LEXT OLS5500 3D 광학 프로파일로미터
LEXT™ OLS5500 하이브리드 3D 광학 프로파일로미터는 레이저 주사 현미경(LSM), 백색광 간섭계(WLI), 그리고 초점 변화 현미경(FVM)을 하나의 수상 경력에 빛나는 플랫폼에 통합합니다. R&D, QA 및 QC 팀을 위해 설계된 이 제품은 정밀한 표면 특성, 신뢰할 수 있는 측정을 위한 추적 가능한 정확도, 그리고 워크플로를 효율적으로 간소화하는 직관적인 사용자 경험을 제공합니다. 정밀 광학, 검증된 교정, 스마트 자동화로 확보된 데이터는 실험실이 최초 발견부터 최종 결정까지 매끄럽게 전환할 수 있도록 도와줍니다.
LSM, WLI, FVM을 하나의 쉽게 사용할 수 있는 시스템에 통합한 3-in-1 초정밀 이미징을 제공하는 OLS5500은, WLI를 활용하여 기존 LSM 대비 최대 40배 더 빠른 처리 속도를 제공합니다. 또한 OLS5500은 LSM과 WLI 측정 모두에서 정확도와 반복성*을 보장하는 세계 최초의 3D 광학 프로필로미터입니다.
- Product Status: 이 제품은 LEXT OLS5100 및 이전 OLS 시리즈 시스템을 대체하는 제품입니다.
LEXT OLS5500 3D 광학 프로파일로미터
다양한 표면, 신뢰할 수 있는 결과
레이저 스캐닝 현미경(LSM), 백색광 간섭계(WLI), 포커스 변이 현미경(FVM)을 하나의 플랫폼에 통합하여, 수상 경력이 있는 LEXT™ OLS5500 3D 광학 프로파일러는 모든 표면을 선명하고 정확하게 측정할 수 있도록 보장합니다.
정확한 표면 측정을 위한 완벽한 이미징 솔루션
- LSM: 거친 질감, 미세 구조 및 가파른 경사면에 대한 뛰어난 측면 해상도.
- WLI: 나노미터 수준의 수직 정밀도: 매끄럽거나 경사진 표면 및 얇은 필름.
- FVM: 더 넓은 맥락이 필요한 크거나 고르지 않은 표면에 대한 거시적~미시적 범위의 커버리지.
각 계측 방식은 서로를 보완하며, 표면별로 최적화된 이미징 모드를 제공합니다. 나노미터에서 밀리미터, 평면에서 급경사까지 모든 표면의 데이터를 단일 시스템에서 종합적이고 정확하게 생성합니다.
3가지 표면 계측 기술로 이미징한 RF 패키지입니다.
뛰어난 정밀 이미징
왼쪽: 기존 렌즈를 사용하면 주변부에서 왜곡이 심해지고 측정 정확도에 영향을 미칩니다. 오른쪽: LEXT 렌즈를 사용하면 주변부를 왜곡 없이 재현하여 정밀한 측정이 가능합니다.
모든 표면에 걸친 정밀 측정
경사가 심한 샘플, 반사 표면, 또는 복잡한 기하학적 형상을 다루는 경우에도, 자체적으로 설계한 대물렌즈는 시야 전체에 걸쳐 선명도와 형상 충실도를 유지합니다.
레이저 현미경 대물렌즈
전용 LEXT 대물렌즈는 주변 영역을 정확하게 측정하여 기존 렌즈의 측정 과제를 극복합니다.
왼쪽부터 오른쪽까지 LEXT 대물렌즈: 긴 작동 거리(20X, 50X, 100X), 고성능(20X, 50X, 100X), 그리고 낮은 배율(10X).
백색광 간섭계 대물렌즈
고 NA WLI 대물렌즈(최대 0.8 NA)는 경사지거나 질감이 있는 표면에서도 선명한 간섭 무늬와 뛰어난 위상 안정성을 구현합니다.
프레넬 렌즈 샘플을 기존 WLI 20X 대물렌즈(좌, NA 0.4)와 Evident의 20X WLI 대물렌즈(우, NA 0.6)로 촬영한 비교 이미지입니다.
프레넬 렌즈 샘플을 기존 WLI 50X 대물렌즈(좌, NA 0.55)와 Evident의 50X WLI 대물렌즈(우, NA 0.8)로 촬영한 비교 이미지입니다.
기존 WLI 50X 대물렌즈(좌측, NA 0.55)와 Evident의 50X WLI 대물렌즈(우측, NA 0.8)로 촬영한 교정 샘플의 비교 이미지입니다.
숨겨진 부분을 드러내는 선명함
기존 시스템으로는 볼 수 없는 핵심 특징을 드러내어 검증 속도를 향상시킵니다. 미세한 구조와 섬세한 표면 지형, 투명한 표면, 낮은 대비의 특성에 이르기까지, OLS5500은 숨겨진 또는 미묘한 세부 사항을 드러내기 위해 여러 가지 대비 향상 옵션을 제공합니다.
- 고감도 센서를 적용한 4K 이미징은 미세한 대비와 색상 재현성을 보장합니다.
- 레이저 DIC와 컬러 DIC는 탁월한 선명도로 표면 형상과 소재 경계를 명확하게 보여줍니다.
- 상단 표면 감지 필터는 실제 표면을 분리하여 기본 레이어의 간섭을 제거합니다.
폴리머 필름의 비교 이미지. 왼쪽: DIC 없는 레이저 이미지. 오른쪽: DIC 적용 레이저 이미지.
하드디스크 착륙 지대 비교 이미지. 왼쪽: DIC가 적용되지 않은 컬러 이미지. 오른쪽: DIC를 사용한 컬러 이미지.
웨이퍼의 비교 스티칭 이미지들 왼쪽: Intelligent Shading Correction 미적용. 오른쪽: Intelligent Shading Correction 적용.
이음새 없는 대면적 이미지 획득
세밀한 부분이나 이미지 무결성을 잃지 않고 더 넓은 영역을 검사합니다. 지능형 음영 보정 기능은 아티팩트를 최소화하고 스티칭된 이미지 전체의 조명을 균형 있게 조정하여, 저대비 또는 불균일한 표면에서도 이음새 없는 이미지를 제공합니다. 이미지의 경계까지 선명하게 표현되어 일관된 분석을 지원합니다.
신뢰할 수 있는 측정
정확하고 신뢰할 수 있는 측정
LSM, WLI 및 FVM에서 검증 및 입증할 수 있는 신뢰성 있는 측정값 덕분에 재테스트, 재작업, 거부가 줄어듭니다.
정확성 및 반복성 보장
다양한 응용 분야에서 일관되고 고정밀 측정값을 확보하세요. OLS5500은 LSM과 WLI 측정 모두에 대해 정확도와 반복성*을 보장하는 세계 최초의 3D 광학 프로파일로미터입니다.
Evident의 기술자가 현장에서 교정을 실시하여 국제 계량 표준에 부합하는 시간 기록과 함께 정확하고 반복 가능한 측정을 보장합니다.
측정한 모든 값은 추적 가능한 교정 과정을 통해 검증되며, 감사, 보고서 및 생산 검토에서 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다.
*Evident의 내부 조사 결과입니다(2025.10 기준). 보장된 정확도와 반복성은 장치가 제조사의 사양에 따라 교정되고 결함이 없는 상태일 때만 적용됩니다. 교정은 반드시 Evident 기술자 또는 Evident가 인증한 전문가가 수행해야 합니다.
정확성과 반복성의 차이를 보여주는 삽화.
AIST 표준 예시
길이 측정 모듈
측정 노이즈가 일정 수준 이하로 보장됨
나노미터 단위에서도 높이 측정을 신뢰할 수 있습니다. OLS5500는 ISO 25178-700:2022 기준에 따라 측정 노이즈 레벨*을 보장합니다.
- MPLAPON 100X LEXT 대물렌즈 사용 시 1 nm
- WLI 대물렌즈 사용 시 0.08 nm
이로써 얇은 필름부터 미세 패턴 표면까지, 가장 미묘한 지형 변화도 고해상도로 측정할 수 있습니다.
*Measurement Noise Guarantee Certificate를 받게 됩니다. 이는 Evident에서 지정한 조건에서 측정한 대표값이며, 보증값과 다를 수 있습니다.
스티치된 이미지의 정확도 보장
OLS5500은 모터화된 스테이지에 길이 측정 모듈을 통합하여 스티칭된 이미지 데이터의 정확성을 보장합니다.* 기존 시스템이 패턴 매칭 방법만을 사용하지만, OLS5500은 여기에 위치 피드백을 함께 적용하여 LSM과 WLI 모두에 대해 신뢰도 높은 스티칭 데이터를 제공합니다.
*스티칭된 이미지에 대한 보장된 정확도는 100mm 모터화 스테이지에만 적용됩니다. (OLS5500-SAF는 LSM과 WLI 모두를 지원하며, OLS5500-EAF는 LSM만 지원합니다).
역량 강화를 위한 서비스 및 지원
귀하의 투자와 연구의 신뢰성을 보호하는 데 있어, 귀하의 요구 사항이 최우선입니다. 저희는 고객이 목표를 달성할 수 있도록 신속한 서비스와 기술 지원을 제공하는 데 전념합니다.
현장 교정, 글로벌 서비스 네트워크, 원격 지원을 통해 규정 준수와 시스템 가동 시간을 유지하세요. 이 모든 서비스는 100년 이상의 현미경 분야 전문성을 바탕으로 제공됩니다.
더 스마트한 워크플로
더 스마트한 워크플로우 및 극대 처리량
OLS5500의 스마트 자동화 및 워크플로 도구는 모든 수준의 사용자가 표면 분석을 더 쉽고 빠르게 수행할 수 있도록 설계되었습니다. LSM, WLI 및 FVM에서 일관적이고 처음부터 올바른 결과를 얻어 검사 효율성과 처리량을 극대화하세요.
끊김 없는 관찰
스테이지가 이동할 때 OLS5500은 자동으로 매크로 맵을 생성하여 모든 영역을 추적하고 문서화함으로써 손쉬운 탐색을 지원합니다. 연속 자동 초점 기능을 사용하면 이동 중에도 초점이 선명하게 유지되어 수동으로 초점을 다시 맞출 필요가 없고 중단도 없습니다.
간편한 정밀 측정을 위한 스마트 자동화
OLS5500는 주요 측정 프로세스를 자동화하여 사용자가 조정이 아닌 분석에 집중할 수 있도록 해줍니다.
LSM용 Smart Scan II를 사용하여 데이터를 빠르고 손쉽게 획득하세요. 샘플을 스테이지에 놓고 시작 버튼을 누르면 나머지는 시스템이 나머지 작업을 자동으로 수행합니다.
PEAK 알고리즘은 낮은 배율에서 높은 배율까지 매우 정확한 데이터를 제공하며 데이터 수집 시간을 단축합니다. 샘플의 단차 형상을 측정할 때, Z 방향의 불필요한 스캔 범위를 생략함으로써 데이터 취득 시간을 단축할 수 있습니다.
VLSI 표준 83 nm 높이 샘플(MPLFLN10LEXT).
실리콘 표면의 레지스트 패턴. Kyoto University 나노기술 허브 제공.
왼쪽: Smart Judge 꺼짐: 오른쪽: Smart Judge 켬.
신뢰할 수 있는 일관성
매크로를 활용하여 검사를 자동화하고, 신뢰할 수 있는 결과를 위해 절차를 생성·편집·실행할 수 있습니다. Smart Experiment Manager와 함께 사용하면 한 번의 클릭으로 합격/불합격 결정을 내릴 수 있습니다. 보고서를 템플릿으로 저장하여 반복 측정을 최적화하고, 분석과 사용자 전체에 걸쳐 일관된 결과를 보장합니다.
PRECiV™ 소프트웨어 통합은 일상적인 금속학, AI로 강화된 워크플로우, 고급 2D 분석을 통해 특수 응용 분야와 대용량 생산 환경을 지원합니다.
타협 없이 40배 더 빠른 측정
OLS5500은 빠른 속도와 정밀성을 모두 제공합니다. 고급 백색광 간섭계(WLI) 모드는 정확도나 추적성을 떨어뜨리지 않으면서 기존 LSM에 비해 표면 측정 속도를 최대 40배까지 높입니다.
- 신속한 공정 검증, 설계 검증 및 생산 샘플링에 이상적입니다.
- 대규모의 복잡한 샘플에서도 일관된 정밀도를 유지합니다.
샘플: 60 nm 단차 높이, 측정 영역: 1,280 µm.
LSM: 데이터 획득 시간: 630초; LSM 50X 대물렌즈(NA 0.95)로 획득한 6×6 스티칭 이미지.
WLI: 데이터 획득 시간: 15초; WLI 10X 대물렌즈(NA 0.3)로 획득한 단일 이미지.
더 넓은 시야, 더 빠른 작업 흐름
큰 또는 복잡한 샘플을 이미징하는 데 시간을 절약하세요. OLS5500의 높은 NA Mirau WLI 대물렌즈는 수직 정밀도를 유지하면서 측정 가능한 시야를 확장합니다.
- 20X 대물렌즈: 기존 50X WLI 렌즈보다 최대 6배 더 넓은 범위를 커버합니다.
- 50X 대물렌즈: 기존 100X WLI 렌즈보다 최대 4배 더 넓은 범위를 커버합니다.
영역당 이미지 수가 적어 이미지 스티칭 단계가 줄어들고, 추적 가능하며 고충실도의 데이터를 유지하면서 효율성이 향상됩니다.
사양
LEXT OLS5500 본체 사양
| 모델 | OLS5500-SAF | OLS5500-EAF | OLS5500-LAF | ||
| 총 배율 | 54X~17,280X | ||||
| 시야 | 16µm~5,120µm | ||||
| 측정 원리 | 광학 시스템 |
반사형 공초점 레이저 스캐닝 현미경 반사형 공초점 레이저 스캐닝 DIC 현미경 초점 변화 현미경, 컬러, 컬러-DIC |
|||
| 백색광 간섭계(White Light Interferometry) | - | ||||
| 수광 소자 | 레이저: 광전자증배관(2채널), 컬러: (정보 입력 필요) CMOS 컬러 카메라 | ||||
| LSM | 높이 | 반복성 σn-1 *1 *2 *5 | 5배: 0.45 μm, 10배: 0.1 μm, 20배: 0.03 μm, 50배: 0.012 μm, 100배: 0.012 μm | ||
| 정확도*1 *3 *5 | 0.15 + L/100 μm (L: 측정 길이 [μm]） | ||||
| 측정 노이즈*1 *4 *5 | 1 nm(일반) | ||||
| 길이 | 반복성 3σn-1 *1 *2 *5 | 5배: 0.4 μm, 10배: 0.2 μm, 20배: 0.05 μm, 50배: 0.04 μm, 100배: 0.02 μm | |||
| 정확도 *1 *3 *5 | 측정값 ±1.5% | ||||
| 단일 측정에서 최대 측정점 개수 | 4096 × 4096 픽셀 | ||||
| 최대 측정점 개수 | 400 메가픽셀 | ||||
| XY 스테이지 구성 | 작동 범위 | 100 mm × 100 mm (3.9 × 3.9인치) 모터 구동 | 300 mm × 300 mm (11.8 × 11.8인치) 모터 구동 | ||
| 최대 샘플 높이 | 100mm(3.9인치) | 210mm(8.3인치) | 37mm(1.5인치) | ||
| 레이저 광원 | 파장 | 405nm | |||
| 최대 출력 | 0.95mW | ||||
| 레이저 등급 | 2등급 (JIS C 6802:2018, IEC60825-1:2014, EN60825-1:2014/A11:2021, GB/T 7247.1-2024) | ||||
| 컬러 광원 | 백색 LED | ||||
| 전력 | 240W | 278W | |||
| 질량 | 현미경 본체 | 약 31kg(68.3파운드) | 약 43kg(94.8파운드) | 약 50kg(110.2파운드) | |
| 컨트롤 박스 | 약 12kg(26.5파운드) | ||||
LEXT OLS5500 WLI 사양
최대 샘플 높이
Colspan=2
*1 일정한 온도 및 일정한 습도 환경에서 사용 시 보장됨(온도: 20 ℃ ±1 ℃, 습도: ISO554(1976), JIS Z-8703(1983)에 규정한 값입니다(50% ± 10%).
*2 10X 이상의 배율에서 전용 LEXT 대물렌즈로 측정한 경우.
*3 전용 LEXT 대물렌즈로 측정한 경우.
*4 MPLAPON100XLEXT 대물렌즈로 측정한 경우의 일반적인 값이며, 보장된 값과 다를 수 있습니다.
*5 이비던트 인증 시스템(Evident Certificate System)에 따라 보장됩니다.
*6 이는 Evident가 지정한 조건에서 국가 표준으로 추적 가능한 83nm의 계단 높이 표준을 사용하여 측정한 대표값이며, 보증값과는 다릅니다. 보증값은 0.15+ L/100 μm입니다.
*7 측정 노이즈와 동일합니다.
*8 Evident가 지정한 조건에서 검증되었습니다.
LEXT OLS5500 애플리케이션 소프트웨어
*1 자동 스티칭 데이터 획득 및 다영역 데이터 획득 기능 포함.
*2 프로파일 분석, 차이 분석, 스텝 높이 분석, 표면 분석, 면적/체적 분석, 선 거칠기 분석, 면적 거칠기 분석, 히스토그램 분석 포함.
LEXT OLS5500용 대물렌즈
리소스
리케이션 노트
인사이트
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