ウエハサンプル上の回路パターン検査

半導体ウエハ

アプリケーション

顕微鏡でウエハサンプル上の回路パターン、及びウエハの色情報を共に観察したい場合、従来の方法では、前者は暗視野観察、後者は明視野観察というように、観察方法を何度も切り替えて検査を行なう必要がありました。また、報告書作りにおいても各観察方法での画像取得が必要となり非常に時間がかかりました。

オリンパスのソリューション

半導体/FPD/工業用顕微鏡MX63/MX63LのMIX照明方法による観察で、回路パターンとウエハの色情報を同時に鮮明な画像として観察することができ、報告書作りにおいても、作業効率を向上できます。

商品の特徴

• 多彩な機能
  検査のワークフロー全体をより効率的に行うための多彩な機能を提供します。 さらにクリーンルームでもその威力を発揮します。
• ユーザーフレンドリー
  従来にはない豊富なサポート機能で煩雑なセッティングを大幅に省けます。 ガイダンス機能を使うことにより、顕微鏡の初心者でも適切な観察条件で検査を行うことができます。
• 先進の画像技術
  長年にわたって理想の光学系を追求し続けてきたオリンパスならではのノウハウと先進のデジタル技術を高い次元で融合。従来の光学技術だけでは実現できない鮮明な画像と共に信頼性のある測定結果を提供します。
• モジュラリティー
  長年にわたって理想の光学系を追求し続けてきたオリンパスならではのノウハウと先進のデジタル技術を高い次元で融合。従来の光学技術だけでは実現できない鮮明な画像と共に信頼性のある測定結果を提供します。

明視野照明
ウエハの色は分かるが回路パターンが不鮮明

暗視野照明
回路パターンは分かるがウエハの色が分からない

MIX照明（明視野＋暗視野照明）
回路パターンとウエハの色情報を同時に鮮明な画像として観察できます