Ispezione del pattern del circuito su wafer campione

Wafer campione

Applicazione

Quando è necessario osservare sia il pattern del circuito che il colore di un wafer campione, il metodo convenzionale si serve dell'illuminazione a campo scuro per il primo e dell'illuminazione a campo chiaro per il secondo, con molteplici passaggi tra le due tecniche. Questo metodo di osservazione richiede parecchio tempo, perché quando si crea un report è necessario acquisire le immagini con ciascuna tecnica.

La soluzione Olympus

I microscopi industriali MX63/MX63L per l'ispezione di semiconduttori/FPD offrono un'alternativa efficiente ai metodi di osservazione convenzionali: la funzione di illuminazione MIX. Con l'illuminazione MIX è possibile osservare simultaneamente il pattern del circuito e il colore del wafer. La nitidezza e la chiarezza dell'immagine MIX migliora l'efficienza lavorativa e la creazione di report.

Caratteristiche del prodotto

• Flusso di lavoro più snello
  I microscopi MX63/MX63L sono dotati di funzioni che facilitano l'intero flusso di lavoro dell'ispezione, dall'inizio alla fine, con un livello di prestazioni ugualmente efficiente in camera sterile.
• User-friendly
  Le impostazioni dei microscopi MX63/MX63L sono facili da regolare grazie alle funzioni che assistono il controllo di messa a fuoco, intensità della luce e controllo dell'apertura. Il funzionamento semplificato dei microscopi MX63/MX63L consente anche agli operatori meno esperti di eseguire ispezioni nelle giuste condizioni di osservazione.
• Tecnologia di imaging avanzata
  Basati su decenni di esperienza nel campo dei componenti ottici, i microscopi MX63/MX63L generano immagini chiare e nitide, garantendo perciò risultati di misurazione affidabili.
• Modularità
  Il design modulare dei microscopi MX63/MX63L consente agli utenti di scegliere tra un'ampia gamma di componenti ottici per trovare quelli più adatti alle loro esigenze per applicazioni particolari. È possibile assemblare il sistema desiderato senza investire cifre eccessive.

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Illuminazione MIX (illuminazione a campo chiaro e a campo scuro)
È possibile osservare contemporaneamente il pattern del circuito e l'informazione sul colore del wafer, con immagini nitide e chiare.