레이저 스캐닝 현미경의 기본 원리
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1. 레이저 스캐닝 현미경의 기본 원리
1-1. 컨포칼 광학 시스템
1-2. 2차원 스캐닝
1-2-1. 음향광학 감지기(AOD)
1-2-2. 폴리곤 미러
1-2-3. 광진 갈바노 미러
1-3. 컨포칼 효과 및 확장 초점 이미지
1-4. 3차원 이미지
2. 레이저 스캐닝 현미경의 해상력
2-1. CTF(대비 전송 함수)
3. 레이저 스캐닝 현미경의 계측 정확성
3-1. 수평 계측
3-2. 수직 계측(3차원 계측)
4. 레이저 스캐닝 현미경 소프트웨어
4-1. 이미징
4-2. 분석 (계측)
4-3. 디스플레이
5. Olympus 산업용 레이저 스캐닝 현미경의 기본 기능
5-1. 405-nm 레이저 스캔
5-2. 405-nm 광선 전용 대물 렌즈
5-3. 낮은 왜곡 수준 및 우수한 면 해상력의 고속 2차원 스캔
5-4. CFO 서치
5-5. 레이저 미분 간섭 대비(DIC)
5-6. 서로 다른 반사율 및 급경사면을 가진 소재를 포함한 복합 샘플 검출 능력 향상
5-7. 비접촉식/비파괴식 관찰, 검사, 계측
5-8. 초소형 레이저빔을 사용한 미세 결함 계측
5-9. 정확성 및 반복성 성능 보장 및 추적성 보장
6. 애플리케이션 예시