Analyses
Vidéos
OLS5100 - Gestionnaire d'expériences intelligent - Évaluation de la tolérance
OLS5100 – Gestionnaire d’expériences intelligent : modifiez votre flux de travail à la volée
OLS5100 – Automatisation du flux de travail avec la fonction macro
OLS5100 : vidéo promotionnelle
OLS5100 Experiment Total Assist
OLS5100 Smart Scan II
OLS5100 Mise au point automatique continue
OLS5100 : Cartographie macro en temps réel
