Analisi del flusso di lavoro della pulizia tecnica - Parte 4: Calcolo del livello di contaminazione

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Hamish Rossell

19 aprile, 2018

Confronto delle misure di pulizia standard

Nella quarta parte di questa serie di blog in sei parti tratteremo il calcolo dei livelli di contaminazione, includendo anche la definizione delle norme di pulizia e la verifica dei valori massimi di approvazione. Di seguito viene illustrato come il calcolo dei livelli di contaminazione si inserisce nel processo di ispezione della pulizia tecnica:

Calcolo del livello di contaminazione

Per la maggior parte degli standard di pulizia viene indicato un numero astratto invece del reale numero misurato (o estrapolato) di particelle. Successivamente, si misura il livello di contaminazione di ogni classe di dimensione delle particelle. Questo è il secondo livello della classificazione, ma questa volta le particelle non vengono classificate in base alle loro dimensioni. Il parametro di suddivisione è invece il numero di particelle presenti in ciascuna classe. Questi livelli di contaminazione permettono un paragone semplice e rapido tra le diverse misure di pulizia, anche se ciò a volte costituisce una semplificazione.

Lo standard ISO 16232 definisce i livelli di contaminazione tipici:

La maggior parte degli standard internazionali usa queste classi di contaminazione. È possibile definire fino a 26 livelli, che saranno misurati per ogni classe di dimensione delle particelle. Generalmente, questi livelli di contaminazione sono simili per ogni classe di dimensione (ad es., ISO 16232) (Fig. 1), ma possono anche essere definiti in maniera diversa per ogni classe (ad es., SAE AS4059).

Figura 1: esempio di livelli di contaminazione per ISO 16232 (A). I livelli di contaminazione sono visualizzati in rosso.
Figura 1: Esempio di livelli di contaminazione per ISO 16232 (A). I livelli di contaminazione sono visualizzati in rosso.

Definizione delle norme di pulizia

Alcuni standard riducono la rappresentazione dei dati del prodotto misurato a una breve descrizione. Queste norme di pulizia dipendono dallo standard e contengono le classi di dimensioni e i livelli di contaminazione delle particelle rilevate. La figura sottostante (Fig. 2) mostra un esempio di norme di pulizia per ISO 16232 (A) che prevede le seguenti fasi:

Queste norme di pulizia valgono solo per lo standard ISO 16232. Gli altri standard hanno norme di pulizia diverse. La prima “A” indica la normalizzazione all'area di superficie del campione, 1000 cm2. È possibile combinare classi adiacenti che abbiano lo stesso livello di contaminazione.

Figura 2: esempio di una norma di pulizia per ISO 16232 (A). La norma di pulizia del componente risultante per questo esempio è A (B12/C10/DE8/F3/G2/HIJ00)
Figura 2: Esempio di una norma di pulizia per ISO 16232 (A). La norma di pulizia del componente risultante per questo esempio è A (B12/C10/DE8/F3/G2/HIJ00).

Verifica del valore massimo di approvazione

Il vero scopo dell'ispezione della pulizia è misurare la contaminazione e descrivere i risultati secondo lo standard scelto. La fase di verifica e approvazione di un valore massimo è un'opzione e non è sempre compresa nel processo di ispezione della pulizia.

Il limite massimo è specificato nella configurazione dell'ispezione. Potrebbe essere il numero assoluto di particelle o un codice massimo di pulizia. Questo valore viene verificato durante l'esame della membrana del filtro e viene indicato immediatamente quando si supera il valore massimo consentito. L'operatore è libero di interrompere il processo di misurazione e ricercare la fonte della contaminazione.

L'esempio seguente (Fig. 3), creato utilizzando il software di ispezione della pulizia tecnica OLYMPUS CIX, mostra il test per il valore massimo di approvazione durante la scansione della membrana del filtro.

Pellicola in grafene Vanta
Pellicola in grafene Vanta

Figura 3: L'immagine a sinistra mostra lo stato del campione dopo 2 minuti di scansione, mentre tutti i risultati sono ancora OK. L'immagine a destra mostra il risultato della scansione dopo 2 minuti. Ora vi sono troppe particelle nelle classi di dimensione B, H e I. Pertanto, l'approvazione complessiva è “NOK.”

La prossima parte riguarderà la separazione delle particelle metalliche da quelle non metalliche e l'identificazione delle fibre. Torna per "Particelle riflettenti/non riflettenti e identificazione delle fibre", la quinta parte della nostra serie di blog in sei parti intitolata Analisi del flusso di lavoro della pulizia tecnica.

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Hamish Rossell

Product Applications Manager, Olympus Corporation of the Americas, Scientific Solutions Group

A member of the Olympus team since 2016, Hamish provides product and application support for Olympus industrial microscope systems throughout the Americas. He is an expert in inspection applications, image analysis, measurement, and reporting, as well as custom optical solutions, with an emphasis on technical cleanliness and semiconductor equipment.