Soluzioni di microscopia per
Produzione di Unità di controllo della potenza
Ispezione dell'unità di controllo della potenza
L'unità di controllo della potenza (PCU) è un dispositivo che controlla la potenza elettrica usata per azionare un veicolo elettrico. All'interno della PCU vengono utilizzati diversi semiconduttori di potenza. Possono comparire dei difetti sui wafer di semiconduttori a causa di usura degli impianti di produzione, regolazione inesatta, errore umano o contaminazione.
La nostra soluzione
Il microscopio digitale DSX1000 è una soluzione versatile per l'ispezione di wafer. Attraverso il sistema, è possibile fare riferimento a un'ampia scelta di metodi di osservazione per rilevare i difetti mediante un basso ingrandimento, identificando in seguito i tipi di difetti mediante un alto ingrandimento.
Difetti di pattern di semiconduttori, irregolarità di pellicole e misura dell'ampiezza di fili
Le dimensioni di pattern di semiconduttori devono essere misurati correttamente per assicurare delle prestazioni ottimali. Il microscopio OLS5100 a scansione laser permette di misurare le dimensioni del pattern in modo facile e preciso.
Misura della larghezza del pattern del cablaggio e del passo