白色干渉計搭載 3D測定レーザー顕微鏡 LEXT OLS5500
LEXT™ OLS5500 は、レーザー顕微鏡、白色干渉計、フォーカスバリエーションを1台に搭載した高性能なハイブリッドシステムです。 本製品は、研究開発や品質保証、品質管理などの現場におけるニーズに対応するために設計されており、微細な表面形状の詳細な観察、トレーサブルな高精度測定、そして直感的に操作できるユーザーインターフェースを通じて、日々の業務の効率化と品質向上を力強く支援します。白色干渉計モードでは従来のレーザー顕微鏡に比べて測定スループットを最大40倍高速化することが可能です。更に、OLS5500は世界で初めて、レーザー顕微鏡と白色干渉計の両方において「正確さ」と「繰り返し性」を保証します。
- Product Status: 本製品は、LEXT OLS5100及び旧OLSシリーズの後継機種です。
白色干渉計搭載 3D測定レーザー顕微鏡 LEXT OLS5500
信頼の測定技術であらゆる表面を解析
OLS5500は、レーザー顕微鏡、白色干渉計、フォーカスバリエーションの3つの技術を1台に統合した、高性能なハイブリッドシステムです。あらゆる表面性状解析において正確かつ高精度な測定を提供します。
比類なきイメージングソリューション
- レーザー顕微鏡： 平面及び垂直方向ともにサブミクロンの微細な表面性状の形状取得に適しており、急峻な斜面形状も検出できます。
- 白色干渉計： なだらかな平滑面において、ナノメートルレベルの高い垂直分解能を提供します。
- フォーカスバリエーション： 凹凸の大きい立体形状を短時間で測定することが可能です。サンプル全体のマクロ形状取得に適しています。
各測定技術の特長により、 nmからmm、平滑面から凹凸のある粗面まで、あらゆるサンプルを1台で測定可能です。
3つの表面計測技術で撮像されたRFパッケージ。
比類なきイメージングソリューション
左：一般のレンズは収差の影響で周辺部が正確に測定できない。
右： LEXT 専用レンズは周辺部も正確に測定できる。
あらゆる表面を細部まで鮮明に
平面から複雑な凹凸、急な傾斜や微細な質感まで、LEXT™OLS5500は真の表面形状を高精度に可視化します。自社で設計・開発したレーザー顕微鏡専用対物レンズと、高NAの白色干渉対物レンズを搭載することで、さまざまな形状のサンプルを忠実にイメージングし、観察・測定の信頼性を高めます。
（左から右へ）
長作動距離タイプ（20倍、50倍、100倍）
高性能タイプ（20倍、50倍、100倍）、低倍率タイプ（10倍）
白色干渉対物レンズ
エビデントの高開口数（NA）白色干渉対物レンズは、急斜面などの複雑な3D構造を持つ形状も正確に捉えることが可能です。
一般的な白色干渉対物レンズ20X（左：NA 0.4）と
エビデントの白色干渉対物レンズ20X（右：NA 0.6）
によるフレネルレンズの比較画像
一般的な白色干渉対物レンズ50X（左：NA 0.55）と
エビデントの白色干渉対物レンズ50X（右：NA 0.8）
によるフレネルレンズの比較画像
一般的な白色干渉対物レンズ50X（左：NA 0.55）と
エビデントの白色干渉対物レンズ50X（右：NA 0.8）
によるキャリブレーションサンプルの比較画像
見えなかったものを可視化する
微細な構造やわずかな凹凸、透明素材や低コントラストのサンプルなど、従来の装置では捉えきれなかった表面の情報を鮮明に可視化します。4Kスキャンテクノロジー、最表面検出フィルター、レーザーDIC、デュアルコンフォーカルシステム、高感度のイメージセンサーなどの先進技術により、難しいサンプルでも高い鮮明度とコントラスト、そして忠実な色再現を実現します。
ポリマーフィルムの比較画像
左： レーザー観察画像、 右： レーザーDIC 観察画像
ハードディスクのランディングゾーンの比較画像
左： カラー観察画像、 右： カラーDIC観察画像
ウエハサンプル上のパターンの貼り合わせ比較画像
左： インテリジェントシェーディング補正なし
右： インテリジェントシェーディング補正あり
広い領域も、つなぎ目なく鮮明に
インテリジェントシェーディング補正機能により、コントラストが低いサンプルや明るさにムラがある場合でも、貼り合わせ撮影時の画像の継ぎ目が目立たないように自動で補正します。広範囲の観察においても細部まで高精度に可視化することで、正確な検査を可能にします。
揺るぎない測定品質
正確で信頼性の高い測定
レーザー顕微鏡、白色干渉計における設置環境下での校正により、信頼性の高い測定精度を提供します。
“正確さ”・“繰り返し性”のダブル保証
OLS5500は、レーザー顕微鏡と白色干渉計の両方で、「正確さ」と「繰り返し性」*を保証する世界初の白色干渉計搭載3D測定レーザー顕微鏡です。エビデントの専門技術者が設置環境での校正を行い、校正証明書を発行します。
*「正確さ」および「繰り返し性」の保証は、装置がメーカー仕様に基づいて適切に校正された場合に限り有効です。校正は、エビデントの技術者または当社認定の技術者によって実施する必要があります。
測定ノイズの保証
OLS5500は、ISO25178-700:2022に準拠した測定ノイズレベルを保証し、ナノレベルの高さも、確かな測定を提供します。MPLAPON 100X LEXT™対物レンズでは1nm、白色干渉対物レンズでは0.08nmという極めて低いノイズレベルを達成し、微細な凹凸や形状変化も高精度に捉えます。
*出荷検査時の検査成績書を同梱致します。当社指定条件により測定した場合の代表値であり、保証値とは異なります。
ISO/IEC 17025認定校正
2023年4月、 エビデント 顕微鏡校正ラボラトリは世界で初めて*レーザー顕微鏡の現地校正でISO/IEC 17025：2017認定をJAB(日本適合性認定協会)から受けました。これによりILAC MRAシンボルマーク付き校正証明書を発行し、計量トレーサビリティを確保することが可能となりました。認定取得以前から実施している当社独自基準による現地校正も可能です。
*2023年4月時点、当社調べによる。
測長モジュール
貼り合わせデータの正確さを保証
OLS5500は、電動ステージに測長モジュールを搭載することで、貼り合わせ撮影時の位置情報を正確に取得します。一般的なレーザー顕微鏡や白色干渉計では、パターンマッチングのみを用いて画像を貼り合わせていましたが、OLS5500では位置情報を併用することで、両方式において貼り合わせデータの正確さを保証します。
*貼り合わせデータの正確さの保証は、100 mm電動ステージにのみ適用されます。
（OLS5500-SAF：レーザー顕微鏡・白色干渉計、OLS5500-EAF：レーザー顕微鏡のみ）
安心のサービス・サポート体制
お客様の研究・開発における信頼性を守るため、私たちは常にお客様のニーズを最優先に考えています。製品に対する確かな信頼とともに、迅速なサービスと技術サポートを通じて、お客様の目標達成を力強く支援します。
当社は専門の技術者がお客様の使用環境下で組立、調整を行い、測定性能を保証します。世界各地に広がるサービスネットワーク、そして迅速なリモートサポートにより、お客様の装置の安定稼働をしっかりと支えます。
誰でもすぐに、スマートに測定
スマートなワークフローでスループットを最大化
レーザー顕微鏡、白色干渉計、フォーカスバリエーションによる一貫した高精度測定により、繰り返し測定の手間を減らし、検査工程のスピードと信頼性を向上。
OLS5500は、検査業務の効率化を力強く支援します。
シームレスな観察
ステージの移動に合わせてマクロマップを自動生成し、高倍率でも正確な位置管理を実現。さらに、コンティニュアスAF機能により、手動でフォーカス調整する手間なく常にピントの合った確実な観察が可能です。
ボタンひとつで信頼性の高いデータ取得
サンプルをステージに置いてスタートボタンを押すだけで、Smart Scan IIが光検出感度や取得範囲を自動で設定してくれるため、誰でも高精度な測定が可能です。3Dデータ構築にはPEAKアルゴリズムを採用。低倍率から高倍率まで高精度なデータが取得できるだけでなく、データ取得時間の大幅な短縮も実現しています。垂直に近い面を含む段差形状の測定では、不要なZ方向のスキャンをスキップすることで、精度を損なうことなく測定時間を短縮できます。
VLSI標準高さ 83 nm サンプル（MPLFLN10LEXT）。
Si基板上のレジストパターン
京都大学ナノテクノロジーハブ拠点提供
傾き調整も、簡単・正確に
傾斜調整アシスト機能により、白色干渉計測定時に必要なステージの傾き補正も、誰でも正確に調整できます。ソフトウェア上の「開始」ボタンをクリックするだけで、サンプル表面を水平にするために必要な調整量を表示します。このガイダンスに従ってステージを操作するだけで正確な調整が完了します。
左：スマートジャッジOFF 右：スマートジャッジON
信頼できるデータだけを自動で抽出
スマートジャッジは信頼性の高いデータのみを自動検出します。これにより、細かな凹凸を失うことなく、正確な測定が可能です。
すべてのユーザーに、直感的な操作性を
使いやすいソフトウェアとスマートな自動化機能により、専門知識がなくても、誰でもスピーディかつ安定した測定結果を得ることができます。繰り返し行う多数の測定にも対応し、作業効率を大きく向上させます。
測定者によるばらつきのない一貫した測定レポート
マクロ機能で検査手順を自動化。作成・編集・実行が可能で、安定した結果を得られます。実験トータルアシストと組み合わせれば、合否判定もワンクリックで完了。レポートはテンプレートとして保存できるため、繰り返し測定を効率化。解析手順や測定者間でのばらつきを防ぎ、業務の標準化を支援します。
3D測定の可能性を、さらに広げる
PRECiV ™ソフトウェアとの連携により、金属組織観察からAIを活用したワークフロー、高度な2D解析まで対応。
専門的なアプリケーションや高スループットが求められる生産現場でも、柔軟かつ高効率な運用をサポートします。詳細はこちら
従来比40倍の高速な測定スループット
従来のレーザー顕微鏡では高倍率の対物レンズでしか捉えられなかったナノメートルの
高さ形状も、白色干渉計では対物レンズの倍率に依存することなく、広い視野で効率的に
取得することが可能です。
サンプル： 60 nm 段差、測定範囲： 1,280 µm
レーザー顕微鏡：データ取得時間：630秒；レーザー顕微鏡 50X対物レンズ（NA 0.95）で取得した6×6貼り合わせ画像
白色干渉計：データ取得時間：15秒；白色干渉計 10X対物レンズ（NA0.3）による単一画像取得
広い視野、迅速なワークフロー
エビデントの白色干渉対物レンズは、高開口数（NA）と広い視野を両立し、効率性を高めながら、より速く測定結果を導き出します。エビデントの20倍および50倍の白色干渉対物レンズは、従来の一般的な50倍・100倍レンズと同等の表面傾斜検出性能と平面方向の分解能を維持しながら、それぞれ最大6倍・4倍の測定視野を提供します。その結果、画像を貼り合わせる必要がないため、スループットが最大化できます。
仕様
製品仕様
| 型式 | OLS5500-SAF | OLS5500-EAF | OLS5500-LAF | ||
| 総合倍率 | 54X～17,280X | ||||
| 視野サイズ | 16 µm～5,120 µm | ||||
| 測定原理 | 検鏡方式 |
反射型共焦点レーザー顕微鏡画像、反射型共焦点レーザー微分干渉顕微鏡画像 フォーカスバリエーション、カラー画像、カラー微分干渉画像 （ポラライザ、アナライザユニッとは本体に内蔵） |
|||
| 白色干渉法 | - | ||||
| 光検出器 | レーザー:光電子増倍管 （2系統）、カラー: CMOSカメラ | ||||
|
レーザー 顕微鏡 |
高さ | 繰り返し性 σn-1*1 *2 *5 | 5倍： 0.45 μm、10倍： 0.1 μm、20倍： 0.03 μm、50倍： 0.012 μm、100倍： 0.012 μm | ||
| 正確さ*1 *3 *5 | 0.15＋L／100 μm（L： 測定長 [μm]） | ||||
| 測定ノイズ*1 *4 *5 | 1 nm [Typ] | ||||
| 長さ | 繰り返し性 3σn-1*1 *2 *5 | 5倍： 0.4 μm、10倍： 0.2 μm、20倍： 0.05 μm、50倍： 0.04 μm、100倍： 0.02 μm | |||
| 正確さ *1 *3 *5 | 測定値±1.5% | ||||
| 最大取得データ解像度 | 4096 × 4096ピクセル | ||||
| 最大貼り合わせ画素数 | 400百万ピクセル | ||||
| XYステージ | 駆動範囲 | 100 mm × 100 mm（電動) | 300 mm × 300 mm（電動） | ||
| サンプル最大高さ | 100 mm | 210 mm | 37 mm | ||
| レーザー光源 | 波長 | 405 nm | |||
| 最大出力 | 0.95 mW | ||||
| レーザークラス | クラス2（JIS C 6802:2018、IEC60825-1:2014、EN60825-1:2014/A11:2021、GB/T 7247.1-2024） | ||||
| カラー光源 | 白色LED | ||||
| 消費電力 | 240 W | 278 W | |||
| 質量 | 顕微鏡本体 | 約31 kg | 約43 kg | 約50 kg | |
| コントロールボックス | 約12 kg | ||||
白色干渉計仕様
*1 ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)に規定されている恒温・定湿度環境(温度: 20℃±1℃、湿度:50%±10%)における保証値です。
*2 10X以上は、LEXT専用レンズで測定した場合。
*3 LEXT 専用レンズで測定した場合。
*4 MPLAPON100XLEXT の対物レンズで測定した場合の代表値であり、保証値とは異なります。
*5 当社の保証方法による。
*6 当社が規定した条件下で国家規格にトレーサブルな標準段差サンプル（83nm）を使用して測定した代表値であり、保証値とは異なる。精度保証値は0.15+L/100μmです。
*7 高さ測定ノイズと同義
*8 当社指定条件下での測定による。
アプリケーションソフトウェア
基本ソフトウェア
‐データ取得アプリ/解析アプリ（かんたん解析）
*1 自動貼り合わせデータ取得機能、複数エリアデータ取得機能が含まれます。
*2 プロファイル解析、差分解析、面間段差解析、平面解析、面積・体積解析、線粗さ解析、面粗さ解析、ヒストグラム解析が含まれます。
対物レンズ
各種資料
アプリケーションノート
プリント基板樹脂部
の表面粗さ測定
インサイト
ビデオ一覧
OLS5100 - スマート実験マネージャー 許容範囲判定
OLS5100 - スマート実験マネージャー ワークフローを即座に変更可能
OLS5100 - マクロ機能によるワークフロー自動化
OLS5100 実験支援機能
OLS5100 スマートスキャン II
