Profilomètre optique 3D LEXT OLS5500
Surfaces sans limite, résultats fiables
Un profilomètre optique 3D hybride qui unit la microscopie à balayage laser (LSM), l’interférométrie à lumière blanche (WLI) et la microscopie à variation de mise au point (FVM) sur une seule plateforme—offrant des détails de surface précis, une exactitude traçable et une expérience utilisateur intuitive pour rationaliser les flux de travail de la découverte à la décision.
- Product Status: Ce produit remplace le LEXT OLS5100 et les systèmes de la série OLS antérieurs.
Profilomètre optique 3D LEXT OLS5500
Applications industrielles
Le monde académique
Semi-conducteur
Contrôleur pour l'électronique
Métaux et matériaux
Imagerie d'une précision exceptionnelle
Surfaces sans limite, résultats fiables
Le LEXT™ OLS5500 primé vous permet d’identifier des caractéristiques subtiles et des variations de surface avec une clarté inégalée : utilisez le LSM, la WLI et la FVM pour détecter les défauts, valider les conceptions et prendre des décisions en toute confiance.
Précision sur l’ensemble des surfaces
Les objectifs conçus en interne garantissent une image nette et une reproduction fidèle des formes sur l'ensemble du champ de vision, même avec des échantillons à forte inclinaison, réfléchissants ou complexes. Contrairement aux objectifs classiques qui déforment l'image en périphérie, les objectifs LEXT offrent des mesures précises du centre jusqu'aux bords.
Objectifs d’interférométrie à lumière blanche
Idéal pour les surfaces lisses et inclinées, le système mesure des marches à l'échelle nanométrique avec des performances de hauteur constante, quel que soit le grossissement de l'objectif.
Images de comparaison d’un échantillon de lentille de Fresnel obtenues avec un objectif WLI 20X conventionnel (gauche, NA 0,4) et avec l’objectif WLI 20X d’Evident (droite, NA 0,6).
« Avec le LEXT™ OLS5500, nous pouvons acquérir des images optiques 3D haute résolution et extraire des détails de surface significatifs à partir de structures délicates tout en minimisant la manipulation des échantillons et le risque de dommages. »
Dr Elliot Cheng, Centre de microscopie et de microanalyse de l’Université du Queensland
Une vision claire des échantillons difficiles
L’imagerie 4K, un filtre de détection de surface supérieure, le CID laser, une optique à double sténopé et un capteur haute sensibilité travaillent ensemble pour offrir une clarté, un contraste et une fidélité des couleurs exceptionnels, même sur les échantillons les plus difficiles.
Images comparatives d'un film polymère. À gauche : image laser sans CID À droite : Image laser avec CID.
Sans CID laser
Avec CID laser
Comparaison d’images assemblées d’une plaquette. À gauche : Sans correction intelligente de l'ombrage. À droite : Avec correction intelligente de l'ombrage.
Sans correction intelligente de l'ombrage
Avec ombrage intelligent
Imagerie de grande surface sans discontinuité
Obtenez des images nettes et fiables de grande surface avec un minimum d’artefacts d'assemblage, même sur des surfaces à faible contraste ou irrégulières. L’assemblage intelligent et le contrôle précis de la platine garantissent des résultats grand champ précis, cohérents et prêts pour la présentation.
Mesures de confiance
Mesures précises et fiables
Moins de réessais, de retouches et de rejets grâce à des mesures LSM, WLI et FVM vérifiées. L’OLS5500 est le tout premier profilomètre optique 3D au monde assurant une précision et une répétabilité garanties* pour les mesures LSM et WLI.
*D'après les recherches internes menées par Evident en octobre 2025. L’exactitude et la répétabilité garanties ne s’appliquent que si l’appareil a été étalonné conformément aux spécifications du fabricant et qu’il est exempt de tout défaut. L’étalonnage doit être effectué par un technicien d’Evident ou un spécialiste agréé par Evident.
Illustration montrant la différence entre exactitude et répétabilité.
Précision garantie pour les images assemblées
Pour des mesures de grande surface, l’OLS5500 assure des données d’image assemblées fiables en combinant une platine motorisée avec un module de mesure de longueur intégré et une correspondance de motifs avancée. Cette approche fournit des données assemblées traçables et de haute fiabilité en LSM et WLI, sous les conditions spécifiées de la platine.
Service et support qui vous donnent les moyens d'agir
Lorsqu'il s'agit de protéger votre investissement et l'intégrité de vos recherches, vos besoins passent avant tout. Parce que nous assumons la qualité de nos produits, nous nous engageons à fournir un service et un soutien technique rapides qui vous aideront à atteindre vos objectifs.
Assurez la conformité et la disponibilité de vos systèmes grâce à notre service d'étalonnage sur site, notre réseau de service mondial et notre assistance à distance, forts de plus de 100 ans d'expertise en microscopie.
Flux de travail optimisé
Automatisation intelligente pour une précision sans effort
Les outils d'automatisation et de flux de travail intelligents de l'OLS5500 sont conçus pour rendre l'analyse de surface plus facile et plus rapide pour les utilisateurs de tous niveaux. Grâce à l’assistance au réglage de l’inclinaison, la correction devient simple. En un seul clic, le logiciel indique la quantité exacte de réglage nécessaire pour niveler la surface de l’échantillon.
La WLI améliore le débit jusqu'à 42 fois.
Le WLI de l’OLS5500 améliore le débit jusqu’à 42 fois par rapport au LSM conventionnel. Mesurez des textures de surface à l’échelle nanométrique—traditionnellement visibles uniquement aux forts grossissements d’un LSM—sans être limité par le grossissement de l’objectif.
Échantillon : Hauteur de marche de 60 nm, zone de mesure : 1,280 µm. LSM : Durée d’acquisition des données : 630 s ; image assemblée 6×6 acquise avec un objectif LSM 50X (NA 0,95). Interférométrie à lumière blanche : Durée d’acquisition des données : 15 s ; image unique acquise avec un objectif WLI 10X (NA 0,3).
Étalon VLSI de 83 nm de hauteur (MPLFLN10LEXT).
Algorithme PEAK pour une reconstruction 3D rapide et précise
L'algorithme PEAK fournit des données de surface 3D très précises, à des grossissements allant de faibles à élevés, tout en accélérant considérablement l'acquisition. Pour les mesures de hauteur de marche et de forme, il ignore intelligemment les balayages non essentiels de la plage Z afin de capturer plus rapidement des résultats précis.
Détection intelligente des données
Smart Judge détecte automatiquement uniquement les données fiables, produisant des mesures exactes sans perte des données d’irrégularité de hauteur fine.
À gauche : Fonction Smart Judge désactivée : À droite : Fonction Smart Judge activée.
Fonction Smart Judge désactivée
Fonction Smart Judge activée
Applications
Ressources
Ressources sur les produits
Vidéos
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