水銀ランプなどを励起光に用い、サンプルの自家蛍光発光を観察します。

有機物の蛍光検出に有効です。

→ウエハ上のゴミ検出、成分分析、レジストの残さ、蛍光探傷法による微小クラック検出など。

黒雲母花崗岩

テンセル

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