コンポーネント顕微鏡
装置に組込むことを目的として小型化、軽量化した光学顕微鏡モジュールです。用途に合わせて電動、マニュアル等をラインアップしています。最適なシステムインテグレーションを可能にします。
関連アプリケーション
ウエハサンプル上の回路パターン検査
顕微鏡でウエハサンプル上の回路パターン、及びウエハの色情報を共に観察したい場合、従来の方法では、前者は暗視野観察、後者は明視野観察というように、観察方法を何度も切り替えて検査を行なう必要がありました。また、報告書作りにおいても各観察方法での画像取得が必要となり非常に時間がかかりました。
「TruAI」ディープラーニングを活用した高効率・高精度な画像解析
顕微鏡を用いた実験では、画像を取得するだけでなく、その画像をベースに解析を行うことも非常に重要です。正確な画像解析のためには、画像から解析対象領域を抽出するセグメンテーションが欠かせず、それには画像の輝度や色味にしきい値を適用する方法が主流となっています。しかしながら観察対象や撮影条件によっては、染色具合を含むサンプルの状態や、光学的不均質性、各種ノイズなどの要因により十分に正確なセグメンテーションができない場合があります。イメージングソフトウェアcellSensに搭載されるTruAIは、ディープラーニングを活用することでこれらの要因による影響を抑え、正確な解析をサポートします。ディープラーニングとはAI(Artificial Intelligence)のうちの一つで、人間の脳を模したニューラルネットワークと呼ばれる構造を学習させ情報処理を行います。