표면 계측을 위한 3D 광학 프로파일로미터

입증된 광학 전문성

100년간의 광학적 우수성을 바탕으로 개발된 Evident의 자체 개발 광학 장치는 다양한 형상에서 실제 표면의 세부 사항을 드러내는 뛰어난 선명도를 제공합니다. 평면, 불규칙한 패턴, 급경사 및 미세한 질감. 전용 레이저 현미경 대물렌즈와 높은 NA WLI 대물렌즈가 고충실도 이미징을 제공하고, 명암 향상 옵션은 미묘하거나 숨겨진 세부 사항을 드러냅니다.

^{왼쪽: 기존 렌즈를 사용하면 주변부에서 왜곡이 심해지고 측정 정확도에 영향을 미칩니다. 오른쪽: LEXT 렌즈를 사용하면 주변부를 왜곡 없이 재현하여 정밀한 측정이 가능합니다.}

비접촉 및 추적 가능한 측정

물리적 접촉 대신 빛을 사용하여 표면 데이터를 측정하므로, Evident 3D 광학 프로파일로미터는 민감한 소재, 얇은 코팅, 그리고 MEMS 장치에 최적입니다. 스타일러스 프로파일로미터와 달리, 표면 손상 위험을 제거합니다. 모든 측정값은 추적 가능한 교정 프로세스를 통해 검증되며, 감사, 보고서, 생산 검토에서 입증 가능한 결과를 제공합니다. Evident LEXT™ OLS5500는 ISO 25178-700:2022에 따라 측정 노이즈 수준*을 보장합니다(측정 노이즈: MPLAPON 100X LEXT™ 대물렌즈 사용 시 1 nm, WLI 대물렌즈 사용 시 0.08 nm)로, 미세한 지형 변화도 고해상도로 감지할 수 있습니다.

^{AIST 표준에 대한 추적성 시스템 차트 예시.}

^{*측정 노이즈 보증서를 받게 됩니다. 이는 Evident에서 지정한 조건에서 측정한 대표값이며, 보증값과 다릅니다.}

자동화를 통한 높은 처리량

직관적인 소프트웨어와 스마트 자동화는 대규모로 빠르고 신뢰할 수 있으며 반복 가능한 결과를 지원합니다. 모터 구동 스테이지, 매크로, 원활한 대면적 이미징 및 배치 분석은 작업자의 부담을 줄이고 품질 관리 속도를 높여줍니다. OLS5500의 WLI 모드는 효율성을 더욱 강화하여 기존 레이저 스캐닝 현미경 대비 40배 향상된 측정 처리 속도를 제공합니다.

^{매크로를 사용하여 검사를 자동화하세요: 신뢰할 수 있는 결과를 위해 절차를 생성, 편집, 실행하세요.}