백색광 간섭계 대물렌즈
백색광 간섭계의 표준 설정
Evident의 백색광 간섭계(WLI) Mirau 대물렌즈는 정밀한 3D 표면 측정을 위해 신뢰할 수 있는 고해상도 데이터 캡처를 제공합니다. 주문자 상표 제품 제조사(OEM)와 연구자의 요구 사항을 염두에 두고 설계된 이 광학 장치는 다양한 광학 형상 측정 분야에 걸쳐 인라인 및 오프라인 측량을 모두 지원합니다.
Evident 백색광 간섭계 대물렌즈의 주요 장점
- 넓은 시야(FOV)로 더 많은 데이터 캡처
- 높은 개구수(NA)로 우수한 해상도 달성
- 공장 테스트를 통해 일관적인 성능 지원
정밀 공학 또는 제조 분야 종사자는 이러한 장점을 활용하여 효율성을 극대화하고 더 빨리 결과를 얻을 수 있습니다.
일반 WLI 20X 대물렌즈(NA 0.4)와 Evident의 20X WLI 대물렌즈(NA 0.6)로 촬영한 프레넬 렌즈 샘플 비교 이미지.
일반 WLI 50X 대물렌즈(NA 0.55)와 Evident의 50X WLI 대물렌즈(NA 0.8)로 촬영한 프레넬 렌즈 샘플 비교 이미지.
복잡한 샘플의 표면을 정밀하게 측정
일반 백색광 간섭계 및 컨포컬 광학 장치로는 매끄러운 표면의 급격한 경사를 정밀하게 측정하기가 어렵습니다.
Evident의 WLI Mirau 유형 광학 장치는 최대 0.8의 높은 개구수로 더 많은 빛과 미세한 세부 정보를 포착합니다. 이처럼 높은 개구수 덕분에 광학 형상 측정계는 표면의 변화와 미세한 특성에 대한 정밀한 3D 기하학 측정을 수행할 수 있습니다.
고정밀 3D 측량 처리량 증대
고해상도로 고정밀 측정 영역 확장
Evident의 높은 개구수를 갖춘 20X 및 50X 모델은 동일한 경사 측정 기능과 측면 해상도로 일반 50X 및 100X WLI 대물렌즈보다 각각 최대 6배 및 4배 더 넓은 시야를 제공합니다. 이처럼 넓은 시야 덕분에 이미지 스티칭의 필요성이 감소하고 수직 스캔 간섭계(VSI) 및 단차 측정 속도가 향상됩니다.
왼쪽: 일반 50X 대물렌즈(NA 0.55)로 획득한 2×2 스티칭 이미지 오른쪽: Evident의 WLI 20X 대물렌즈(NA 0.6)로 획득한 단일 이미지.
Evident의 WLI 대물렌즈(왼쪽)는 고정 나사(가운데) 및 조절 링 메커니즘(오른쪽)을 포함합니다.
백색광 간섭계의 변화하는 조건에 대응
측정 정확도는 온도로 인한 초점의 변화 때문에 영향을 받을 수 있습니다. Evident의 통합 열 보상 조절 링은 온도 변동이 있는 경우에도 간섭 무늬 대비를 유지하도록 지원합니다. 따라서 더 정밀하고 안정적으로 민감한 표면을 측정할 수 있습니다.
최대한 높은 무늬 대비가 되는 위치로 링을 조정하기만 하면 쉽게 일관적인 측정 결과를 달성할 수 있습니다.
손쉽게 정밀성 유지
진동이 있는 경우에도 방해받지 않고 작업할 수 있습니다.
네 개의 고정 나사*가 대물렌즈의 조절 링을 제자리에 고정하므로 미세 조정을 자주 수행하는 대신 정밀하게 측정하는 데 집중할 수 있습니다.
각 나사는 90도 간격으로 배치되어 있으며 어느 나사로든 링을 고정할 수 있습니다. 드라이버를 사용하여 바깥쪽 나사를 간편하게 조이세요. 주변 대물렌즈를 분리할 필요가 없습니다.
*고정 나사는 현재 10X, 20X 및 50X 대물렌즈에서 사용할 수 있습니다.
신뢰할 수 있는 일관적인 광학 성능
각 WLI 대물렌즈는 세미 아포크로매트 제품이며, 강한 무늬 대비와 최소의 파면 수차를 달성하기 위한 고품질 참조 미러를 포함하고 있습니다. 모든 장치는 공장 테스트를 거쳤으며, 참조 미러의 품질과 파면 성능을 기록한 두 개의 상세 데이터 시트가 제공됩니다.
왼쪽: 온도 변화에 따른 조정 전에는 무늬 없음. 가운데: 링을 조정하자 무늬 대비가 나타남. 오른쪽: 링 조정 후 가장 높은 무늬 대비 달성.
사양
| 대물렌즈 이름 | WLI10XMRTC | WLI20XMRTC | WLI50XMRTC | WLI100XMRTC |
| 보정 | 무한 보정 | 무한 보정 | 무한 보정 | 무한 보정 |
|
배율 (180mm 초점 길이의 튜브 렌즈 사용) |
10X | 20X | 50X | 100X |
| 개구수(NA) | 0.3 | 0.6 | 0.8 | 0.8 |
| 작동 거리(WD)[mm] | 8.2 | 1.0 | 1.0 | 0.7 |
| 초점 길이[mm] | 18 | 9.0 | 3.6 | 1.8 |
| 대물렌즈 시야수(OFN) | 22 | 22 | 22 | 22 |
| 이멀젼 매체 | 공기/건식 | 공기/건식 | 공기/건식 | 공기/건식 |
| 스프링 장착됨 | 해당 없음 | 해당 없음 | 해당 없음 | 해당 없음 |
| 간섭계 패턴을 위한 열 보상 조절 링 | 예 | 예 | 예 | 예 |
| 조절 링 고정 나사 | 예 | 예 | 예 | 아니요 |
| 색수차 보정 수준 | 반 아포크로매트(FL) | 반 아포크로매트(FL) | 반 아포크로매트(FL) | 반 아포크로매트(FL) |
| 동초점 거리[mm] | 45 | 45 | 45 | 45 |
| 후초점면(BFP) 위치[mm] | -3.2 | -8.8 | -4.8 | -3.0 |
| 외부 규격(W × H) | Φ 29.7mm × 36.8mm | Φ 29.8mm × 44.0mm | Φ 31.5mm × 44.0mm | Φ 29.0mm × 44.3mm |
| 나사산 크기 | W 20.32mm × 0.706mm(RMS) | W 20.32mm × 0.706mm(RMS) | W 20.32mm × 0.706mm(RMS) | W 20.32mm × 0.706mm(RMS) |
| 보장된 측정 온도 | 23°C ±1°C | 23°C ±1°C | 23°C ±1°C | 23°C ±1°C |
|
보관 온도/습도 (비응축 환경) |
0°C~40°C/20%~80% | 0°C~40°C/20%~80% | 0°C~40°C/20%~80 % | 0°C~40°C/20%~80 % |
| 사용 가능 온도 | 15°C~30°C | 15°C~30°C | 15°C~30°C | 15°C~30°C |
| 용도 | 실내용 | 실내용 | 실내용 | 실내용 |